• 제목/요약/키워드: Fine pattern

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AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링 (Application of femtosecond laser hole drilling with vibration for thin Invar alloy using fine metal mask in AMOLED manufacturing process)

  • 최원석;김훈영;신영관;최준하;장원석;김재구;조성학;최두선
    • Design & Manufacturing
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    • 제14권3호
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    • pp.44-49
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    • 2020
  • One of display trends today is development of high pixel density. To get high PPI, a small size of pixel must be developed. RGB pixel is arranged by evaporation process which determines pixel size. Normally, a fine metal mask (FMM; Invar alloy) has been used for evaporation process and it has advantages such as good strength, and low thermal expansion coefficient at low temperature. A FMM has been manufactured by chemical etching which has limitation to controlling the pattern shape and size. One of alternative method for patterning FMM is laser micromachining. Femtosecond laser is normally considered to improve those disadvantages for laser micromachining process due to such short pulse duration. In this paper, a femtosecond laser drilling for thickness of 16 ㎛ FMM is examined. Additionally, we introduce experimental results for controlling taper angle of hole by vibration module adapted in laser system. We used Ti:Sapphire based femtosecond laser with attenuating optics, co-axial illumination, vision system, 3-axis linear stage and vibration module. By controlling vibration amplitude, entrance and exit diameters are controllable. Using vibrating objective lens, we can control taper angle when femtosecond laser hole drilling by moving focusing point. The larger amplitude of vibration we control, the smaller taper angle will be carried out.

잣나무림(林)에서 임목(林木) 생장(生長) 모듈들의 계절적(季節的) 생육반응(生育反應) (Growth Phenology of various Tree Modules in Pinus koraiensis S. et Z. Plantation)

  • 신준환;이돈구
    • 한국산림과학회지
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    • 제79권4호
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    • pp.431-434
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    • 1990
  • 잣나무의 계절적학(季節的學) 생장과정(生長過程)을 알아보기 위하여, 15년생(年生) 잣나무 고립목(孤立木)의 눈(芽), 신초(新梢), 침엽(針葉)의 생장(生長) 패턴을 조사(調査)하였고, 간벌(間伐)이나 지타(枝打)를 실시하지 않은 28년생(年生) 잣나무림의 낙엽량(落葉量)과 세근량(細根量)의 계절별(季節別) 변화(變化)를 조사(調査)하였다. 신초(新梢)는 4월(月) 12일(日) 부터 생장(生長)을 시작하여 6월(月) 7일(日)에 생장(生長)을 정지(停止)하였는데 이 때가 눈이 형성(形成)되는 시기(時期)이다. 신엽(新葉)은 5월(月) 10일(日) 부터 생장(生長)을 시작(始作)하여 7월(月) 19(日)에 생장(生長)을 정지(停止)하였는데 이 때는 눈이 신장(伸張)되는 시기(時期)였다. 낙엽시기(落葉時期)는 대부분 10월중(月中)이었으며 7월(月)과 8월(月)에도 폭풍우에 의하여 일부 낙엽(落葉)이 되었다. 세근(細根)의 생장(生長)은 가을에 대부분(大部分) 이루어 졌으며(1,004 kg/ha), 세근(細根)의 고사(枯死)는 겨울(583 kg/ha)과 봄(1,331 kg/ha)에 대부분(大部分) 발생(發生)하였다.

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은이 코팅된 Copper(I) Oxide 나노 입자 및 도전성 페이스트의 제조 특성 (Fabrication and Characterization of Silver Copper(I) Oxide Nanoparticles for a Conductive Paste)

  • 박승우;손재홍;심상보;최연빈;배동식
    • 한국재료학회지
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    • 제29권1호
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    • pp.37-42
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    • 2019
  • This study investigates Ag coated $Cu_2O$ nanoparticles that are produced with a changing molar ratio of Ag and $Cu_2O$. The results of XRD analysis reveal that each nanoparticle has a diffraction pattern peculiar to Ag and $Cu_2O$ determination, and SEM image analysis confirms that Ag is partially coated on the surface of $Cu_2O$ nanoparticles. The conductive paste with Ag coated $Cu_2O$ nanoparticles approaches the specific resistance of $6.4{\Omega}{\cdot}cm$ for silver paste(SP) as $(Ag)/(Cu_2O)$ the molar ratio increases. The paste(containing 70 % content and average a 100 nm particle size for the silver nanoparticles) for commercial use for mounting with a fine line width of $100{\mu}m$ or less has a surface resistance of 5 to $20{\mu}{\Omega}{\cdot}cm$, while in this research an Ag coated $Cu_2O$ paste has a larger surface resistance, which is disadvantageous. Its performance deteriorates as a material required for application of a fine line width electrode for a touch panel. A touch panel module that utilizes a nano imprinting technique of $10{\mu}m$ or less is expected to be used as an electrode material for electric and electronic parts where large precision(mounting with fine line width) is not required.

PM 관측을 위한 스파르탄 시스템 (Introducing SPARTAN Instrument System for PM Analysis)

  • 엄수진;박상서;김준;이서영;조예슬;이승재
    • 대기
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    • 제33권3호
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    • pp.319-330
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    • 2023
  • As the need for PM type observation increases, Surface Particulate Matter Network (SPARTAN), PM samplers analyzes aerosol samples for PM mass concentration and chemical composition, were recently installed at two sites: Yonsei University at Seoul and Ulsan Institute of Science and Technology (UNIST) at Ulsan. These SPARTAN filter samplers and nephelometers provide the PM2.5 mass concentration and chemical speciation data with aerosol type information. We introduced the overall information and installation of SPARTAN at the field site in this study. After installation and observation, both Seoul and Ulsan sites showed a similar time series pattern with the daily PM2.5 mass concentration of SPARTAN and the data of Airkorea. In particular, in the case of high concentrations of fine particles, daily average value of PM2.5 was relatively well-matched. During the Yonsei University observation period, high concentrations were displayed in the order of sulfate, black carbon (BC), ammonium, and calcium ions on most measurement days. The case in which the concentration of nitrate ions showed significant value was confirmed as the period during which the fine dust alert was issued. From the data analysis, SPARTAN data can be analyzed in conjunction with the existing urban monitoring network, and it is expected to have a synergetic effect in the research field. Additionally, the possibility of being analyzed with optical data such as AERONET is presented. In addition, the method of installing and operating SPARTAN has been described in detail, which is expected to help set the stage for the observation system in the future.

호흡기를 통한 약액 전달을 위한 진세노사이드 초미세입자 분무장치 제작 (Fabrication of an ultra-fine ginsenoside particle atomizer for drug delivery through respiratory tract)

  • 이병철;박진수;양웅모
    • 대한융합한의학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.5-12
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    • 2021
  • Objectives: The purpose of this study is to fabricate an ultra-fine ginsenoside particle atomizer that can provide a new treatment method by delivering ginsenoside components that have a therapeutic effect on respiratory diseases directly to the lungs. Methods: We fabricated the AAO vibrating mesh by using the micromachining process. The starting substrate of an AAO wafer has a 350nm pore diameter with 50㎛ thickness. A photomask having several 5㎛ opening holes with a 100㎛ pitch was used to separate each nanopore nozzle. The photoresist structure was optimized to pattern the nozzle area during the lift-off process precisely. The commercial vibrating mesh was removed from OMRON's NE-U100 product, and the fabricated AAO vibrating mesh was installed. A diluted sample of 20mL with 30% red ginseng concentrate was prepared to atomize from the device. Results: As a result of liquid chromatography analysis before spraying the ginsenoside solution, ginsenoside components such as 20S-Rg3, 20R-Rg3, and Rg5 were detected. After spraying through the AAO vibrating mesh, ginsenosides of the same component could be detected. Conclusion: A nutrient solution containing ginsenosides was successfully sprayed through the AAO vibrating mesh with 350 nm selective pores. In particular, during the atomizing experiment of ginsenoside drug solution having excellent efficacy in respiratory diseases, it was confirmed that atomizing through the AAO vibrating mesh while maintaining most of the active ingredients was carried out.

서해 만경-동진 조간대의 주요 우점 저서 규조류의 분포 (Distribution Pattern of dominant Benthic Diatoms on the Mangyung-Dongjin Tidal Flat, West Coast of Korea)

  • 오상희;고철환
    • 한국해양학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.24-37
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    • 1991
  • 저서규조류의 분포와 서식지 환경에 대한 조사가 서해에 위치한 만경-동진 펄 조 간대에서 이루어졌다. 총 60개의 정점으로부터 표층퇴적물을 정량적으로 취하여 서식 규조류의 종류를 파악하고, 개체수를 세었다. 퇴적물 입도분석을 하였으며, 정점별도 대기에 노출되는 시간의 길이로 계산하였다. 퇴적물은 외해쪽 또는 하부조간대로 갈수 록 조립해지고, 강하구쪽 또는 상부조간대로 갈수록 세립해진다. 총 371 분류군이 채 집되었으며, Navicula와 Nitzschia가 가장 우점하는 속이었다. 총 출현 개체수에서 1% 이상을 차지하는 규조는 다음6종이다. Paralia sulcata, Navicula sp. 1, Navicula arenaria, Cymatosira belgica, Amplora holsatica, Amphora coffeaeformis, Achnanthes hauckiana, Rhaphoneis amphiceros, Thalassionema nitzschioides. Navicula sp. 2, Dimeregramma minor, Amphora sp. 1, Cyclotella atomus, C, striata, Nitzschia kuetzingiana, Stephanodiscus sp. 1.이들 16종의 조사정점에 따 른 개체수 분포를 기재하였다. 우점종의 대부분은 니질성 규조이며, 그 분포범위 는 매우 넓다. 사질성규조인 무배선, 단배선형에 속하는 종들은 하부조간대에 국한되 어 분포한다. 사질성규조로서 대표적인 종류는 다음의 것들이다. Cocconeis sp. 1, Opephora martyi, Amphora sabyii, Dimeregramma minor var. nana, Fragilaria virescens var. oblongella, F. virescens, Cocconeis grata. 일정 면적당 개체수는 세립질 퇴적물이 우세한 상부조간대와 강하구에서 많다.

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신두 해양생태계보호구역 해빈과 조하대의 퇴적물 특성 (Sediment Characteristics of the Beach and Subtidal Zone in Shindu Marine Protected Area)

  • 신영호;서종철
    • 대한지리학회지
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    • 제49권6호
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    • pp.812-832
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    • 2014
  • 신두 해양생태계보호구역의 퇴적환경을 파악하기 위해 조하대 20개와 해빈 9개 지점에서 여름철과 겨울철에 시료를 채취하여 물리화학적 특성을 분석하였다. 퇴적물의 입도평균은 전체적으로 겨울철보다 여름철에 작아지는 경향이 나타났다. 여름철에는 신두리 해안의 서쪽과 해빈에서 멀어질수록 세립해지는 경향이 나타났고, 겨울철에는 뚜렷한 공간적인 경향이 없이 대체로 조립질 퇴적물이 분포하였다. 이러한 계절적-공간적인 퇴적물 입도 패턴이 나타나는 원인으로 계절별 파랑의 세기에 영향을 미치는 수심의 공간적 차이와 여름철 다우기에 남쪽 하구역으로부터 공급될 수 있는 세립질 퇴적물의 영향을 들 수 있다. 양이온 함량은 1차에서 $Na^+$>$Ca^{2+}$>$Mg^{2+}$>$K^+$, 2차에서 $Na^+$>$Mg^{2+}{\fallingdotseq}Ca^{2+}$>$K^+$의 순으로 나타났다. $Na^{2+}$, $Mg^{2+}$, 그리고 $K^+$는 입도평균이 작고 세립질 함량이 높은 곳에서 높았으며, 상호 간에 높은 상관관계를 보였다. 그렇지만 $Ca^{2+}$은 이러한 패턴이 나타나지 않았다. 이 연구를 통해 조하대-해빈-해안사구로 이어지는 신두 해안시스템의 시공간적으로 독특한 퇴적환경을 확인할 수 있었다. 환경적으로 건전한 해안관리를 위해서 이러한 특성들이 고려되어야 할 것이다.

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대기부유분진중 nitroarenes 오염도와 그 돌연변이원성에 관한 조사연구 - 서울시 일부지역을 중심으로 - (Atomospheric Concentration and Mutagenicity of Nitroarenes of Suspended Particulates in Seoul)

  • 조성준;최용욱;임영욱;신동천;정용
    • Environmental Analysis Health and Toxicology
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    • 제5권3_4호
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    • pp.19-28
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    • 1990
  • Nitroarenes are ubiquitous environmental pollutants displaying potent mutagenicity in bacteria and carcinogenicity in mammal. In this study, the concentration of nitroarenes in coarse and fine particles and mutagenicity of POC$\_$N/ fraction was investigated in suspended particulates at the Shinchon and Bulkwang area of Seoul. The suspended particulates were collected bimonthly by a high volume cascade impactor air sampler from July 1987 to May 1988. Extractable organic matter was obtained by ultrasonic extraction on diethly ether/cyclohexane (8/2, v/v). Neutral fraction was obtained by liquid-liquid extraction. Polar neutral organic compounds (POC$\_$N/) was fractionated by thin-layer chromatography. Finally, the concentrations of nitroarenes in POC$\_$N/ fraction were measured and determined by capillary gas chromatography. Direct and indirect mutagenicity of POC$\_$N/ fraction were measured using Salmonella typhimurium TA 98. The result were as follows: 1) Major nitroarenes at the Shinchon area was 1-nitropyrene and at the Bulkwang area it was 2,7-dinitro-9-fluorenone during the year. 2) Average concentration of total nitroarenes measured was 67.26 ng/m$^3$in fine particles which was 1,3 folds higher that in coarse particle (52.30 ng/m$^3$). 3) Annual pattern of nitroarenes concentrations revealed that concentration during heating season (Feb., Jan., Mar.) was 2.2 folds higher than that in non heating season (May, Jul., Sep.). Concentration of each season has 157.68 ng/m$^3$and 80.39 ng/m$^3$. 4) The mutagenic activity of POC$\_$N/ fraction from fine particles was higher compared to that of coarse particles and was increased when metabolically activated, with 59 mixture. Mutagenicities, Metabolically activated, were significantly different between Shinchon and Bulkwang area, 322.8 rev/250 $\mu\textrm{g}$/plate and 286.8 rev/250 $\mu\textrm{g}$/plate, respectively. 5) Annual pattern of mutagenicity of POC$\_$N/ fraction revealed that mutagenicity during the heating season was 1.7 folds higher at Shinchon area and 1.2 folds higher at Bulkwang than during the non heating season. The variable contents and levels of nitroarenes in suspended particulates may affect human health significantly. Further studies such as risk assessment should be conducted on the basis of these kind of studies.

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겨울철 서울과 부산지역의 분진 중 이온분포의 특성 연구: 미세와 조대영역간의 비교 (The wintertime distribution of ionic components in Seoul and Busan: Comparative analysis between fine and coarse particles)

  • 김기현;강창희;최금찬;김영준
    • 분석과학
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    • 제17권3호
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    • pp.230-239
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    • 2004
  • 2002년 겨울철 서울과 부산지역에서 채취한 PM2.5와 PM10 입자를 이용하여, 입자를 구성하는 주요 무기성 이온성분의 농도를 입경영역별로 비교하고, 이를 토대로 양 지역 입자의 조성경로와 관련된 여러 가지 화학적 특성을 비교분석하였다. 특히 이들 결과를 미세와 조대영역으로 구분할 경우, 상당히 뚜렷한 차이를 확인할 수 있었다. 인위적 오염원의 영향이 큰 서울지역의 경우, 미세입자의 절대농도가 조대입자 영역에 비해 약 3배 이상 높은 것으로 나타났다. 반면 부산지역의 경우, 큰 차이가 나타나지 않았다. 서울이나 부산지역 모두 미세영역에서는 $NH{_4}^+$, $NO{_3}^-$, NSSS와 같은 성분이 양적으로 절대적인 부분을 차지하는 것으로 나타났다. 반면 조대영역의 경우, 양지역 간에는 큰 차이가 뚜렷하게 보였다. 서울의 경우, $NH{_4}^+$, $Ca^{2+}$과 같은 양이온과 $NO{_3}^-$, NSSS와 같이 인위적인자의 영향을 반영하는 성분들이 중요한 것으로 나타났다. 반면, 부산의 경우, 음이온의 경우 $NO{_3}^-$의 양적인 기여도가 여전히 크게 나타났지만, 해양성 기원의 역할을 확인시켜 주는 $Cl^-$$Na^+$의 기여도가 절대적으로 중요한 것으로 나타났다. 이러한 입경영역별 조성의 특성은 여러 가지 통계적인 분석에서도 일관성있게 확인되었다.