A Study on the Estimation of the GHGs Emissions to the Reuse of De-ionized Water Production Process in Semiconductor Factory (반도체 생산용 초순수 제조공정의 농축수 재이용에 따른 온실가스 발생량 평가에 관한 연구)
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- Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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- v.19 no.9
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- pp.518-525
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- 2018