TiN glue layer위에 증탁되는 $SiN_4$ 환원 Blanket 텅스텐의 증착온도가 계면성질에 미치는 영향
(The Effect of Deposition Temperature on the Interfacial Properties of $SiN_4$ Reduced Blanket Tungsten on TiN Glue Layer)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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- pp.86-86
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- 1993