Preparation and Properties of RuO$_{2}$ Thin Films by Using the RF Magnetron Reactive Sputtering
(RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO$_{2}$ 박막의 제작과 특성에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- 제34D권8호
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- pp.8-14
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- 1997