• 한국분말야금학회:학술대회논문집
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• 한국분말야금학회 1997년도 추계학술강연 및 발표대회 강연 및 발표논문 초록집
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• pp.32-33
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• 1997

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
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• pp.31-32
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• 1992

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2009년도 임시총회 및 하계학술연구발표회
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• pp.99-100
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• 2009

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2009년도 정기총회 및 동계학술연구발표회
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• pp.176-177
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• 2009

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.137-137
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• 1998

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.138-138
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• 1998

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.171-171
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• 2011

Co and Fe doped multi-wall carbon nano-tubes (MWCNTs) synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique are investigated with synchrotron radiations at Pohang Light Source (PAL) and European Synchrotron Radiation Facility (ESRF). Near edge x-ray absorption spectroscopy (NEXAFS) measurement at C K, Co $L_{3,2}$ and Fe $L_{3,2}$-edges, and x-ray magnetic circular dichroism (XMCD) at Co and Fe $L_{3,2}$-edges have been carried at 7B1 XAS KIST and 2A MS beamline, respectively, to understand the electronic structure and responsible magnetic interactions at room temperature. X-ray absorption spectroscopy (XAS) at C K-edge shows significant p-bonding and Co and Fe L-edges proves the presence of $Co^{2+}$ and $Fe^{2+}$ in octahedral symmetry. Co and Fe doped MWCNTs show good XMCD spectra at 300K. The effect on the magnetism is also studied through swift heavy ion (SHI) radiations and magnetism is found enhanced and change in the electronic structure in Co-CNTs is investigated.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.200-200
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• 2013

기존 메모리 반도체에 비교해 빠른 재생속도와 높은 집적도, 비휘발성 등의 특성을 가지는 MRAM (Magnetic Random Access Memory)은 DRAM, flash memory 등을 대체할 수 있는 차세대 기억 소자로서 CoFeB/MgO/CoFeB로 구성된 한 개의 MTJ (Magnetic Tunnel Junction)를 단위 메모리로 사용한다. 이 MTJ 물질들은 고밀도 플라즈마를 이용한 건식 식각공정시 Cl2, BCl3 등과 같은 chlorine 을 포함한 가스를 이용하여 왔으나 식각 후 sidewall에서 발생하는 부식과 식각 선택비 확보의 어려움 등으로 마스크 물질에 제약을 받고 소자 특성이 감소하게 되는 등의 문제가 있다. 따라서 이러한 식각 문제점을 해결하기 위한 대안으로 noncorrosive 가스인 CO/NH3, CH3OH, CH4 등을 이용한 MTJ 식각 연구가 진행되어 오고 있으며 이중 CO/NH3 혼합가스는 부식성이 없고 hard mask와의 높은 선택비를 가지는 기체로 CO gas에 NH3 gas를 첨가하게 되면 etch rate이 증가하는 특성을 보인다. 또한 rf pulse-biased power를 이용하여 이온의 입사를 시간에 따라 제어함으로써 pulse off time 때 etch gas와 MTJ 물질간의 chemical reaction을 향상시킬 수 있다. 따라서 본 연구에서는 CO/NH3 혼합가스를 이용하여 다양한 rf pulse-biased power 조건에서 MTJ 물질인 CoFeB, MgO와 hard mask 물질인 W을 식각 한 뒤 식각특성을 분석하였으며 MTJ surface의 chemical binding state, surface roughness 측정을 진행하였다. 식각 샘플의 측정은 Alpha step profiler, XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy), AFM (Atomic Force Microscopy)를 통해 진행되었다. Time-averaged pulse bias에서는 duty ratio가 감소할수록 etch rate의 큰 감소 없이 CoFeB/W, MgO/W 물질의 etch selectivity가 향상됨을 확인할 수 있었으며 pulse off time 구간에서의 chemical reaction 향상으로 인해 식각부산물의 재증착이 감소하고 CoFeB의 surface roughness가 감소하는 것을 확인하였다.

• Journal of Magnetics
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• 제1권1호
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• pp.31-36
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• 1996

An externally applied magnetic field during heat treating the $Nd_2Fe_{14}B/Fe_3B$ based spring magnet was found to enhance the exchange coupling between the hard and soft magnetic grains. More than 30% increase in $M_r/M_s$ values for melt-spun $Nd_2Fe_{73.5}Co_3$$(Hf_{1-x}Ga_x)B_{18.5}$ (x=0, 0.5, 1) alloys was resulted from a uniform distribution of $Fe_3B, \alpha-Fe$ and $Nd_2Fe_{14}B$ phases, and also from a reduced grain size of those phases by 20%. The externally applied magnetic field induced a uniform distribution of fine grains. A study of Mossbauer effect also report that the enhancement of total magnetization of nanocomposite $Nd_2Fe_{14}B/Fe_3B$ alloys is attributed to an increased formation of $Fe_3$B after magnetic annealing.

• 한국자기학회지
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• 제7권1호
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• pp.49-54
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• 1997

급속응고된 (N $d_{14.73}$F $e_{78.67}$ $B_{6.60}$)$_{100-x}$ $Co_{x}$(X = 0, 1, 2, 3)리본의 열처리 온도에 따른 자기적 특성, 상변화, 미세조직의 변화에 대해 연구하였다. Co의 첨가로 인해 N $d_{2}$F $e_{14}$B 상의 결정입도가 균일해졌으며, Nd-rich 상들이 입계에 잘 분포됨으로써 보자력($_{i}$ $H_{c}$)이 향상되어 X=2에서 최대 20.3 kOe를 얻었다. 이와 같은 미량의 Co에 의한 보자력 향상의 효과는 고온성형을 요하는 hot-press 및 die-upset에서도 동일하게 나타났으며 최대의 보자력은 X=2에서 hot press시에 16.9 kOe, die-upset 시에 15.12 kOe 이다.