• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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• pp.107-107
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• 2000

최근 반도체 소자의 고집적화 및 대용량화의 경향에 다라 MOSFET 소자 제작에 이동되는 게이트 산화막의 두께가 수 nm 정도까지 점점 얇아지는 추세이고 Giga-DRAM급 차세대 UNSI소자를 제작하기 위해 5nm이하의 게이트 절연막이 요구된다. 이런 절연막의 두께감소는 게이트 정전용량을 증가시켜 트랜지스터의 속도를 빠르게 하며, 동시에 저전압동작을 가능하게 하기 때문에 게이트 산화막의 두께는 MOS공정세대가 진행되어감에 따라 계속 감소할 것이다. 따라서 절연막 두께는 소자의 동작 특성을 결정하는 중요한 요소이므로 이에 대한 정확한 평가 방법의 확보는 공정 control 측면에서 필수적이다. 그러나, 절연막의 두께가 작아지면서 게이트 산화막과 crystalline siliconrksm이 계면효과가 박막의 두께에 심각한 영향을 주기 때문에 정확한 두께 계측이 어렵고 계측방법에 따라서 두께 계측의 차이가 난다. 따라서 차세대 반도체 소자의 개발 및 양산 체계를 확립하기 위해서는 산화막의 두께가 10nm보다 작은 1nm-5nm 수준의 박막 시료에 대한 두께 계측 방법이 확립이 되어야 한다. 따라서, 본 연구에서는 습식 산화 공정으로 제작된 3nm-7nm 의 게이트 절연막을 현재까지 알려진 다양한 두께 평가방법을 비교 연구하였다. 절연막을 MEIS (Medim Energy Ion Scattering), 0.015nm의 고감도를 가지는 SE (Spectroscopic Ellipsometry), XPS, 고분해능 전자현미경 (TEM)을 이용하여 측정 비교하였다. 또한 polysilicon gate를 가지는 MOS capacitor를 제작하여 소자의 Capacitance-Voltage 및 Current-Voltage를 측정하여 절연막 두께를 계산하여 가장 좋은 두께 계측 방법을 찾고자 한다.다. 마이크로스트립 링 공진기는 링의 원주길이가 전자기파 파장길이의 정수배가 되면 공진이 일어나는 구조이다. Fused quartz를 기판으로 하여 증착압력을 변수로 하여 TiO2 박막을 증착하였다. 그리고 그 위에 은 (silver)을 사용하여 링 패턴을 형성하였다. 이와 같이 공진기를 제작하여 network analyzer (HP 8510C)로 마이크로파 대역에서의 공진특서을 측정하였다. 공진특성으로부터 전체 품질계수와 유효유전율, 그리고 TiO2 박막의 품질계수를 얻어내었다. 측정결과 rutile에서 anatase로 박막의 상이 변할수록 유전율은 감소하고 유전손실은 증가하는 결과를 나타내었다.의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.139-139
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• 2010

금속 실리사이드 나노입자는 열적 및 화학적 안정성이 뛰어나고, 절연막내에 일함수 차이에 따라 깊은 양자 우물구조가 형성되어 비휘발성 메모리 소자를 제작할 수 있다. 그러나 단일 $SiO_2$ 절연막을 사용하였을 경우 저장된 전하의 정보 저장능력 및 쓰기/지우기 시간을 향상시키는 데 물리적 두께에 따른 제한이 따른다. 본 연구에서는 터널장벽 엔지니어링을 통하여 물리적인 두께는 단일 $SiO_2$ 보다는 두꺼우나 쓰기/지우기 동작을 위하여 인가되는 전기장에 의하여 상대적으로 전자가 느끼는 상대적인 터널 절연막 두께를 감소시키는 방법으로 동작속도를 향상 시킨 $SiO_2/Si_3N_4/SiO_2$ 및 $Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$ 터널 절연막을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리를 제조하였다. 제조방법은 우선 p-type 실리콘 웨이퍼 위에 100 nm 두께로 증착된 Poly-Si 층을 형성 한 이후 소스와 드레인 영역을 리소그래피 방법으로 형성시켜 트랜지스터의 채널을 형성한 이후 그 상부에 $SiO_2/Si_3N_4/SiO_2$ (2 nm/ 2 nm/ 3 nm) 및 $Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$ (2 nm/ 3 nm/ 3 nm)를 화학적 증기 증착(chemical vapor deposition)방법으로 형성 시킨 이후, direct current magnetron sputtering 방법을 이용하여 2~5 nm 두께의 $WSi_2$ 및 $TiSi_2$ 박막을 증착하였으며, 나노입자 형성을 위하여 rapid thermal annealing(RTA) system을 이용하여 $800{\sim}1000^{\circ}C$에서 질소($N_2$) 분위기로 1~5분 동안 열처리를 하였다. 이후 radio frequency magnetron sputtering을 이용하여 $SiO_2$ control oxide layer를 30 nm로 증착한 후, RTA system을 이용하여 $900^{\circ}C$에서 30초 동안 $N_2$ 분위기에서 후 열처리를 하였다. 마지막으로 thermal evaporator system을 이용하여 Al 전극을 200 nm 증착한 이후 리소그래피와 식각 공정을 통하여 채널 폭/길이 $2{\sim}5{\mu}m$인 비휘발성 메모리 소자를 제작하였다. 제작된 비휘발성 메모리 소자는 HP 4156A semiconductor parameter analyzer와 Agilent 81101A pulse generator를 이용하여 전기적 특성을 확인 하였으며, 측정 온도를 $25^{\circ}C$, $85^{\circ}C$, $125^{\circ}C$로 변화시켜가며 제작된 비휘발성 메모리 소자의 열적 안정성에 관하여 연구하였다.

• 생명과학회지
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• 제21권2호
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• pp.221-226
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• 2011

Thermotoga neapolitana 유래 내열성 4-알파-글루칸전이효소(MgtA)가 산업적 응용성을 지닌 싸이클로아밀로스를 생산할 수 있는지를 검사하기 위하여 그 유전자를 클로닝하고 대장균에서 발현시켰다. MgtA는 HiTrap Q와 Sephacryl S-200 분배 크로마토그래피를 이용하여 순수한 형태로 정제되었으며, SDS-PAGE를 통하여 분자량이 약 52 kDa으로 아미노산서열로부터 계산된 분자량과 일치하였다. 효소활성의 최적 pH와 온도는 6.5와 $85^{\circ}C$였으며 알파1,4결합을 갖는 글루칸의 1,4결합을 효율적으로 가수분해함과 동시에 작은 크기의 올리고당을 말토덱스트린에 전이하는 전이활성을 가지고 있었다. 그러나 플루란, 글리코겐 및 1,4결합 이외의 다른 알파결합을 갖는 글루칸에는 활성을 나타내지 않았다. MgtA는 말토트리오스를 말토올리고당으로 전환할 수 있는 능력에서 그렇지 못한 Thermotoga maritima 의 효소와 구별할 수 있었으며, 반응 후 glucoamylase의 처리결과로부터 그 전이산물이 싸이클로아밀로스 대신에 긴 연쇄상의 말토올리고당을 생산하는 효소로 확인할 수 있었다.

• 비파괴검사학회지
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• 제18권6호
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• pp.455-463
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• 1998

경수로형 원자로 제어봉집합체(rod cluster control assembly)의 제어봉선단 봉단마개 부위에 발생할 수 있는 원주방향균열을 검출하기 위한 다중표면 와전류탐촉자를 설계하였으며, 이를 MIZ-30 주파수발생장치에 연 결하여 원주방향균열을 검출하고 원주방향길이를 측정 할 수 있는 와전류검사기술을 개발하였다. $8{\times}1$ 다중표면 와전류탐촉자는 원주방향으로 발생할 수 있는 균열 검사에 적합하도록 탐촉자 내부 원주방향으로 8개 표면코일을 일정간격으로 배치하고 코일 후방에 스프링을 설치하여 주사시 코일 머리부분이 표면에 밀착되므로서 코일과 피복관표면 사이의 lift-off 발생이 최소가 되도록 설계하였다. LCR-meter 및 HP-VEE 프로그램을 사용하여 코일의 전기적 특성을 평가하였으며, 탐촉자의 균열검출 특성은 Miz-30과 Eddynet 프로그램을 사용하여 평가하였다. 교정 standard와 시험편은 $14{\times}14$형 제어봉피복관(SS-304, 외경 : 10.95mm, 두께 : 0.48mm)을 사용하여 축방향과 원주방향으로 깊이와 길이를 달리하여 여러가지 균열성 EDM노치 (폭 0.2mm, 관두께의 15, 25, 40, 50, 60%깊이)를 가공하였으며, 이를 이용하여 탐촉자의 균열검출 및 크기측정 특성을 평가한 결과 제어봉 튜브표면에 발생한 원주균열의 검출 가능 최소길이는 3.5mm이고, 깊이는 ${\pm}5.31%$ RMS 오차 이내로 측정 할 수 있었다. 또한, 제어봉선단 봉단마개 부위에 발생할 수 있는 마모, 스크레치, 축 및 원주방향균열 신호는 신호의 위상과 신호형상을 분석하므로서 구분이 가능하였다.

• 한국식품과학회지
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• 제46권3호
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• pp.315-322
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• 2014

본 연구는 미생물로부터 유래된 5종(AH, AK, AY, PS와 R)의 lipase들을 Amberlite XAD 7에 흡착법으로 고정화 시킨 후 각 immobilized lipase들의 특성을 알아보았다. 고정화 전과 후의 단백질 함량 및 각 free lipase들과 immobilized lipase들을 이용한 interesterification 반응물의 지방산과 TAG 조성을 분석하였다. 또한, immobilized lipase에 있어 중요한 요인인 reusability를 확인하였다. Free lipase의 단백질 함량은 2.22-11.41%로 AH가 가장 높았던 반면, immobilized lipase에서는 AH, PS와 AK가 mg protein/g support이 높았다. 한편, 반응 특성을 알아보기 위해 카놀라유, PEE와 StEE를 기질로 하여 batch type interesterification을 진행하였을 때, free lipase의 경우 free lipase R을 제외한 다른 free lipase들은 반응시간이 1시간에서 72시간으로 증가함에 따라 총 포화지방산 함량이 증가하였으며 그 중 free lipase AH가 반응성이 가장 높았다. 또한, RP-HPLC를 통해 free lipase AK 반응물을 분석한 결과, 반응시간이 길어질수록 카놀라유(0시간)에서 볼 수 있었던 57.49 area%의 ${\bigcirc}{\bigcirc}{\bigcirc}$가 6.53 area%로 감소하였다. 이는 각 free lipase들이 PEE와 StEE를 효소적 반응에 이용했기 때문이라고 판단된다. 한편, immobilized lipase AY와 R의 경우 반응시간이 1시간에서 48시간으로 증가하여도 카놀라유(0시간)의 총 포화지방산 함량과 큰 차이가 없었으나 immobilized AK의 경우 48시간에서 38.3 area%의 포화지방산 함량으로 가장 높은 활성을 보였다. 또한, 이를 사용하여 continuous type으로 반응하였을 때 유속이 느릴수록 효소와 기질 사이의 접촉 시간이 길어져 반응물의 총 포화지방산 함량이 증가함을 알 수 있었다. Reusability는 immobilized AK, AH와 PS 모두에서 두 번째 반복 반응을 하였을 때, 첫 번째 반응보다 총 포화지방산이 120-196.5% 증가하였다. 그러나 bounding protein 함량이 가장 높았던 immobilized AK는 support에 흡착되었던 free lipase AK의 탈착이 일어나 2번째 반응 후부터 활성이 감소한 반면, immobilized AH와 PS는 활성이 비교적 유지되었다.

• 한국식품과학회지
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• 제32권6호
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• pp.1244-1250
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• 2000

식품에서 내분비계장애추정물질로 의심되는 DEP, DprP, DBP, DPP, BBP, DEHP 및 DCHP 등과 같은 phthalate esters와 DEHA를 동시 정량 분석하였다. GC/FID를 사용하여 지방 함유 식품의 일종인 짬뽕에서 가소제를 정량하기 위한 최적의 분석방법을 검토하였다. Phthalate esters인 DEP, DprP, DBP, DPP, BBP, DEHP, DCHP와 DEHA의 검출한계는 각각 3.5, 5.3, 2.2, 2.2, 7.2, 1.7, 1.9 와 3.0 mg/kg이었다. Acetone/n-hexane(1:1) 추출용매 system을 사용하여 4회 추출하고 HP-1701 column이 장착된 GC/FID를 사용했을때의 phthalate esters인 DEP, DprP, DBP, DPP, BBP, DEHP, DCHP와 DEHA의 회수율이 각각 72.7, 85.9, 91.4, 97.1, 100.8, 103.2, 104.3 및 95.8% 이었다. 3종의 업소용 PVC wrap으로 짬뽕을 각각 덮은채 30분간 shaking(120회/분)한 후 이행되는 가소제 함량을 조사하였다. 3종의 PVC wrap에서 짬뽕으로 DEHA가 각각 577, 706, 770 mg/kg 이행되어 검출되었으며 다른 phthalate esters는 검출되지 않았다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제36권1호
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• pp.51-57
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• 2007

본 연구에서는 레반의 경구 투여가 혈중 지질 및 체내 칼슘대사에 미치는 영향을 검토하고자 0.1% 칼슘제한식이를 섭취하는 흰쥐를 대상으로 각각 식이무게의 2.5%와 5% 수준의 레반을 8주간 투여하면서 대사실험을 수행하였으며 그 결과는 다음과 같다. 체중 증가량은 대조군(C)에 비하여 5% 레반을 섭취한 군에서 감소하였으며 신장의 무게는 대조군에 비하여 레반 섭취군에서 유의적으로 높았으나 간무게는 차이가 없었다. 레반의 섭취는 맹장 내용물을 유의적으로 증가시켰으며 5%레반 섭취시 맹장조직의 무게가 유의적으로 증가하였다. 혈장 triacylglycerol과 LDL-cholesterol은 대조군에 비하여 5% 레반 섭취군에서 유의적으로 감소하였으나 AI에는 차이가 없었다. 혈장 alkaline phosphatase (ALP)와 뇨중 hydroxnproline(HP) 배설량, 혈장 칼슘 농도, 체중에 대한 대퇴골 무게 비는 레반 섭취로 변화되지 않았다. 그러나 5% 레반 섭취군의 변 중 칼슘 배설량은 대조군에 비하여 유의적으로 적었으며 칼슘 흡수율은 높았다. 레반섭취군의 뇨 칼슘 배설량과 칼슘 보유량(Ca retention)은 대조군과 차이가 없었다. 본 연구의 결과로 보아 수용성 식이섬유인 레반은 혈장 지질 개선효과와 칼슘 흡수율 증가 등의 유익한 생리적 특성을 보이므로 다이어트와 정장 기능성 소재로 뿐만 아니라 심순환계 질환의 예방과 골 대사 개선용 기능성식품 소재로의 활용도 가능할 것으로 보인다.

• 국제지역연구
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• 제15권2호
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• pp.77-100
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• 2011

1997년 말에 시작된 외환위기 이후 약 10여 년간에 걸쳐서 생산요소가격이 지속적으로 하락하였다. 생산요소시장에서 요소가격의 전반적인 하락현상은 기업의 수익구조와 기업의 가격설정행위에 지대한 영향을 미친 것으로 추론할 수 있다. 본 논문은 요소가격의 변화로 인해 기업의 이윤율과 시장의 구조를 반영하는 마크업의 크기와 마크업의 경기역행성에 어떠한 변화가 일어났는가를 실증적으로 분석하였다. 이를 위해 해외중간재를 포함하고 규모보수불변과 AR(1) 기술진보를 전제하는 생산함수에 근거하여 소규모 개방경제에서의 마크업방정식을 설정하였다. 분석결과에 의하면 외환위기 이후의 생산요소가격의 하락은 한계비용의 하락을 초래하였고 이에 따라 제조업의 마크업 상승을 가져왔으며 특히 제조업가운데서 내구재보다는 비내구재의 마크업의 상승에 영향을 주었다고 할 수 있다. 또한 HP-filtered GDP와 마크업방정식의 구성요소와의 회귀분석결과는 마크업은 경기역행적으로 실질임금과 노동분배율은 경기순행적임을 입증하였으며 이자율과 해외중간재 수입물가지수는 경기역행적으로 그리고 나머지 요소분배율 모두 경기순행성을 밝히고 있다. 결론적으로 생산요소시장에서의 가격변화가 제조업의 마크업변동의 경직성에 기여해왔다고 할 수 있다.

• 보건행정학회지
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• 제29권2호
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• pp.206-219
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• 2019

This paper aims to demonstrate current health expenditure (CHE) and National Health Accounts of the years 2018 constructed according to the SHA2011, which is a manual for System of Health Accounts (SHA) that was published jointly by the Organization for Economic Cooperation and Development (OECD), Eurostat, and World Health Organization in 2011. Comparison is made with international trends by collecting and analyzing health accounts of OECD member countries. Particularly, scale and trends of the total CHE financing as well as public-private mix are parsed in depth. In the case of private financing, estimation of total expenditures for (revenues by) provider groups (HP) is made from both survey on the benefit coverage rate of National Health Insurance (by National Health Insurance Service) and Economic Census and Service Industry Census (by National Statistical Office); and other pieces of information from Korean Health Panel Study, etc. are supplementarily used to allocate those totals into functional classifications. CHE was 144.4 trillion won in 2018, which accounts for 8.1% of Korea's gross domestic product (GDP). It was a big increase of 12.8 trillion won, or 9.7%, from the previous year. GDP share of Korean CHE has already been close to the average of OECD member countries. Government and compulsory schemes' share (or public share), 59.8% of the CHE in 2018, is much lower than the OECD average of 73.6%. 'Transfers from government domestic revenue' share of total revenue of health financing was 16.9% in Korea, lower than the other social insurance countries. When it comes to 'compulsory contributory health financing schemes,' 'transfers from government domestic revenue' share of 13.5% was again much lower compared to Japan (43.0%) and Belgium (30.1%) with social insurance scheme.

• 수산해양기술연구
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• 제55권1호
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• pp.7-19
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• 2019

This study was conducted in order to improve opening efficiency of the miniaturized small-scale net for anchovy boat seine gear to reduce the fleet size. Field experiment was performed to observe geometry of nets by catcher boats. When the distance between the two ships was 150, 300 and 450 m and the speed of towing nets was 0.6, 0.9, and 1.2 kt, the vertical opening and actual opening of each part of the miniaturized small-scale net was as follows: the front part of the wing net, 6.8-9.5 m, 45-63%; the middle part of the wing net, 16.1-30.7 m, 34-65%; the entrance of the inside wing net, 21.6-41.2 m, 44-84%; the square and bosom, 17.4-34.0 m, 38-75%; the entrance of the body net, 16.5-29.4 m, 36-64%; the entrance of the bag net, 14.5-21.9 m, 70-106%; the flapper, 6.7-7.7 m, 81-83%, and the end of the bag net, 8.6-10.9 m, 64-81%. The tension of towing nets was measured to be 2,734-6,812 kg approximately, which indicates that the fleet can tow nets with 350 hp, the standard engine horse power. The fishing operation time was shortened comparing to existent net with the large-scale buoy attachment operation. It was also possible to operate the ship without fish detecting boat.