Nano-gap trench is fabricated by the novel electrochemical etching technique using forward biased PN junction formed at the backside of the wafer. PN junction is formed using boron nitride wafer and the concentration of the boron doping is the high value of $1{\times}10^{19}$$cm^{-3}$. The electro-chemical etching is performed in the 5% HF solution under the forward bias voltage of $1{\sim}2V$. The relationship between the etch rate of the trench and the voltage of the forward bias is investigated and the dependence of the gap for the voltage also examined. The etch rate increase from 0.027 ${\mu}m/min$ to 0.031 ${\mu}m/min$ as the value of the applied voltage increase from 1V to 2V, but the the gap is kept constant value of 40 nm.
본 논문에서는, SONOS 소자에서의 일반적인 CHE(Channel Hot Electron) 주입 방법과 기판 순바이어스를 이용한 새로운 전자 주입 방법의 프로그램 효율성에 대해 직접 비교하였다. 기존의 CHE 주입 방법과 비교해서, 새로운 전자 주입 방법은 낮은 구동전압, 빠른 프로그램 속도 등의 특성을 포함하여 높은 프로그램효율을 보였으며, 또한 드레인 영역에서의 순방향 읽기와 역방향 읽기의 문턱전압 차이가 1 V 가량 발생한다는 점에서 국소 주입 동작이 가능함을 확인하였다. 이렇게 제안된 전자주입 방법은 차세대 나노 크기 멀티-비트 SONOS 소자의 동작에 매우 유용하게 사용될 것으로 기대된다.
In this work, back bias effects in the program of the silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) cell using two-step pulse sequence, are investigated. Two-step pulse sequence is composed of the forward biases for collecting the electrons at the substrate terminal and back bias for injecting the hot electrons into the nitride layer. With an aid of the back bias for electron injection, we obtain a program time as short as 600 ns and an ultra low-voltage operation with a substrate voltage of -3 V.
Si-ZnO n-n heterojunction diodes were prespared by r.f diode sputtering of the sintered ZnO target on n-type Si single crystal wafers and their structures and electrical properties were studied. The films were grown orientedly with the c-axis of crystallites perpendicular to the substrate surface at low r.f. powder and grown to polycrystalline films with random orientation at high r. f. powder. The crystallite size increased with the increasing substrate temperture The oriented texture films only were used to prepare the photovoltaic diodes and these didoes showed the photovoltaic effect veing positive of the ZnO side for the photons in the wavelength range of 380-1450nm. The sign reversal of phootovoltage which is the property os isotype heterojunction was not observed because of the degeneration of the ZnO films. The diode showed the forward rectification when it was biased with the ZnO side positive. The current-voltage characteristics exhibited the thermal-current type relationship J∝exp(qV/nkT) with n=1.23 at the low forward bias voltage and the tunnelling-current type relationship J∝exp($\alpha$V) where $\alpha$ was constant independent of temperature at the high forward bias voltage. The crystallite size of ZnO films were influenced largely on the photovoltaic properties of diodes ; The diodes with the films of the larger crystallites showed the poor photovoltaic properties. This reason may be cosidered that the ZnO films with the large crystallites could not grow to the electrically continuous films because the thickness of films was so thin in this experiment.
Silicon doped $Al_{0.32}Ga_{0.68}As$ were growth by molecular beam epitaxy. Electroreflectance(ER) spectra of the $E_1$ transition of Schottky barrier Au/n-$Al_{0.32}Ga_{0.68}As$ have been measured at various modulation voltage($V_{ac}$) and dc bias voltage($V_{bias}$). from the $E_1$peak, band gap energy of the $Al_{0.32}Ga_{0.68}As$ is 1.883 eV which corresponds to an Al composition of 32%. As modulation voltage($V_{bias}$) is changed, a line shape at the $E_1$transition does not change, but its amplitude varies linearly. The amplitude of $E_1$signal decrease with increasing the forward dc bias voltage($V_{bias}$), but the line shape does not change. It suggests that the low field theory rather than Franz-Keldysh oscillation is Required to interpret spectra. Also, spectra at the $E_1$transition were broadened with increasing the reverse dc bias voltage($V_{bias}$) which suggests the presence of Field-induced broadening.
측정 온도 변화와 n-형 실리콘 기판 농도의 변화를 갖는 백금 쇼트키 다이오드에서 신뢰성 특성을 분석하였다. 신뢰성 측정분석의 파라미터는 순방향 바이어스에서 포화전류, 임계전압과 이상인자이고, 소자의 모양에 따라서 역방향 바이어스에서 항복전압이다. 소자의 모양은 가장자리 효과를 위한 긴직사각형과 정사각형이다. 결과로써, 백금과 엔-실리콘 접합 부분에서 증가된 농도에 의해 순방향 임계전압, 장벽높이와 역방향 항복전압은 감소되었지만 이상인자와 포화전류는 증가되었다. 순방향과 역방향 바이어스 하에서 신뢰성 특성의 추출된 전기적 파라미터 값들은 측정온도(실온,$50^{\circ}C$, $75^{\circ}C$)에서 더 높은 온도에서 증가되었다. 긴직사각형 소자가 가장자리 부분의 터널링 효과에 의해 역방향 항복 특성에서 정사각형 소자보다 감소되었다.
KIM BYUNG SOO;KANG SOO-JIN;LEE SAET-BYUL;HWANG WON;KIM KUN-SOO
Journal of Microbiology and Biotechnology
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제15권6호
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pp.1377-1383
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2005
In a cDNA microarray experiment using Cy3 and Cy5 as labeling agents, particularly for the direct design, cDNAs from some genes incorporate one dye more efficiently than the other, which is referred to as the gene-specific dye bias. Dye-swaps, in which two dyes are switched on replicate arrays, are commonly used to control the gene-specific dye bias. We developed a simple procedure to extract the gene-specific dye bias information from a partial dye swap experiment. We detected gene-specific dye bias by identifying outliers in an X-Y plane, where the X axis represents the average log-ratio from two sets of dye swap pairs and the Y axis exhibits the average log ratio of four forward labeled arrays. We used this information for detecting differentially expressed genes, of which the additionally detected genes were validated by real-time RT-PCR.
집적 쇼트키 논리 게이트에서 전압 스윙을 크게 하기 위해서 백금 실리사이드 쇼트키 접합의 전기직 특성을 분석하였고, 이 접합에서 프로그램으로 특성을 시뮬레이션 하였다. 분석특성 특성을 위한 시뮬레이션 프로그램은 제조 공정용 SUPREM V와 모델링용 Matlab, 소자 구조용의 Medichi 툴이다. 시뮬레이션 특성을 위한 입력 파라미터는 소자 제작 공정의 공정 단계와 동일한 조건으로 하였다. 분석적인 전기적인 특성들은 순방향 바이어스에서 턴-온 전압, 포화 전류, 이상인자이고, 역방향 바이어스에서 항복 전압을 실제 특성과 시뮬레이션 특성 사이의 결과를 보였다. 결과로써 순방향 턴-온 전압, 역방향 항복전압, 장벽 높이는 기판의 증가된 농도의 변화에 따라 감소되었지만, 포화전류와 이상인자는 증가되었다.
본 논문은, ISL의 전압 스윙을 개선시키기 위한 쇼트키 접합의 특성 분석과 이 접합을 프로그램으로 특성을 시뮬레이션하였다. 특 분석용 시뮬레이션 프로그램은 SUPREM V, SPICE, Medichi, Matlab이다. 쇼트키 접합은 백금 실리사이드와 실리콘의 정류성 접촉이며, 실리콘의 n형 기판 농도 방법은 이온 주입법이며, 온도 변화에 따라서 쇼트키 접합의 특성을 측정과 분석하였고, 프로그램으로 특성을 동일 조건에서 시뮬레이션 하였다. 분석 파라미터는 순방향에서 턴온 전압, 포화 전류, 이상인자이고, 역방향에서 항복전압의 실제 특성과 시뮬레이션 특성 결과를 제시하였다. 결과로써, 순방향 턴온 전압, 역방향 항복전압, 장벽높이는 기판 농도의 증가에 따라 감소하였지만, 포화전류와 이상인자는 증가되었다.
This work presents two different methods for quantifying and propagating the uncertainty associated with fuel composition at end of life for cask criticality calculations. The first approach, the computational approach uses parametric uncertainty including those associated with nuclear data, fuel geometry, material composition, and plant operation to perform forward depletion on Monte-Carlo sampled inputs. These uncertainties are based on experimental and prior experience in criticality safety. The second approach, the data-driven approach relies on using radiochemcial assay data to derive code bias information. The code bias data is used to perturb the isotopic inventory in the data-driven approach. For both approaches, the uncertainty in keff for the cask is propagated by performing forward criticality calculations on sampled inputs using the distributions obtained from each approach. It is found that the data driven approach yielded a higher uncertainty than the computational approach by about 500 pcm. An exploration is also done to see if considering correlation between isotopes at end of life affects keff uncertainty, and the results demonstrate an effect of about 100 pcm.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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