Spin coating 공정을 이용한 Polymethyl methacrylate (PMMA) 박막의 polymer gate dielectric layer로써의 특성평가 (Properties of Polymethyl methacrylate (PMMA) for Polymer Gate Dielectric Thin Films Prepared by Spin Coating)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.29-32
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- 2005