Scanning Probe Lithography is a method to localized oxidation on single crystal silicon wafer surface. This study demonstrates nanometer scale non contact lithography process on (100) silicon (p-type) wafer surface using AFM(Atomic force microscope) apparatuses and pulse controlling methods. AFM-based experimental apparatuses are connected the DC pulse generator that supplies ultra short pulses between conductive tip and single crystal silicon wafer surface maintaining constant humidity during processes. Then ultra short pulse durations are controlled according to various experimental conditions. Non contact lithography of using ultra short pulse induces electrochemical reaction between micro-scale tip and silicon wafer surface. Various growths of oxides can be created by ultra short pulse non contact lithography modification according to various pulse durations and applied constant humidity environment.
Objectives: The objectives of this study were to investigate fungal contamination in a 31-year old university building in Seoul, Korea, and to study the inactivation of fungi using cold atmospheric pressure plasma(CAP). Methods: To investigate the fungal contamination in a university building, air samples were collected from five locations in the building, including two study rooms, a storage room, a laboratory, and a basement. The sampling was performed in a dry season(February to April) and in a wet season(July). To study the inactivation efficacy of fungi by CAP, airborne fungal concentrations were measured before and after the operation of the CAP generator. Results: Humidity was an important factor affecting fungal growth. The airborne fungal concentrations determined in the wet season(July) were significantly higher than those determined in the dry season(February to April). In the basement, the values determined in the dry and wet season were 319 and $3,403CFU/m^3$, respectively. The inactivation efficiency of fungi by CAP was 83-90% over five to nine days of operation. Conclusions: The university building was highly contaminated by airborne fungi, especially in summer. It is concluded that humidity is an important factor affecting fungal growth and CAP is a highly useful technique for inactivation of indoor airborne fungi.
A stochastic weather generator which simulate daily precipitation, maximum and minimum daily temperature, relative humidity was developed. The model parameters were estimated using stochastic characteristics analysis of historical data of 71 weather stations. Spatial variations of the parameters for the country were also analyzed. Model parameters of ungauged Sites were determined from parameters of adjacent weather stations using inverse distance method. The model was verified on Suwon and Ulsan weather stations and showed good agreement between simulated and observed data.
This paper represents development of quartz crystal microbalance (QCM) and usage as a dew point sensor. The temperature of a quartz resonator was controlled precisely from $20^{\circ}C$ to $-30^{\circ}C$ with the ramping rate of $0.1^{\circ}C/s$ by using a custom-made crystal holder housing the quartz resonator associated with a thermoelectric cooler (Peltier cooler), which results in the working range from $15.2^{\circ}C$ to $-24.0^{\circ}C$ based on an accurate holder temperature compensation and temperature effect compensation process. The developed QCM dew point sensor and analysis techniques show very good sensing characteristics at measurement of moist air with the relative humidity from 10 %R.H. to 90 %R.H. generated by a divided-type humidity generator and the dew point temperatures were determined with an accuracy of less than ${\pm}0.18^{\circ}C$, which also showed good agreement with reference values in their error range.
본 연구에서는 간단하면서, 효과적이고, 지속가능성이 높은 3차원 프린터를 활용한 마찰 전기 발전기 제작 방식을 소개하고자 합니다. 본 연구는 매크로 사이즈의 표면 패턴을 생성하는 방식으로써, 새롭게 소개되는 마찰전기 발전기 제작 방식입니다. 모든 실험은 특별히 제작된 test-bed에서 수행되었으며, test-bed는 마찰을 일으키는 무게와 빈도수, 상대 습도 등을 조정할 수 있는 실험 환경입니다. 추가적으로, 본 연구를 통하여 본연구진은 어떠한 공정을 거치지 않은 마찰전기 발전기에 비해 공정을 거친 마찰전기 발전기가 1.6배가량 전압의 성능이 향상된 것을 확인하였습니다. 기존의 마이크로 그리고 나노 사이즈의 패턴들과 비교하여 3차원 프린터를 활용한 본 연구의 방식은 제작이 훨씬 빠르고, 용이하며, 대량 생산에 적합한 방법이 될 수 있습니다.
본 연구는 AFM 을 이용하여 nano scale 의 Lithography 를 구현하는 것이다. 외부의 pulse generator 를 통하여 전류를 통전 시키는 방법을 수정함으로써, 일정 습도를 유지한 상태의 AFM 내부에서 Si-wafer 의 표면과 Tip의 사이에 전원을 인가하고 pulse generator 에서 임의로 pulse 폭의 변화를 준다. Si-wafer 표면에서 물 분자가 Tip과 wafer 사이의 직접적인 전류의 이동조절로 인해 전기 화학적 반응을 적절히 제한하여 산화물을 생성시키는 방법이다. 이렇게 생성된 산화물은 불산 처리를 통하여 산화물을 식각시켜 미세 그루브를 구현 할 수 있다. 본 연구를 통한 나노 패턴 생성 기법은 나노 머시닝 기술의 진보에 잠재적 가능성을 제시한다.
바이오가스 이용 최적화를 위해 탈황 및 제습 전처리시설 가이드라인으로 $H_2S$ 농도는 철염으로 처리가능한 150 ppm으로 설정하고, 제습은 발전기 운전 적정수분 값이며 EU회원국에서 바이오가스 활용 시 적용하는 상대습도 60 %로 설정하였다. 국내 바이오가스 평균 온도인 $31^{\circ}C$에서 상대습도 60 %으로 적용한다면 노점온도 $22^{\circ}C$, 절대습도 $20.57g/m^3$으로 나타낼 수 있으며, 전처리 설비가 적절히 가동된다면 가이드라인에 만족하여 바이오가스의 이용이 최적화 될 것으로 사료된다. 바이오가스 이용 최적화를 위해 발전기 설비 가이드라인을 설정하고자 하였다. 바이오가스 적정 이용량으로는 전체 가스 발생량의 90 % 이상을 이용해야하며, 발전기 시설의 용량은 여유율을 10~30 %로 설정해야 한다. 발전기에 유입가스의 압력을 균등화하기 위해서는 가스 균등조(buffer tank)를 설치하며, 발전실 평균온도는 $45^{\circ}C$이하로 유지한다. 소화조에서 일정한 메탄농도로 가스가 생성되지 않아 효율이 저하되므로 메탄농도에 변화에 따른 공기연료비 제어시스템을 설치가 요구된다. 본 연구에서는 유기성폐자원의 바이오가스 생산 및 이용을 최적화를 위해 현장시설의 정밀모니터링과 시설별 에너지수지를 분석하고, 현장문제 해결방안에 대해서 조사하여 전처리시설 및 발전기 등의 설계 및 운전 가이드라인을 제시하고자 한다.
The purpose of this study was to evaluate the efficiency of diffusive(or passive) sampler in measuring airbone organic solvents. Diffusive samplers are generally simple in construction and do not require power for operation. The efficiency of the diffusive samplers has not sufficiently been investigated in Korea. Three types of samplers were studied in this study. The sampling and analytical results by passive samplers were compared with results by charcoal tube method recommended by NIOSH(National Institute for Occupational Safty and Health). The following characteristics are identified and studied as critical to the performance passive monitors; recovery, reverse diffusion, storage stability, accuracy and precision, face velocity and humidity, n-Hexane, TCE(trichloroethylene) and toluene were used as test vapors. A dynamic vapor exposure system consisting of organic vapor generator and sampling chamber for evaluating diffusive samplers are made. The results of the study are summarized as follows. 1. NIOSH recommands that the overall accuracy of a sampling method in the range of 0.5 to 2.0 times the occupational health standard should be ${\pm}25$ percent for 95 percent confidence level. Among three types of diffusive samplers, sampler A has permeation membrane and samplers Band C have diffusive areas, samplers A and B met the criterion that overall accuracy for 95% confidence level of the samplers were within ${\pm}25$ percent of the reference value. Sampler C had overall accuracy ${\pm}9.6%$ and ${\pm}11.8%$ in hexane and TCE, respectively. The concentration of toluene was overestimated in sampler C with overall accuracy of ${\pm}43.9%$. 2. The desorption efficiencies of diffusive samplers were 96-107%. 3. There was no significant sampe loss during four weeks of storage both with and without refrigeration. 4. There was no significant reverse diffusion, when the samplers were exposure to clean air for 2 hours after sampling for 2 hours at the level of 2 TLY. 5. In case of 8 hours sampling, relative differences(RD) of concentrations between charcoal tube method and diffusive method were 15-39%, 13-46%, and 4-35% for sampler A, B and C, respectively. The performance was poor in 8 hours sampling for multiple substance monitors. 6. At high velocity(100 cm/sec), samplers B and C overestimated the concentrations of organic vapors, and sampler A with permeation membrance gave better results. 7. At 80% relative humidity, samplers showed no siginificant effect. Low humidity also did not affect the diffusive samplers.
Kim, Do-Yong;Oh, Jai-Ho;Kim, Jin-Young;Sen, Pumendranath;Kim, Tae-Kook
Environmental Engineering Research
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제14권2호
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pp.88-94
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2009
In this study an attempt has been made to predict the annual foggy days over Gyeongsangbuk-do of Korea, using the regional mesoscale model (MM5). The annual meteorological conditions are simulated, and the annual and seasonal foggy days are predicted from the simulated results based on the seasonal and spatial information of the observed meteorological characteristics for fog occurrence such as wind speed, relative humidity, and temperature. Most of observed inland fog over Gyeongsangbuk-do occurs in autumn under the meteorological conditions such as a cairn, a high temperature range (above $10^{\circ}C$), and a high relative humidity (above 85%). The predicted results show the various foggy days, about 10${\sim}$60 days, depending on the season and the site locations. The predicted annual foggy days at inland sites are about 30${\sim}$60 days, but at coastal sites, about 10${\sim}$20 days. Also, a higher frequency of fog occurrence at inland sites is shown in autumn (about 60% of the annual foggy days). Otherwise, a higher frequency of fog occurrence at coastal sites is shown in summer (about 60% of the annual foggy days), unlike the inland. These annual foggy days and their seasonal variations agree reasonably well with the observed values. It can be concluded that it is possible to predict the occurrence of annual or seasonal foggy days by MM5.
본 논문은 SRG(Switched Reluctance Generator)의 제어를 위하여 순시자속을 이용하여 위치를 추정하고, 추정한 위치에 근거하여 출력전압을 제어하는 방법이 제안되었다. SRG를 제어하기 위해서는 정확한 회전자의 위치정보가 필수적이다. 이러한 위치정보는 일반적으로 엔코더나 레졸버와 같은 정밀한 위치센서로부터 얻어진다. 그러나, 전자기적 간섭(Electromagnetic Interference), 진동, 열, 습도 등의 열악한 환경으로 인하여 정확한 위치를 검출하는데 많은 문제점을 가지고 있다. 따라서 이러한 문제점을 극복하기 위하여 위치·속도센서 없는 SRG의 제어기가 요구되어 진다. 본 논문에서는 SRG를 위한 새로운 위치·속도의 실시간 추정방법이 제안되었다. 순시자속은 측정한 전압과 전류에 의해 계산한 것과 위치와 자속 프로파일로부터 회전자의 위치를 추정하였다. 출력전압은 PID 제어 알고리즘에 의해 일정 제어되었다. 제안된 방법은 시뮬레이션을 통하여 확인하였고, DSP를 적용하여 구현하였다. 실험을 통하여 제안된 방법은 부하가 변동하더라도 일정하게 출력전압을 유지하고, SRG 제어가 안정됨을 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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