Comparison of plasma resistance between spray coating films and bulk of CaO-Al2O3-SiO2 glasses under CF4/O2/Ar plasma etching (CaO-Al2O3-SiO2 계 벌크 유리와 스프레이 코팅막의 CF4/O2/Ar 플라즈마 식각 시 내식성 비교)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.30 no.2
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- pp.66-72
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- 2020