• 제목/요약/키워드: Edge Termination

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낮은 온저항과 칩 효율화를 위한 Unified Trench Gate Power MOSFET의 설계에 관한 연구 (Design of Unified Trench Gate Power MOSFET for Low on Resistance and Chip Efficiency)

  • 강이구
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제26권10호
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    • pp.713-719
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    • 2013
  • Power MOSFET operate voltage-driven devices, design to control the large power switching device for power supply, converter, motor control, etc. We have optimal designed planar and trench gate power MOSFET for high breakdown voltage and low on resistance. When we have designed $6,580{\mu}m{\times}5,680{\mu}m$ of chip size and 20 A current, on resistance of trench gate power MOSFET was low than planar gate power MOSFET. The on state voltage of trench gate power MOSFET was improved from 4.35 V to 3.7 V. At the same time, we have designed unified field limit ring for trench gate power MOFET. It is Junction Termination Edge type. As a result, we have obtained chip shrink effect and low on resistance because conventional field limit ring was convert to unify.

Ni/Au 쇼트키 접합의 산화를 통해, AlGaN/GaN heterostructure 웨이퍼 위에 제작한 쇼트키 장벽 다이오드의 누설전류 억제 (Suppression of the leakage current of a Ni/Au Schottky barrier diode fabricated on AlGaN/GaN hetero-structure by oxidation)

  • 임지용;이승철;하민우;한민구
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.3-5
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    • 2005
  • Ni/Au 쇼트키 접합의 산화를 통해 항복전압이 증가하고 누설 전류가 감소한 수평방향 GaN 쇼트키 장벽 다이오드를 제작하였다. 산화 과정 후, 턴-온 전압이 미세하게 증가하였으며 높은 애노드 전압하에서 애노드 전류가 증가하였다. 5분과 10분의 산화 과정 후, 누설 전류는 1nA 이하 수준으로 현저히 감소하였다. Edge Termination 방법으로 Floating Metal Ring을 사용하고, 산화 과정을 적용하여 제안된 GaN 쇼트키 장벽 다이오드의 항복전압은 750볼트의 큰 값을 얻을 수 있었다. 상온과 $125^{\circ}C$ 에서 제작한 GaN 쇼트키 장벽 다이오드의 역방향 회복 파형도 측정하였으며, 제작한 소자는 매우 빠른 역방향 회복 특성을 보였다.

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탄화규소 (4H-SiC) 기반 패키지 된 2kV PiN 파워 다이오드 제작과 전기적 특성 분석 (The Fabrication of Packaged 4H-SiC 2kV power PiN diode and Its Electrical Characterization)

  • 송재열;강인호;방욱;주성재;김상철;김남균;이용재
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.67-68
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    • 2008
  • In this study we have developed a packaged silicon carbide power diode with blocking voltage of 2kV. PiN diodes with 7 field limiting rings (FLRs) as an edge termination were fabricated on a 4H-SiC wafer with $30{\mu}m$-thick n-epilayer with donor concentration of $1.6\times10^{15}cm^{-3}$. From packaged PiN diode testing, we obtained reverse blocking voltage of 2kV, forward voltage drop of 4.35V at 100A/$cm^2$, on-resistance of $6.6m{\Omega}cm^2$, and about 8 nanosec reverse recovery time. These properties give a potential for the power system application.

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Boron 확산공정을 이용한 5,000V, 4인치 광 사이리스터의 제작 및 특성 평가 (Fabrication of 5,000V, 4-Inch Light Triggered Thyristor using Boron Diffusion Process and its Characterization)

  • 박건식;조두형;원종일;이병하;배영석;구인수
    • 전력전자학회논문지
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    • 제24권6호
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    • pp.411-418
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    • 2019
  • Light-triggered thyristors (LTTs) are essential components in high-power applications, such as HVDC transmission and several pulsed-power applications. Generally, LTT fabrication includes a deep diffusion of aluminum as a p-type dopant to form a uniform p-base region, which needs careful concern for contamination and additional facilities in silicon semiconductor manufacturing factories. We fabricated 4-inch 5,000 V LTTs with boron implantation and diffusion process as a p-type dopant. The LTT contains a main cathode region, edge termination designed with a variation of lateral doping, breakover diode, integrated resistor, photosensitive area, and dV/dt protection region. The doping concentration of each region was adjusted with different doses of boron ion implantation. The fabricated LTTs showed good light triggering characteristics for a light pulse of 905 nm and a blocking voltage (VDRM) of 6,500 V. They drove an average on-state current (ITAVM) of 2,270 A, peak nonrepetitive surge current (ITSM) of 61 kA, critical rate of rise of on-state current (di/dt) of 1,010 A/㎲, and limiting load integral (I2T) of 17 MA2s without damage to the device.

국제라이선스계약이 가지는 상사분쟁의 주요 쟁점에 관한 고찰 (A study on several points of commercial disputes in international license Agreement)

  • 정희진
    • 통상정보연구
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    • 제19권1호
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    • pp.191-210
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    • 2017
  • 지난날 경쟁력과 부가가치 창출의 원천이 토지 노동 자본에서 창출되었다면 오늘날 21세기 지식기반경제에서 새로운 성장의 동력으로 기술이 주목 받고 있다. 이러한 세계경제 패러다임의 변화는 국제적 기술이전의 확산을 가져왔고 국제거래에 있어서 물품과 같은 유형재뿐만 아니라 특허나 노하우 등 대표되는 무형재의 거래도 점차 증가하고 있다. 국제라이선스계약은 기술이전의 대표적 형태로 기술제공자가 기술의 소유권은 그대로 보유한 채로 기술이용자에게 일정기간 기술의 실시만을 허락하고 그 대가로 로열티를 취하는 계약이다. 이러한 기술거래를 통한 경제적 이익은 계약의 원만한 이행과 종료로 실현할 수 있다. 한편 국제라이선스계약은 기술이라는 무형재를 대상으로 하면서 일정기간 대여를 목적으로 한다는 점에서 당사자간 의무가 국제상거래의 대표적 형태인 매매계약과 상이한 부분이 많다. 이에 본고에서는 국제라이선스계약상 당사자의 주요 의무와 각 의무에서 분쟁이 될 수 있는 쟁점을 살펴봄으로써 분쟁의 사전적 예방에 도움이 될 수 있는 시사점을 도출하고자 함을 목적으로 한다.

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소형 광대역 L-형 슬롯 안테나 (Compact and Broadband L-shaped Slot Antenna)

  • 장민규;이영순
    • 한국항행학회논문지
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    • 제18권4호
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    • pp.376-380
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    • 2014
  • 본 논문에서는 광대역 특성을 가지는 기울어진 L-형 모노폴 슬롯안테나를 새롭게 제안하였다. 안테나의 소형화 및 광대역화를 위해 접지면의 모서리에 위치하여 슬롯의 양 끝단이 개방되는 L-형 슬롯을 사용하였다. 그리고 낮은 주파수 대역에서 대역폭 증가를 위해 L-형 슬롯의 하단 구조를 기울어진 형태로 하였고, 반면에 높은 주파수 대역에서의 대역폭 증가를 위해 L-형 슬롯의 상단 구조를 테이퍼 형태로 하였다. 급전 구조는 일반적으로 개방 종단보다 대역폭 증가에 유리한 것으로 알려진 단락 종단된 마이크로스트립 급전선을 사용하였다. 제안된 안테나의 제작 및 측정 결과, 임피던스 대역폭($S_{11}{\leq}-10dB$)이 4.72 GHz (2.28~7 GHz)인 광대역 특성을 얻을 수 있었으며, 안테나 이득의 경우 전 대역에서 약 3dBi 이상의 높은 이득을 얻을 수 있었다.

외상성교합(外傷性咬合)이 가토악관절(家兎顎關節)에 미치는 영향(影響)에 관(關)한 실험적(實驗的) 연구(硏究) (AN EXPERIMENTAL STUDY ON THE EFFECT OF RABBIT TEMPOROMANDIBULAR JOINT BY TRAUMATIC OCCLUSION)

  • 손한기
    • 대한치과보철학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.34-42
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    • 1977
  • The author attempted to observed the histological changes of the temporomandibular joints of rabbits by including malocclusion. Thirth-two healthy male rabbits were devided into two groups; control and experimental group. Eight rabbits were kept as control group, while metal crowns were seated on unilateral lower molar teeth of twenty-four rabbits as experimental group. And the interocclusal distance of the incisal edge was kept 1.5mm from the begining to the end of the experimental periods. Rabbits of each group, one of control group and three of the experimental gorup, were killed at the intervals of one day, three days, one week, two weeks, four weeks, six weeks, eight weeks, and twelve weeks after experiment. The temporomandibular joint including condyle head, articular disc and glenoid fossa were excised and decalcified. The decalcified sections were made histologic sections. The results obtained were as follows. 1. The regressive changes of the condylar head were the main reaction in this experiment that consist of decreasing or increasing thickness of the fibrocartilage zone with hyaline degeneration, decreasing of the cellularity of the proliferative zone, and the irregularity of the arrangement of chondrocytes and size of the lacunae of cartilage cells with chondroclasia and osteoclasia in hypertrophic zone. 2. The regressive changes of the condylar surface of the crown seated side were persisted to the end of the experiment. 3. On the non-crown seated side, severe aggressive changes occurred in initial stage, but hyperplastic changes of the condylar surface noted in the middle of the experimental periods. 4. Although aggressive changes occurred in initial stage of experiment on the non-crown seated side, hyperplastic changes of the condylar surface were noted in the middle of the experimental periods, and remodeling appeared at the termination of the experimental periods. 5. The articular disc exhibited pannus formation on both crown seated and non crown seated side from the beginning of the experiment. The pannus persisted throughout the experiment on the crown seated side, but on the non-crown seated side it disappeared from six week group.

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4인치 광점호 Thyristor의 제조 및 특성 분석에 대한 연구 (Fabrication and Characterization of 5000V class 4-inch Light Triggered Thyristor)

  • 조두형;원종일;유성욱;고상춘;박종문;이병하;배영석;구인수;박건식
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2019년도 전력전자학술대회
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    • pp.230-232
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    • 2019
  • Light Triggerd Thyristor (LTT)는 HVDC 및 산업용 스위치 등에 사용되는 대전력 반도체소자이다. 일반적인 Thyristor가 전기적 신호에 의해 trigger 되는 것과는 다르게 LTT는 광신호에 의해 동작하는 소자이다. 본 논문에서는 5,000V, 2,200A 급의 4인치 LTT 소자의 제작 및 전기적인 특성평가 결과를 기술하였다. 4인치 LTT의 구조적인 특징은 전면부 중앙에 광신호가 주입되는 수광부가 위치해 있으며 입력 전류 증폭을 위한 4-단계 증폭 게이트 (gate) 구조를 가지도록 설계하였다. $400{\Omega}{\cdot}cm$ 비저항을 갖는 1mm 두께의 n-형 실리콘 웨이퍼에 boron 이온주입과 열처리 공정으로 약 $30{\mu}m$ 깊이의 p-base를 형성하였으며, 고내압 저지를 위한 edge termination은 VLD (variable lateral doping) 기술을 적용하였다. 제작된 4인치 LTT는 6,500 V의 순방향 항복전압 ($V_{DRM}$) 특성을 나타내었으며, 100V의 어노드전압 ($V_A$)과 20 mA의 게이트전류 ($I_G$)에 의하여 thyristor가 trigger 됨을 확인하였다. 제작한 LTT 소자는 disk형 press-pack 패키지를 진행한 후, LTT의 수광부에 $10{\mu}s$, 50 mW의 900 nm 광 펄스를 조사하여 전류 특성을 평가하였다. LTT 패키지 샘플에 60 Hz 주파수의 광 펄스를 조사한 경우 2,460 A의 순방향 평균전류 ($I_T$)와 $336A/{\mu}s$의 반복전류상승기울기 (repetitive di/dt)에 안정적으로 동작함을 확인하였다. 또한, 펄스 전류 시험의 경우 61.6 kA의 최대 통전 전류 (ITSM, surge current)와 $1,050A/{\mu}s$의 펄스전류 상승 기울기 (di/dt of on-state pulse current)에도 LTT의 손상 없이 동작함을 확인하였다.

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인의 도핑으로 인한 실리콘산화물 속 실리콘나노입자의 광-발광현상 증진 및 억제 (Enhancement and Quenching Effects of Photoluminescence in Si Nanocrystals Embedded in Silicon Dioxide by Phosphorus Doping)

  • 김준곤;우형주;최한우;김기동;홍완
    • 한국진공학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.78-83
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    • 2005
  • 지난 10년 동안 유전체 내부에 형성된 나노미터 크기의 규소알갱이는 발광센터로서 주목 받아왔다 나노미터 크기인 결정질 규소의 엑시토닉 전자-홀의 쌍들이 발광결합에 기여한다고 여겨진다. 그러나 규소결정에 존재하는 여러가지 결함들은 비발광 천이의 경로가 되어 나노규소결접립의 발광천이와 경쟁하여 발광효율을 저하시키는 요인이 된다. 이러한 결정 결함들은 고온 열처리과정에서 대부분 소멸되나 $1000^{\circ}C$ 이상의 공정 에서도 나노규소와 유전체의 계면에 존재하는 결함들은 나노규소결정립의 발광을 억제하게 된다. 일반적으로 수소로서 규소결정립의 계면을 마감처리하게 되면 규소결정립의 발광효율이 획기적으로 향상되나 불행하게도 매질 내 수소의 높은 이동성으로 말미암아 후속 열처 리 과정에서 수소마감효과는 쉽게 손실된다. 따라서 본 연구에서는 온도가역적인 수소 대신 인을 이온주입 방법으로 첨가하여 수소와 같은 계면 마감효과를 얻으며 또한 후속 고온공정 에 대한 내구력을 증대시켰다. 모재인 산화규소 기판에 400keV, $1\times10^{17}\; Si/cm^2$와 그 주위에 균일한 함량을 도핑하기 위하여 다중에너지의 인을 주입하였다. 규소와 인을 이온주입 후 Ar 분위기에서 $1100^{\circ}C$ , 두 시간의 후열처리를 통하여 규소결정립을 형성하였으며 향상된 내열효과를 시험하기 위하여 Ar 분위기에서 $1000^{\circ}C$까지 열처리하였다. 인으로 마감된 나노미터 크기인 규소 결정립의 향상된 광-발광(PL)효과와 감쇄시간, 그리고 발광파장의 변화에 대하여 논의하였다.