The Study on the Denuded Zone Formation of Czochralski-grown Single Crystal Silicon Wafer (I) (Czochralski 법으로 성장시킨 단결정 Silicon Wafer에서의 표면 무결함층(Denuded Zone) 형성에 관한 연구(I))
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.28 no.6
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- pp.495-501
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- 1991