A Study on Machine Failure Improvement Using F-RPN(Failure-RPN): Focusing on the Semiconductor Etching Process (F-RPN(Failure-RPN)을 이용한 장비 고장률 개선 연구: 반도체 식각 공정을 중심으로)
-
- Journal of the Korea Safety Management & Science
- /
- v.23 no.3
- /
- pp.27-33
- /
- 2021