Reliability of Cu Interconnect under Compressive Fatigue Deformation Varying Interfacial Adhesion Treatment (유연소자용 기판과의 접착 특성에 따른 구리 배선의 압축 피로 거동 및 신뢰성)
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- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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- v.30 no.4
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- pp.105-111
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- 2023