In this paper, we propose the defect emphasis in TFT-LCD panel image. The defect emphasis image consist of S(Shape) map and B(Brightness) map. S map based on DoG(difference of gaussian) is made with the mura defect shape characteristic. And B map use defect intensity property that defect intensity is higher than background. The experiments were conducted to evaluate the performance of the proposed defect emphasis method. The results of experiments show the validity of the defect emphasis using the proposed method.
To make semiconductor chips, a number of complex semiconductor manufacturing processes are required. Semiconductor chips that have undergone complex processes are subjected to EDS(Electrical Die Sorting) tests to check product quality, and a wafer bin map reflecting the information about the normal and defective chips is created. Defective chips found in the wafer bin map form various patterns, which are called defective patterns, and the defective patterns are a very important clue in determining the cause of defects in the process and design of semiconductors. Therefore, it is desired to automatically and quickly detect defective patterns in the field, and various methods have been proposed to detect defective patterns. Existing methods have considered simple, complex, and new defect patterns, but they had the disadvantage of being unable to provide field engineers the evidence of classification results through deep learning. It is necessary to supplement this and provide detailed information on the size, location, and patterns of the defects. In this paper, we propose an anomaly detection framework that can be explained through FCDD(Fully Convolutional Data Description) trained only with normal data to provide field engineers with details such as detection results of abnormal defect patterns, defect size, and location of defect patterns on wafer bin map. The results are analyzed using open dataset, providing prominent results of the proposed anomaly detection framework.
DaBin Na;JiMin Gu;JiMin Park;YunSeok Song;JiHun Moon;Sangyul Ha;SangJeen Hong
반도체디스플레이기술학회지
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제23권2호
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pp.135-142
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2024
Cu-Cu bonding, one of the key technologies in advanced packaging, enhances semiconductor chip performance, miniaturization, and energy efficiency by facilitating rapid data transfer and low power consumption. However, the quality of the interface bonding can significantly impact overall bond quality, necessitating strategies to quickly detect and classify in-process defects. This study presents a methodology for detecting defects in wafer junction areas from Scanning Acoustic Microscopy images using a ResNet-50 based deep learning model. Additionally, the use of the defect map is proposed to rapidly inspect and categorize defects occurring during the Cu-Cu bonding process, thereby improving yield and productivity in semiconductor manufacturing.
목적 : 가토 모델을 이용한 급성 허혈성 뇌경색에서 확산강조 자기공명영상과 관류자기공명영상의 유용성에 대해 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 여섯 마리의 순계 가토의 경동맥에 히스토아크릴글루와 리피오돌 및 텅스텐 파우더를 동맥내 주입하여 뇌경색을 유발한 후 1시간 내에 고식적인 T1 및 T2 강조영상, 그리고 확산강조 자기공명영상과 관류자기공명영상을 획득하였다. 관류자기공명영상은 측내실 수준과 대뇌기저핵의 1cm 상방에서 각각 얻었고, 이 영상을 특수 영상 소프트웨어로 후처리하여 뇌혈류 용적 , 뇌혈류양 및 평균 조영제 통과시간을 포함한 관류 영상을 획득하였다. 뇌경색 부위는 각각의 관류 지도와 확산강조 자기공명영상으로 평가하였다. 뇌경색 부위와 반대편 정상 부위에서 조영제 평균 통과시간 차이를 측정하였다. 결과 : 모든 가토에서 T2 강조영상상 비정상 신호강도는 없었으나 확산강조 자기공명영상에서 고신호강도의 뇌경색 병변을 확인할 수 있었다. 상대적 뇌혈류용적, 뇌혈류양 및 평균 조영제 통과시간을 포함한 관류자기공명영상에서 모두 관류 결손을 인지할 수 있었다. 뇌혈류양과 평균 조영제 통과시간 지도에서 관류결손지역으로 나타난 면적의 비교는 6예 중 4예에서 평균 조영제 통과시간 지도가 뇌혈류양 지도보다 면적이 크게 나왔으며, 2예는 같았다. 평균 조영제 통과시간 지도의 관류결손 면적이 뇌혈류양 지도보다 작게 나온 경우는 없었다. 또한 뇌혈류양 지도에서 병변의 면적은 확산강조 자기공명영상에서의 병변의 면적보다 3예에서 넓게 나타났고, 3예에서 같게 나타났다. 평균 조영제 통과시간 지도에서 병변의 면적은 확산강조 자기공명영상에서의 병변의 면적보다 모두 크게 나타났다. 평균 조영제 통과시간 지도에서 병변의 면적이 뇌혈류양 지도에서 병변의 면적보다 크면서 확산강조 자기공명영상에서와 같은 경우가 3예, 뇌혈류양 지도에서 병변의 면적이 확산강조 자기공명영상에서와 같으며 평균 조영제 통과시간 지도에서 병변의 면적보다 작은 경우가 3예, 그리고 평균 조영제 통과시간 지도에서 병변의 면적이 뇌혈류양 지도의 병변의 면적보다 크면서 확산강조 자기공명영상에서의 면적이 가장 적은 경우가 1예 있었다. 결론 : 확산강조 자기공명영상과 관류자기공명영상은 가토에서 초급성 뇌경색을 진단하고 뇌혈류 역학상태를 평가하는데 유용한 기법이라고 생각된다.
산업 제조 분야에서 품질 관리는 불량률을 최소화하는 핵심 요소로, 미흡한 관리는 추가적인 비용 발생과 생산 지연을 야기할 수 있다. 본 연구는 제조품의 텍스쳐 결함 감지의 중요성을 중심으로, 보다 정밀한 결함 감지 방법을 제시한다. DFR(Deep Feature Reconstruction) 모델은 특징맵의 조합 및 재구성을 통한 접근법을 채택하였지만, 그 방식에는 한계가 있었다. 이에 따라, 우리는 제한점을 극복하기 위해 통계적 방법론을 활용한 새로운 손실 함수와 스킵 연결구조를 통합하고 파라미터 튜닝을 진행하였다. 이 개선된 모델을 MVTec-AD 데이터세트의 텍스쳐 카테고리에 적용한 결과, 기존 방식보다 2.3% 높은 결함 분할 AUC를 기록하였고, 전체적인 결함 감지 성능도 향상되었다. 이 결과는 제안하는 방법이 특징맵 조합의 재건축을 통한 결함 탐지에 있어서 중요한 기여함을 입증한다.
급성 허혈성 뇌경색 환자에서 Deconvolution 관류 전산화 단층촬영(computed tomography, CT)의 뇌혈류용적(cerebral blood volume, CBV), 뇌혈류(cerebral blood flow, CBF) 그리고 평균 조영제 통과 시간(mean transit time, MTT) 지도를 확산 강조(Diffusion weighted) MRI과 비교하여 그 유용성을 알아보고자 하였다. 뇌관류 CT와 확산강조 자기공명영상(diffusion weighted MR imaging, DWMRI)을 시행한 급성뇌경색 환자를 대상으로 Deconvolution 기법으로 획득한 CBV, CBF, MTT 지도에서 병변의 면적과 DWMRI의 병변의 면적을 비교 측정하여 일치도를 알아보았다. 또한, 병변 부위와 정상측 대칭부위의 MTT시간을 측정하여 차이를 알아보았다. 본 연구의 모든 예에서 CBV, CBF, 그리고 MTT 세 지도 모두 관류 결손을 인지할 수 있었고, 관류 결손이 인지되는 부위에서 MTT 시간의 현저한 지연이 있었다. 뿐만 아니라, MTT 지도의 결손부위 면적은 DWMRI 보다 크게 나타나 허혈성 패넘브라를 추측할 수 있었다. 결론적으로 Deconvolution 관류 CT의 지도를 이용하면 뇌경색의 조기진단뿐만 아니라 허혈 중심부, 그리고 허혈성 페넘브라를 예측할 수 있어 DWMRI에 비해 관류결손 부위의 혈류 역학적 상태의 평가나 효과적인 치료계획을 세우는데 보다 유용할 것으로 생각된다.
MAP 알고리즘은 터보코드의 최적 복호알고리즘으로 알려져 있지만, 연산의 복잡도가 매우 크다. 이러한 MAP 방식의 단점을 개선하기 위하여 일반적으로 log-MAP 알고리즘을 이용하게 된다. 본 논문에서는 log-MAP 복호기에서 비교적 연산량이 크고 동작속도에 큰 영향을 미치는 상태 메트릭 계산 블록의 연산 속도를 향상시킨 개선된 구조를 제안하고, LUT(Lookup Table)을 이용하지 않고 간단한 연산에 의해 보상하는 linear 보상기를 제안하여 동작속도를 개선하였다.
급성 뇌졸중의 경우 빠른 시간 내의 진단과 치료가 예후에 큰 영향을 미친다. 본 연구에서는 초급성기 뇌경색 환자에서 관류CT와 확산강조MRI의 영상을 비교하여 허혈 부위와 경색부위에 나타나는 차이점을 알아보고자 하였다. 뇌관류 CT와 확산강조 자기공명영상(diffusion weighted MR imaging, DW-MRI)을 시행한 12명의 급성뇌경색 환자를 대상으로 병변부위와 정상부위에서 각각의 CBF, CBV, MTT, TTP지도와 DW-MRI의 신호강도 값을 비교하고, 관류CT와 DW-MRI에서 병변의 크기 비교를 해보았다. CBF, CBV, MTT, TTP는 모두 관류결손을 보였고, 관류 결손이 인지되는 부위에서 MTT와 TTP시간의 현저한 지연이 있었다. 뿐만 아니라, MTT와 TTP 지도의 결손부위 면적은 DW-MRI 보다 크게 나타나 허혈성 반음영을 추측할 수 있었고, 일부 DW-MRI에서 경색부위를 나타내지 못하는 경우도 있었다. 결론적으로 관류 CT의 지도를 이용하면 뇌경색의 조기 진단뿐만 아니라 허혈 중심부, 그리고 허혈성 반음영을 예측하여 관류결손 부위의 혈류 역학적 상태를 평가 할 수 있어 보다 효과적인 치료계획을 세울 수 있다.
We have anlayzed the polar maps of dipyridamole stress/rest $^{99m}Tc$-MIBI SPECT and compared the quantitated perfusion defects of dipyridamole stress polar map and the findings of coronary angiography in 56 pateints with coronary artery diseases. We performed the same day dipyridamole stress-rest myocardial SPECT, reconstructed the polar maps according to Cedars-Sinai method and quantitated perfusion detects of total myocardium and the territory of each artery, comparing the polar maps of patients with normal files. Stenosis more than 50 percent was considered significant and myocardial ischemic score was calculated as summed score of percents of main coronary arteries. Positive concordance of myocardial SPECT with coronary angiography were 82.6% with left anterior descending artery (LAD), 85.7% with left circumflex artery (LCx) and 78.6% with right coronary artery (RCA). Perfusion defect of SPECT polar map and the stenosis of coronary artery showed the contingency phi of 0.55 (p<0.0001) with total atreries, 0.38 (p = 0.016) with LAD, 0.50 (p<0.0001) with LCx and 0.40 (p = 0.007) with RCA. Dipyridamole stress percent defect of polar map was correlated with myocardial ischemic score with Spearman's rho of 0.47 (p = 0.001) in total arteries, 0.48 (p=0.001) in LAD, 0.56 (p < 0.001) in LCx and 0.38 (p=0.002) in RCA. These findings revealed that defect of the dipyridamole stress myocardial $^{99m}Tc$-MIBI SPECT and the percent extent of this defect were related with significant artery stenosis of individual arteries and the degree of stenosis. We thought that we could use the defects in the polar map of dipyridamole stress $^{99m}Tc$-MIBI SPECT for the quantification of myocardiasl perfusion decrease.
Vibration transient generated by developing localized fault in gear can be used as indicators in gear fault detection. In this paper, we propose the zoomed phase map for a fault signal using continuous wavelet transfers to detect this vibration transient. Local fault induces the abrupt fluctuation of load exciting tooth and phase lag in the vibration signal measured on the gearbox. The relatively large fault like "tip breakage" easily can be detected by the clear fluctuation of exciting load. However, minor fault like "initial pitting"cannot be detected using the load fluctuation. To defect this kind of minor fault, the phase map for a fault signal is taken into account. The phase lag by minor fault is observed well in the zoomed phase map.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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