• 제목/요약/키워드: Gate Length

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나노 구조 Double Gate MOSFET 설계시 side gate의 최적화 (Optimization of Side Gate in the Design for Nano Structure Double Gate MOSFET)

  • 김재홍;고석웅;정학기
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2002년도 추계종합학술대회
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    • pp.490-493
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    • 2002
  • 본 논문에서는 main gate와 side gate를 갖는 double gate MOSFET의 side gate 길이와 side gate 전압에 대한 최적의 값을 조사하였다. main gate 50nm에서 각각의 side gate 길이에 대한 최적의 side gate 전압은 대략 3V이다. 또한, main gate 길이에 대한 최적의 side gate 길이는 대략 70nm이다. 이때, side gate 길이에 대한 전달 컨덕턴스 및 subthreshold slope에 대한 값들을 나타내었다. 이때 소자의 특성 분석을 위해 ISE-TCAD를 사용하여 시뮬레이션 하였다.

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Double Gate MOSFET의 RF특성분석 (Analysis of Radio Frequency characteristics for Double Gate MOSFET)

  • 김근호;고석웅;정학기
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2003년도 춘계종합학술대회
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    • pp.690-692
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    • 2003
  • 본 논문에서는 main gate 50nm를 갖는 double gate MOSFET에서 side gate의 길이변화에 따른 주파수 특성을 조사하였다. side gate길이가 감소할수록 컷오프 주파수는 증가하는 것을 볼 수 있었다. 결과적으로 side gate 길이가 70nm일 때 최적의 동작 특성을 보였으며, 이때 컷오프 주파수는 41.4GHz로 매우 높은 컷오프 주파수를 갖음을 알았다.

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Double gate MOSFET의 C-V 특성 (Characteristics of C-V for Double gate MOSFET)

  • 나영일;김근호;고석웅;정학기;이재형
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2003년도 추계종합학술대회
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    • pp.777-779
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    • 2003
  • 본 논문에서는 main gate와 side gate를 갖는 double gate MOSFET의 C-V 특성을 조사하였다. Main gate 전압을 -5V에서 +5V까지 변화시킴으로써 main gate 길이가 50nm이고, side gate 길이가 70nm인 MOSFET의 C-V 특성을 조사하였다. 또한, Main gate 길이가 50nm인 double gate MOSFET의 side gate의 길이를 40nm에서 90nm로 변화시키면서 C-V 곡선을 비교ㆍ분석하였다. Side gate 길이가 줄어들수록 전달컨덕턴스는 증가하고, 커패시턴스는 감소하는 경향을 나타내었다. 게이트 전압이 1.8V일 때, side gate의 영향으로 C-V곡선에 굴곡이 나타났으며, 소자의 특성 분석을 위해 ISE-TCAD를 사용하여 시뮬레이션 하였다.

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$1{\mu}m$ 이하의 게이트 길이를 갖는 GaAs MESFET (GaAs MESFETs with the submicronmeter gate length)

  • 조현룡;권영세
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1990년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.439-442
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    • 1990
  • GaAs MESFETs with the submicron gat are fabricated. $G_{m,mas}$ = 195mS/mm with the $0.5{\mu}m$ gate length and $G_{m,mas}$ = 170mS/mm with the $0.6{\mu}m$ gate lenth. $f_{mas}$ = 7GHz with the $1.5{\mu}m$ gate length and the $120{\mu}m$ gate width. We can estimate that $f_{mas}$ = 15GHz with $0.6{\mu}m$ gate length and that $f_{mas}$ = 18 ${\sim}$ 20GHz with the $0.5{\mu}m$ gate length.

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Gate Length Optimization for Minimum Forward Voltage Drop of IGBTs

  • Moon Jin-Woo;Park Dong-Wook;Choi Yearn-Ik;Chung Sang-Koo
    • KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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    • 제5C권6호
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    • pp.246-250
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    • 2005
  • The forward voltage drop of IGBT is studied numerically and analytically as a function of gate length. An analytical expression is presented for the first time for the surface potential variation along the channel layer under the gate of IGBT. The surface potential drop and the carrier density near the surface allow calculation of the forward voltage drop of IGBT analytically as a function of the gate length. The voltage-drop in the drift region near the gate decreases exponentially, whereas that on the surface increases linearly with increasing the gate length, the sum of which exhibits an optimum gate length, resulting in a minimum forward voltage drop. Based on the surface potential drop, a remodelling of the forward voltage drop of IGBT is also proposed.

Accurate RF C-V Method to Extract Effective Channel Length and Parasitic Capacitance of Deep-Submicron LDD MOSFETs

  • Lee, Sangjun;Lee, Seonghearn
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제15권6호
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    • pp.653-657
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    • 2015
  • A new paired gate-source voltage RF capacitance-voltage (C-V) method of extracting the effective channel length and parasitic capacitance using the intersection between two closely spaced linear regression lines of the gate capacitance versus gate length measured from S-parameters is proposed to remove errors from conventional C-V methods. Physically verified results are obtained at the gate-source voltage range where the slope of the gate capacitance versus gate-source voltage is maximized in the inversion region. The accuracy of this method is demonstrated by finding extracted value corresponding to the metallurgical channel length.

초고속 동작을 위한 더블 게이트 MOSFET 특성 분석 (Analysis of Double Gate MOSFET characteristics for High speed operation)

  • 정학기;김재홍
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제7권2호
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    • pp.263-268
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    • 2003
  • 본 논문에서는 main gate(MG)와 side gate(SG)를 갖는 double gate(DG) MOSFET 구조를 조사하였다. MG가 50nm일 때 최적의 SG 전압은 약 3V임을 알 수 있었고, 각각의 MG에 대한 최적의 SG 길이는 약 70nm임을 알 수 있었다. DG MOSFET는 매우 작은 문턱 전압 roll-off 특성을 나타내고, 전류-전압 특성곡선에서 VMG=VDS=1.5V, VSG=3V인 곳에서 포화전류는 550$\mu\textrm{A}$/m임을 알 수 있었다. subthrehold slope는 82.6㎷/decade, 전달 컨덕턴스는 l14$\mu\textrm{A}$/$\mu\textrm{m}$ 그리고 DIBL은 43.37㎷이다 다중 입력 NAND 게이트 로직 응용에 대한 이 구조의 장점을 조사하였다. 이때, DG MOSFET에서 41.4GHz의 매우 높은 컷오프 주파수를 얻을 수 있었다.

Side gate 길이에 따른 Double gate MOSFET의 C-V 특성 (Side gate length dependent C-V Characteristic for Double gate MOSFET)

  • 김영동;고석웅;정학기;이종인
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2004년도 춘계종합학술대회
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    • pp.661-663
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    • 2004
  • 본 논문에서는 main gate와 side gate를 갖는 double gate MOSFET의 C-V 특성을 조사하기 위하여 side gate 길이와 side gate 전압을 변화시켜 조사하였다. Main gate 전압은 -5V에서 +5V까지 변화시켰으며, main gate 길이가 50nm, side gate 길이가 70nm, side gate 전압이 3V, drain 전압이 2V일때 우수한 C-V 특성을 얻었다. 이 때 소자의 특성 분석을 위해 ISE-TCAD를 사용하여 시뮬레이션 하였다.

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동작 온도에 따른 Double Gate MOSFET의 전류-전압특성 (Temperature-dependent characteristics of Current-Voltage for Double Gate MOSFET)

  • 김영동;고석웅;정학기
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2003년도 춘계종합학술대회
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    • pp.693-695
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    • 2003
  • 본 논문에서는 main gate와 side gate를 갖는 double gate MOSFET의 동작 온도에 따른 전류-전압 특성을 조사하였다. main gate와 side gate 길이는 각각 50nm, 70nm로 하였으며, main gate와 side gate 전압이 각각 1.5V, 3.0V일 때 온도 변화에 따른 전류-전압 특성을 조사하였다. 실온에서보다 77K일 때가 전류-전압 특성이 우수하였으며, 이때 소자의 특성 분석을 위해 ISE-TCAD를 사용하여 시뮬레이션 하였다.

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E-beam lithography를 이용한 0.1$\mu\textrm{m}$ NMOSFET 제작 (The Fabrication of the 0.1$\mu\textrm{m}$ NMOSFET by E-beam Lithography)

  • 유상기;김여환;전국진;이종덕
    • 전자공학회논문지A
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    • 제31A권1호
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    • pp.61-64
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    • 1994
  • The NMOSFET with gate length of 0.1$\mu$m is fabricated by mix-and-match method. In this device, the electron beam lithography is used to form the gate layer, while other layers are formed by the stepper. The gate oxide is 7nm thick, and the device structure is normal LDD structure. The saturation Gm for gate length of 0.1$\mu$m is 246mS/mm. The subthreshold slope is 180mV/decade for 0.1$\mu$m gate length, but the slope is 80mV/decade for 0.3$\mu$m gate length.

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