Dry etching of pt thin film in inductive coupled BCl$_{3}$ /Cl$_{2}$ plasmas
(유도 결합 BCl$_{3}$ /Cl$_{2}$ 플라즈마내에서 Pt 박막의 건식 식각)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 1998.06a
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- pp.375-378
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- 1998