Molecular dynamics simulation of ultra-low energy ion implantation for GSI device technology development (GSI소자 개발을 위한 극 저 에너지 이온 주입에 대한 분자 역학 시뮬레이션)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- v.35D no.3
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- pp.18-27
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- 1998