가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성 (Characteristics of Diamond Like Carbon Thin Film Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method with Gas Flow Rate and Radio Frequency Power)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.88-88
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- 2018