• Title/Summary/Keyword: Hwa-Byeong

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Local Thermal Equilibrium 모델에 의한 이차이온 질량분석의 정량화 방법

  • Gwak, Byeong-Hwa;Gwon, O-Jun
    • ETRI Journal
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    • v.10 no.2
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    • pp.63-69
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    • 1988
  • SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry) 분석 데이터의 정량화 방법으로 이온주입에 의한 실험적 접근법과 LTE(Local Thermal Equilibrium) 모델을 사용한 준이론적 접근법 2가지가 주로 논의되고 있다. 본 고에서는 LTE 모델을 사용, SIMS data를 정량화하는 방법에 대하여 기술하였으며 아울러 BASIC language로 된 간단한 LTE 프로그램을 제시하였다.

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