• 한국전자통신학회논문지
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• 제17권6호
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• pp.1175-1180
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• 2022

STI는 반도체 소자의 소형화 및 고집적화에 따른 광역 평탄화를 위한 공정 기술로써 많은 연구가 이루어져 왔다. 본 연구에서는 STI의 profile 개선을 위한 방법으로 STI 건식각 후 HF 용액에 의한 pad oxide 습식각과 O₂+CF₄ 건식각을 제안하였다. 이 공정 기술은 기존의 방법보다 소자의 밀집도에 따른 패턴간의 프로파일 불균형과 누설전류의 개선을 나타내었다. 또한 동일한 STI 깊이와 HLD 증착를 갖는 디바이스에 대하여 CMP 후 HLD 두께를 측정한 결과 디바이스 밀도에 따라 측정값이 다르게 나타났고 이는 CMP 후 디바이스 밀도에 따른 질화막의 두께 차이 및 슬러리의 선택비에 기인됨을 확인하였다.

• 한국약용작물학회지
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• 제3권3호
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• pp.165-172
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• 1995

남부지방(南部地方)에서 황금재배시(黃琴栽培時) 적정(適正) 파종기(播種期)와 재식밀도(栽植密度)를 구명(究明)하여 재배기술(栽培技術)을 개선(改善), 보완(補完)하고 수양(收量)을 증대(增大)시켜 안정생산(安定生産)에 기여(寄與)하고자 여천종(麗川種)을 공시(供試)하여 책시(責施)한 시험결과(試驗結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 출아률(出芽率)은 비닐피복(被覆) 재배(栽培)가 무피복재배(無被覆栽培)에 비하여 48% 높았고 비닐피폭(覆栽) 재배시(栽培時) 파종기(播種期) 및 피복(被覆) 재료(材料) 간(間)에는 5월(月) 10일(日일) 파종(播種)이 93%, 투명(透明)P.E피복재배(被覆栽培)가 90%로서 가장 높았으며 무피복(無被覆) 재배(栽培)에서는 4월(月) 1일(日) 조기파종(早期播種)에서 양호(良好)하였다. 2. 개화기(開花期)는 4(월)月 1일(日) 조기파종(早期播種)과 투명(透明)P.E피복재배(被覆栽培)가 빠른 경향(傾向)이었고 개화(開花) 소요(所要) 일수(日數)는 5월(月) 10 일(日) 파종(播種)에서 $74{\sim}80$일(日) 로 가장 짧았다. 3. 동엽중(童葉重)등 지상부(地上部) 생육양(生育量)과 주근장(主根長), 근경(根徑), 상근수(上根數)등 지하부(地下部) 생육양(生育量)은 파종기(播種期) 간(間)에는 4월(月) 20일(日,) 피복(被覆)비닐 종류간(種類間)에는 흑색(黑色)P. E 피복재배(被覆栽培)가 증가(增加)되었다. 4, 건근수양(乾根收量)은 파종기(播種期) 간(間)에는 4월(月)20일(日) 파종(播種)이 4월(月) 1일(日) 파종(播種)(109.Sfg/10a)에 비해 5% 증수(增收) 가져 왔으며 피복재료(被覆材料) 간(間)에는 흑색(黑色)P.E피복재배(被覆栽培)가 투명(透明)P.E 피복재배(被覆栽培) (99.4kg/10a) 대비(對比) 13% 증수(增收)를 보였고 무피복(無被覆) 재배(栽培)에서는 4월(月) 1일(日) 조기파종(早期播種)에서 가장 증수(增收)를 나타냈다.

• 한국토양비료학회지
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• 제25권2호
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• pp.127-132
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• 1992

간척지(干拓地)에서 밭작물재배에 필요한 자료를 얻고져 포승(浦升) 미사질식양토(微砂質埴壤土)에서 표면배수(表面排水), 암거배수(暗渠排水), 40cm 깊이 프라스틱막설치등(膜設置等)의 상이한 배수조건(排水條件)에서 토양개량제(土壤改良劑)인 객토, 석고, 제오라이트를 처리하여 면화(棉花)와 목초(牧草) 재배하면서 토양특성(土壤特性)과 작물(作物) 수량(收量)을 조사 분석하였다. 토양(土壤)의 경도(硬度)와 가비중(假比重)은 암거(暗渠) 및 프라스틱막설치(膜設置)로 낮아졌으며, 개량제별로는 객토처리구(客土處理區)가 효과적이었고, 석고와 제오라이트 처리는 10cm 이하(以下) 깊이의 가비중(假比重)을 높게 하였다. 토양수분함량(土壤水分含量)은 건조시에 암거배수(暗渠排水) 및 프리스틱막설치구(膜設置區)보다 표면배수구(表面排水區)에서 높았으며 강우시에는 프라스틱막설치구(膜設置區)에서 가장 높았다. 토양용액(土壤溶液)의 전기전도도(電氣傳導度)(EC)는 암거배수구(暗渠排水區)에서 강우시에는 $0.4SM^{-1}$이하(以下)로 떨어지고 전기간을 통하여 표면배수(表面排水)에 비(比)하여 1/2-1/4의 낮은 수준을 유지하였다. 면화수량(棉花收量)은 암거구(暗渠區), 프라스틱막설치구(膜設置區), 표면배수(表面排水)의 순이었으며, 암거구(暗渠區)의 제오라이트 및 석고(石膏) 처리(處理)는 생육이 가장 양호하였으며, Tall fescue수량(收量)은 암거구(暗渠區)의 객토처리(客土處理)에서 높았고 염농도(鹽濃度)와 목초(牧草) 및 면화수량(棉花收量)은 고도의 유의성 있는 상관이 있었다.

• 한국재료학회지
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• 제9권5호
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• pp.446-451
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• 1999

고분자 Polyrnethylrnethacryla te (PMMA) 의 표연에 친수성올 가지게 하기 위하여 600 eV에서 1000 e V의 이온범 과 반웅성 분위기 기체플 이용하는 이용 보조 반웅 (ion assisted reaction) 법으로 개질 하였다. 아르곤 이옴범만율 조사한 시료의 접촉각은 $68^{\circ} to $35^{\circ}$ 까지 접촉각이 낮아졌으며, 산소기체 분위기로 풀어 넣어주며 아르곤 이온빔으로 처리된 시료는 19。까지 정 촉각이 강소하였다. 산소 아온만으로 처리한 경우는 산소 분위기에서 아르곤 이온으로 조사한 경우와 비슷한 접촉각 변화를 냐타내며, 산소 분위기에서 산소이옹올 이용하여 시료를 처리한 경우 $68^{\circ}$이던 표면 접촉각이 $1\times10^{17} ions/cm^2$의 이온 에너지 조사 후에 $14^{\circ}$까지 강소하였다. 표면에너지는 아르곤 이온만으로 조사된 경우에 비하여 산소 분위기에서 조사한 경우와 산소 이온올 이용하여 조사한 경우에서 증가하였으며 산소 분위기에서 산소 이온으로 조사된 경우가 초기 46 dyne/cm 에서 72 dyne/cm로 증가하였으며 표면에너지의 증가는 dispersion force의 증가보다는 polar force의 증가에 의한 것으로 보인다. 이온빔으로 처리된 시료의 정 촉각 강소와 표변에너지의 증가는 x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 의 spectra 결과로부터 PMMA의 표면에 C-O 결합의 증가로 인한 친수성 작용기가 표면에 형성되었기 때문이라고 생각된다. 이온법 조사 후 대기 중에 보관된 시료의 접촉각은 시간이 경과함에 따라 증가하지만, 물 속에 보관된 시료의 경우는 이온빔 처리된 후의 접촉각올 그대로 유지하였다. 또한 표면에너지의 경우도 대기 중에 보관된 시료의 경우는 시간의 경과함에 따라 polar force의 강소에 의해 표면에너지는 감소하였으나, 물 속에 보관된 경우는 표면에너지에 큰 변화가 없었다. 이로부터 접촉각과 표면에너지의 시간에 따른 변화도 이온빔 조사에 의해 형성된 친 수성기에 크게 의존함을 알 수 있다.

• 한국식품저장유통학회지
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• 제16권5호
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• pp.699-704
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• 2009

어린잎 채소는 조직이 연하고 부드러워 가공, 포장, 유통시에 물리적인 상해를 받기 쉬우며 수확 후 수분증발 및 성분 변화 등으로 품질이 급격히 저하된다. 본 연구는 어린잎 채소 중에서 다채의 수확 후 생리특성을 구명하고 적정 포장방법을 개발하고자 수행하였다. 공시재료는 연구소 온실에서 2007년 1월 29일에 다채 종자를 플러그 트레이에 파종하여 30일 정도 키운 다채를 사용하였으며, 수확 후 $2^{\circ}C$에서 12시간 예냉 처리한 후 P-plus 필름, $50\;{\mu}m$ PP필름, PET용기에 각각 30 g씩 소포장하여 유통온도를 $8^{\circ}C$로 저장하면서 품질특성 변화를 주기적으로 조사하였다. 수확당시 어린잎 채소 다채의 생육은 무처리구에 비해 물리적 스트레스 처리구에서 초장과 초폭 모두 낮은 값을 나타내었다. 중량감소의 경우 물리적 스트레스 처리한 시료를 P-plus 필름으로 포장한 경우가 가장 적은 생체중 감소를 보였고 그 다음으로는 $50\;{\mu}m$ PP필름, PET용기 순이었다. 어린잎 채소 다채의 색도변화는 P-plus 필름과 $50\;{\mu}m$ PP필름에서 다소 완만하게 변화량을 나타내었으며 처리간 큰 유의차를 보이지 않았고 PET용기에서 가장 급격한 변화가 나타나서 황화 현상이 관찰되었다. 결론적으로 어린잎 채소 다채는 물리적 스트레스를 처리한 경우가 무처리구에 비해 생육은 적었지만 중량감소나 색도변화에서 비교적 원만한 값을 나타내었고 세포조직학적으로 관찰해보면 세포의 치밀도가 증대되어 수확후 가공적성에 영향을 미치리라 기대하며, 다채에서는 P-plus 필름과 $50\;{\mu}m$ PP필름 포장이 선도유지에 적합하였음을 알 수 있었다.

• 공업화학
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• 제34권1호
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• pp.30-35
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• 2023

TiO₂ 졸을 사용하여 유리알 표면에 TiO₂ 코팅한 후 건조 처리한 시료(TB)와 소성한 시료(TBc)를 제조하였다. 이들 시료에 대한 TiO₂ 박막의 특성분석과 메틸렌블루 및 톨루엔의 광분해 실험을 수행하였다. FE-SEM, XPS 및 FTIR 분석 결과, TB 시료의 TiO₂ 박막은 스펀지 폼과 같은 형태이며 무정형 TiO₂와 일부 결정형 TiO₂가 존재하였다. TBc 시료의 TiO₂ 박막에는 결정형 TiO₂가 주로 존재하며 침상형 입자와 미세 입자들이 혼재하였다. TBc 시료(46 mg/g)의 톨루엔 흡착량은 같은 코팅량의 TB 시료 대비 적었으나 톨루엔 분해율은 비슷했다. TB 시료의 경우, TiO₂ 코팅량이 증가함에 따라 톨루엔 분해능이 흡착능에 비해 적게 감소하였다. 이러한 결과는 소성하지 않은 TB 시료는 TiO₂ 코팅량이 증가하면 무정형 텍스처의 비표면적은 감소하는 반면 결정성 입자들의 활성점 감소는 적게 일어나기 때문으로 판단된다.

• 한국초지조사료학회지
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• 제6권1호
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• pp.6-13
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• 1986

본시험(本試驗)은 호밀 사일리지 제조시(製造時)의 재료(材料)의 건물함량(乾物含量)(19.2, 28.6, 32.2%)별(別) 개미산의 첨가수준(添加水準)을 달리 했을 때 사일리지 품질(品質)에 미치는 영향(影響)을 알고자 실시(實施)하였다. 호밀은 초장(草長)이 약(約) 40cm의 영양생장기인 11월(月) 29일(日) 예취(刈取)하여 즉시 또는 예건후(豫乾後) 포리에틸렌필림 봉지에 1,000g씩 채우고 실온에 보관하였다. 분석(分析)의 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 달관평가(達觀評價)에서 재료(材料)의 건물함량(乾物含量)이 낮은 사일리지(예취직후(刈取直後))에서는 개미산을 첨가(添加)하므로 무첨가(無添加)에 비하여 사일리지 색깔이 선명한 황록색을 띠고 냄새가 더 향긋하고 산유(酸臾)는 약(弱)하였으나 예건(豫乾)사일리지에서는 뚜렷한 차이(差異)가 없었다. 2. 사일리지의 pH는 재료(材料)의 건물함량(乾物含量)이 증가(增加)됨에 따라 상승하였으며, 건물함량(乾物含量)이 19.2%와 28.6%인 구(區)에서는 개미산의 첨가수준(添加水準)이 증가(增加)할수록 유의(有意)하게(P<0.01)감소(減少)하였으나 재료(材料)의 건물함량(乾物含量)이 32.2%인 구(區)에서는 첨가수준(添加水準)에 따른 차이(差異)는 없었다. 3. 사일리지중의 총산(總酸)의 생성(生成)은 재료(材料)의 건물함량(乾物含量) 증가(增加)로 감소(減少)하였으며 개미산 첨가수준(添加水準) 증가(增加)로도 현저히 감소(減少)하였다(P<0.01). 4. 사일리지의 수용성탄수화물함량(水溶性炭水化物含量)은 건물함량(乾物含量)이 증가(增加)됨에 따라 증가(增加)되었으며 개미산의 첨가수준(添加水準)이 높아짐에 따라 역시 뚜렷한 증가(增加)(P<0.01)를 보였다. 5. 사일리지중의 암모니아태질소의 비율은 건물함량의 증가로 감소(減少)되었고 개미산의 첨가수준(添加水準)이 증가(增加)됨에 따라 역시 감소(減少)되었다(P<0.01). 6. 사일리지의 in vitro 건물소화율(乾物消化率)은 재료(材料)으의 건물함량(乾物含量)에 다른 차이(差異)는 없었으나 예취직후(刈取直後) 개미산을 0.71% 첨가(添加)한 사일리지가 첨가수준(添加水準)(0.00%와 0.24%)이 낮은 것에 비하여 유의(有意)하게(P<0.05)높았다.

• The Plant Pathology Journal
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• 제22권3호
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• pp.283-288
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• 2006

Trichoderma harzianum YC459 (Th 459), isolated from sawdust compost, was effective in controlling cucumber and tomato gray mold caused by Botrytis cinerea under controlled and plastic film tunnel conditions. A water suspension of the wettable powder formulation of Th 459 significantly $(P\leq0.05)$ reduced the severity of cucumber gray mold by foliar spraying at all tested concentrations from $10^5\;to\;10^8$ colony forming unit (cfu)/ml in repeated experiments. The control efficacy was maintained at least seven days with the average control value of 70% in cucumber pot tests. Mixing one to eight grams of the granular formulation ($10^8cfu/g$ dry weight) of Th 459 into one liter nursery potting mix at seeding also significantly $(P\leq0.05)$ reduced the severity of cucumber gray mold by suppression of lesion formation three weeks after treatment. Application of mixing granular formulation at seeding in combination with foliar spraying during cultivation provided a more significant reduction $(P\leq0.05)$ of cucumber gray mold than granule mixing or leaf spray alone. The foliar spraying of the formulated wettable powder of Th 459 significantly $(P\leq0.05)$ reduced the infection of tomato fruits by B. cinerea as effective as the chemical fungicide, dichlofluanid, in three plastic film tunnel experiment trials. It is suggested that effective control of gray mold of cucumber and tomato can be provided by both treatment of Th 459 into potting mix and foliar spray through induction of systemic resistance and direct inhibition of the pathogen.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.407.1-407.1
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• 2016

Electrochromism is defined as a phenomenon which involves persistently repeated change of optical properties between bleached state and colored state by simultaneous injection of electrons and ions, sufficient to induce an electrochemical redox process. Due to this feature, considerable progress has been made in the synthesis of electrochromic (EC) materials, improvements of EC properties in EC devices such as light shutter, smart window and variable reflectance mirrors etc. Among the variable EC materials, solid-state inorganics in particular, metal oxide semiconducting materials such as nickel oxide (NiO) have been investigated extensively. The NiO that is an anodic EC material is of special interest because of high color contrast ratio, large dynamic range and low material cost. The high performance EC devices should present the use of standard industrial production techniques to produce films with high coloration efficiency, rapid switching speed and robust reversibility. Generally, the color contrast and the optical switching speed increase drastically if high surface area is used. The structure of porous thin film provides a specific surface area and can facilitate a very short response time of the reaction between the surface and ions. The large variety of methods has been used to prepare the porous NiO thin films such as sol-gel process, chemical bath deposition and sputtering. Few studies have been reported on NiO thin films made by using sol-gel method. However, compared with dry process, wet processes that have the questions of the durability and the vestige of bleached state color limit the thin films practical use, especially when prepared by sol-gel method. In this study, we synthesis the porous NiO thin films on the fluorine doped tin oxide (FTO) glass by using sputtering and anodizing method. Also we compared electrical and optical properties of NiO thin films prepared by sol gel. The porous structure is promised to be helpful to the properties enhancement of the EC devices.

• 열처리공학회지
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• 제12권1호
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• pp.31-39
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• 1999

In the present study, oxidation behavior of 304 and 316 stainless steels was investigated. After solution treatment, specimens were polished up to $1{\mu}m$ $Al_2O_3$ grade and then subjected to oxidation treatment in dry air. The range of temperature was used for oxidation treatment at $300^{\circ}C{\sim}500^{\circ}C$ and TEM was used for analyzing the components and structure of oxide film. Also, these results were compared with the results of ESCA and TG. According to the results of TEM analysis, it was found that Cr oxide film was formed on top of the surface after room temperature oxidation but amorphous Fe oxide was formed on top of the surface and polycrystalline $(Cr,Fe)_2O_3$ was formed below the amorphous Fe oxide layer after $500^{\circ}C$ oxidation treatment. The oxidized specimens at $500^{\circ}C$ showed that 316 stainless steel resists more strongly to grain and grain boundary oxidation than 304 stainless steel. These results suggested that Mo component resolved in 316 stainless steel matrix suppressed the formation of Cr carbide which may results in local Cr deplete area.