This paper presents the structural design and finite element analysis of precision stage based on a double triangular parallel mechanism for precision positioning and large force generation. Recently, with the acceleration of miniaturization in mobile appliances, the demand for precision aligning and bonding has been increasing. Such processes require both high precision and large force generation, which are difficult to obtain simultaneously. This study aimed at constructing a precision stage that has high precision, long stroke, and large force generation. Actuators were tactically placed and flexure hinges were carefully designed by optimization process to constitute a parallel mechanism with a double triangular configuration. The three actuators in the inner triangle function as an in-plane positioner, whereas the three actuators in the outer triangle as an out-of-plane positioner. Finite element analysis is performed to validate load carrying performances of the developed precision stage.
한국정밀공학회 2000년도 Handout for 2000 Inter. Machine Tool Technical Seminar
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pp.109-115
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2000
The spindle unit is core parts in high precision machine tools. Diverse static, dynamic and thermal charateristics of spindle unit are needed for special purpose of machine tools. Compromise between those charateristics will be done in concept design phase. High static stiffness at spindle nose may be very important performance for heavy cutting work. High dynamic stiffness is also useful to high precision and high speed machine tools. Improvement of thermal charateristics in spindle lead to high reliability of positioning accuracy. For high speed spindle structure, the design parameter such as, bearing span, diameter, bearing type and arrangement, preload, cooling and lubrication method should be in harmony.
High precision machining technology has become one of the important parts in the development of a precision machine. Such a machine requires high precision positioning as well as high speed on a large workspace. For machining systems having a high precision positioning with a long stroke, it is necessary to examine the repeatability of reference position decision. Though ball-screw driven linear stages equipped linear scale have high precision feed drivers and a long stroke, they have some limitations for reference position decision if they have not equipped the accurate home sensor. This study is performed to experimentally examine the repeatability for home position decision of a magnetic sensor as a home switch of ball-screw driven linear stage by using capacitance probe.
For machining systems having a high precision positioning with a long stroke, it is necessary to examine the repeatability of reference position decisions. Though ball-screw driven linear stages equipped with encoders have high precision feed drivers and a long stroke, they have some limitations for reference position decisions if they have not been equipped accurate home sensors. High precision machining technology has become one of the most important aspects of the development of a precision machine. Such a machine requires high precision positioning as well as high speed on a large workspace. This study is performed to experimentally compare the repeatability for home position decisions in the case of photo sensors and hall sensors as a home switch of the ball-screw driven linear stage.
Hydrostatic bearings have been applied to high precision machine tools and instruments due to their high stiffness, high damping and excellent guided motion straightness. In this paper, we present a procedure for design and test of a high precision press with linear hydrostatic bearings. For a hydrostatic bearing set designed manufactured, measurements were made for the motion straightness, repeatability and bearing stiffness. They are found to be 1.36${\mu}m$/100mm, 0.19${\mu}m$/100mm and 1,261N/${\mu}m$ respectively. With some experience with the hydrostatic bearing, design aspects of the precision press is discussed.
This paper presents the hydrodynamic effect by the journal speed, eccentricity and source positions in order to overcome the defects of air bearing such as low stiffness and damping coefficient. Choosing the two row source position of air bearing is different from existing investigations in the side of pressure distribution of air film because of the high speed of journal and the wedge effects by the eccentricity. These optimal choices of the two row source positions enable us to improve the performance of the film reaction force and loading force as making the high-speed spindle. In this paper, The pressure behavior in theory of air film in high speed region of journal according to the eccentricity of journal and the source positions analyzed. The theoretical analysis has been identified by experiments. The results of investigated characteristics may be applied to precision devices like ultra-precision grinding machine and ultra high-speed milling.
High precision machining technology has become one of the most important parts in the development of a precision machine. Such a machine requires high precision positioning as well as high speed on a large workspace. For machining systems having high precision positioning with a long stroke, it is necessary to examine the repeatability of the reference position decision. Though ball-screw driven linear stages equipped with linear scale have high precision feed drivers and a long stroke, they have some limitations for reference position decisions if they have not been equipped with an accurate home sensor. This study is performed to experimentally examine the repeatability for home position decision of a photo micro sensor as a home switch of a ball-screw driven linear stage by using a capacitance probe.
In CNC machining, a free curve is cut into small linear segments using the linear interpolation(G01) method. Therefore, the interpolation error along the curve is not constant due to the changing curvature. This paper presents a NURBS (Non-Uniform Rational B-Spline) interpolation algorithm for machining free curves with high precision and high speed. The proposed NURBS interpolation defines the tool path with NURBS parameters and limits the interpolation error to any desired level by adjusting the feed rate considering the curvature of the shape and sampling time. Both linear and NURBS interpolations are compared to show the validity of the proposed algorithm.
To realize remote surgery from hundreds of kilometers away, a new communication environment with ultra-low latency and high-precision features is required. Thus, ultra-high precision networking technology that guarantees the maximum latency and jitter of end-to-end traffic on an Internet-scale wide area network is in development as part of 6G network research. This paper describes the current status of various networking technologies in ITU-T, ETSI, IEEE, and IETF to ensure ultra-low latency and high precision in wired networks.
Recently, High accuracy and precision are required in various industrial field especially, semiconductor manufacturing apparatus, Ultra precision positioning apparatus, Information field and so on. Positioning technology is a very important one among them. As such technology has been rapidly developed, this field needs the positioning accuracy as high as submicron. It is expected that the accuracy of 10nm and 1nm is required in precision work and ultra precision work field, respectively by the beginning of 2000s. High speed and low vibration are also needed. This work deals with the design method and control system of Ultra precision positioning apparatus. Control performance and stability analysis were performed in advance by modeling and designing the controller with Simulink.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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