The brightness of an electron source, along with the aberrations of an objective lens, determines the image resolution and beam current on samples, which are two important parameters for evaluating the performance of an electron microscope. Here we introduce thermal electron source, Schottky emitter and cold field electron emitter. Thermal electron source is the cheapest and stable electron source but it has the lowest brightness. Schottky emitter is 10000 times brighter than tungsten thermal electron source, but requires ultrahigh vacuum operating condition. Cold field electron emitter is 10 times brighter than Schottky emitters, but it is rather unstable and its operation requires most stringent vacuum condition, hindering its widespread use.
This paper analyses the relationship between the distribution of a dielectric layer on the apex of a metal field electron emitter and the distribution of electron emission. Emitters were prepared by coating a tungsten emitter with a layer of epoxylite resin. A high-resolution scanning electron microscope was used to monitor the emitter profile and measure the coating thickness. Field electron microscope studies of the emission current distribution from these composite emitters (Tungsten-Clark Electromedical Instruments Epoxylite resin [Tungsten/CEI-resin emitter]) have been carried out. Two forms of image have been observed: bright single-spot images, thought to be associated with a smooth substrate and a uniform dielectric layer; and multi-spot images, though to be associated with irregularity in the substrate or the dielectric layer.
Kim, Young-Chul;Kim, Dae-Wook;Ahn, Seung-Joon;Kim, Ho-Seob;Jang, Won-Kweon
Korean Journal of Optics and Photonics
/
v.13
no.4
/
pp.314-318
/
2002
We examine the adjustment of the semiconvergent angle and current for the miniaturized micro column working at low voltage but producing maximized current. Our study shows that the minimum electron beam sizes are 10 ㎚ for the cold field emitter (CFE) and 20 ㎚ for the thermal field emitter (TFE) at a given condition.
Kim, Jong-Ung;Ryu, Byong-Hwan;Moon, Hee-Sung;Kim, Jae-Myeong;No, Cho-Hang;Uk, Park-Seoung;Choi, Young-Min
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
/
2007.08a
/
pp.937-939
/
2007
Carbon nanotubes (CNTs) have used as an electron field emitter of the field emission display (FED) due to their characteristics of high-electron emission, rapid response and low power consumption. However, to commercialize the FED with CNT emitter, some fundamental problems regarding life time and emission efficiency have to be solved. In this study, we investigated the $TiO_2$ coated CNT as a field emitter. $TiO_2$ nanoparticles can coated on CNT surface by chemical solution method. $TiO_2$ nanoparticles had uniform size with the average size of about 2.4 nm to 3.1 nm. Field emission performance of CNT coated with $TiO_2$ nanoparticles was evaluated and discussed.
A new type of electron emitter device of chemical-vapor-deposited diamond thin film is proposed. The device is a diode of metal-insulator-insulator-semiconductor (MIS) structure consisting of an intrinsic polycrystalline diamond film as the insulator, an aluminium electrode on one side, and hydrogenated diamond surface on the other side as the p-type semconductor with negative electron affinity (NEA). Electrons will be injected and/or excited to the conduction band of intrinsic diamond layer to be emitted from the hydrogenated diamond surface of NEA.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
/
2011.08a
/
pp.383-383
/
2011
Generally, field emitters can be categorized into two types according to the emitter shape, one is a planar field emitter and the other is a point emitter. The planar field emitter is used for displays, flat lamps and signage boards. On the other hands, the point field emitter is expected to play a significant role in x-ray sources and electron beam sources. Such applications of the point field emitters, especially, need large emission current and high emission stability with a small electron beam size. A few reports announced point emitters made by carbon nanotubes (CNTs). However, they still have suffered from poor reproducibility and low emission current. Here, we demonstrated high performance CNT point emitters by attaching CNTs onto graphite rod. Graphite rod exhibited good electrical conductivity and chemical stability. In this method, the shape of the point emitter could be easily controlled by changing the length and diameter of the graphite rod. The CNT point emitter showed emission current over 1 mA at an applied electric field of 1.4 V/${\mu}m$. We consider that the stable emission performance is attributed to the stable contact between CNTs and graphite rod.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
/
v.16
no.4
/
pp.330-335
/
2003
This paper reports the optimum structure of the vacuum packaged Porous poly-silicon Nano-Structured (PNS) emitter. The PNS layer was obtained by electrochemical etching process into polycrystalline silicon layer in a process controlled to anodizing condition. Current-voltage studies were carried out to optimize process condition of electron emission properties as a function of anodizing condition and top electrode thickness. Also, we measured in advance the electron emission properties as a function of substrate temperature because the vacuum packaged process was performed under the condition of high temperature ambient (430$^{\circ}C$). Auger Electron Spectrometer (AES) studies shows that Au as a top-electrode was diffused to PNS layer during temperature experiments. Thus, we optimized the thickness of top-electrode in order to make the vacuum package PNS emitter. As a result, the vacuum Packaged PNS emitter was successfully emitted by optimizing process.
Kim, Chung-Soo;Kim, Dong-Hwan;Park, Man-Jin;Jang, Dong-Young;Ahn, Sung-Hoon;Han, Dong-Chul
Proceedings of the KSME Conference
/
2007.05a
/
pp.1277-1281
/
2007
A Nano-tip as a cold field emitter for inducing a field emission current has manufactured in many ways. In the paper, the electrochemical etching method is used. Thus, in order to optimize the final shape as the field emitter, the reliable fabrication system for electrochemical etching was constructed. In addition, the effective parameters such as applied voltage, submerged length, meniscus height, electrolyte concentration and environmental condition(vibration, humidity, cut-off time) have investigated in detail. By controlling the parameters, reliable tungsten tip for field emitter was fabricated. And the fabricated tungsten tip was evaluated optically. Finally, the very sharp apex of the tungsten tip was observed with scanning electron microscope.
Kim, Jong-Ung;Lee, Jung-A;Ryu, Byong-Hwan;Kim, In-Ho;Moon, Hee-Sung;Kim, Jae-Myeong;Choi, Young-Min
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
/
2006.08a
/
pp.1198-1201
/
2006
Carbon nanotubes (CNTs) have used as an electron field emitter of the field emission display (FED) due to their characteristics of high-electron emission, rapid response and low power consumption. However, to commercialize the FED with CNT emitter, some fundamental problems regarding life time and emission efficiency have to be solved. In this study, we investigated the metal coated CNT as a field emitter on which metal nanoparticles were coated by chemical modification. Metal nanoparticles, such as Ru, Pd, were synthesized by solution reduction method. The size of the metal nanoparticle has the range of 2 - 5 nm. Surface was modified chemically with the use of ionic surfactant which changed the surface charge of nanoparticles.
This paper presents the fabrication and field emission of carbon nanotube field emitters for a micro mass spectrometer. The carbon nanotube is an adequate material as a field emitter since it has good characteristics. We have successfully fabricated a diode field emitter and a triode field emitter. Each field emitter has been constructed using several micromachining processes and a thermal CVD process. In the case of the diode field emitter, to increase the electric field, the carbon nanotubes are selectively grown on the patterned nickel catalyst layer. The electron current of the diode field emitter is 73.2 ${\mu}A$ when the anode voltage is 1100V. That of the triode field emitter is 3.4 pA when the anode voltage is 1000V.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.