${N_2}O$ 플라즈마에 의한 AlGaN/GaN HEMT의 누설전류 감소
(Reduction of gate leakage current for AlGaN/GaN HEMT by ${N_2}O$ plasma)
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- 전기전자학회논문지
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- 제11권4호
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- pp.152-157
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- 2007