Burke-Schumann analysis of silica formation by hydrolysis in an external chemical vapor deposition process (외부 화학증착 공정에서의 가수분해반응으로 인한 실리카 생성에 대한 버크-슈만 해석)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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- 제20권5호
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- pp.1671-1678
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- 1996