Czochralski 방법을 사용하여 격자결함이 적은 CsI 단결정 섬광체를 육성하기 위한 최적육성조건을 구하기 위하여 광투과율의 변화와 열형광특성을 이용하였다. 결정화과정을 반복할수록 불필요한 불순물 분포와 열형광강도 및 glow 피이크의 수가 감소하였다. 결정성장방향은 (110)이었고, 육성한 CsI의 결정구조는 체심입방체이었다. 그리고 격자상수는 $4.568{\AA}$ 임을 확인할 수 있었다. CsI:3rd의 활성화 에너지(trap깊이)는 약 0.45 eV 이었고, 주파수인자는 $5.18{\times}10^5\;sec^{-1}$이었다.
A three-dimensional(3D) Monte Carlo simulator for boron ion implantation into <100>single-crystal silicon considering the mask structure has been developed to predict the mask-dependent impurity doping profiles of the implanted boron at low energies into the reduced area according to the trend of a reduction in the size of semiconductor devices. All relevant important parameters during ion implantation have been taken into account in this simulator. These are incident energy, tilt and rotation of wafer, orientation of silicon wafer, presence of native silicon dioxide layer, dose, wafer temperature, ion beam divergence, masking thickness, and size and structure of open window in the mask. The one-dimensional(1D) results obtained by using the 3D simulator have been compared with the SIMS experiments to demonstrate its capabilities and confirem its reliability, and we obtained relatively accurate 1D doping profiles. Through these 3D simulations considering the hole structure and its size, we found the mask effects during boron ion implantation process.
YAG:Ce yellow phosphor particles were synthesized by spray pyrolysis with changing the solution properties and their luminous properties, crystal structure, and morphological changes were studied by using PL measurement, XRD, and SEM analysis. It was clear that the solution properties significantly affected the crystal phase, crystallite size, the PL intensity, and the morphology of YAG:Ce particles. At low calcination temperature, the addition of urea only to the spray solution was helpful to form a pure YAG phase without any impurity phases, as the result, the highest luminescence intensity was achieved at the calcination temperature of $900^{\circ}C$. When the calcination temperatures were larger than $1300^{\circ}C$, however, the YAG particles prepared without any additive showed the highest luminescent intensity. Regardless of the solution conditions, the emission intensity of YAG:Ce particles prepared by spray pyrolysis showed a linear relation with the crystallite size. In terms of the morphology of YAG:Ce particles, the addition of both DCCA and $NH_4OH$ to the spray solution was effective to prepare a spherical and dense structured YAG particles.
대부분의 단결정 실리콘 잉곳은 초크랄스키(Czochralski(Cz)) 공정으로 제조된다. 그러나 단결정 실리콘 잉곳을 제품화 및 태양 전지 기판으로 가공하였을 때 산소 불순물이 있는 경우 낮은 효율성을 나타내는 경향이 있다. 단결정 Si-잉곳의 생산을 위해서는 용융 Si를 녹인 다음 단결정 Si의 시드(Seed)로 결정화하는 초크랄스키(Cz) 공정을 도입한다. 용융된 다결정 Si-덩어리를 단결정 Si-잉곳으로 결정성장 될 때, 열 전달은 Cz-공정의 구조에서 중요한 역할을 한다. 본 연구에서 고품질 단결정 실리콘 잉곳을 얻기 위해 Cz-공정의 최적화된 설계를 구성하였다. 결정 성장 시뮬레이션로부터 결정성장을 위한 Pulling rate 및 Rotation speed에 최적의 변수값을 형성하기 위해 사용되었으며, 변형된 Cz-공정에 대한 연구 및 해당 결과가 논의되며 결정 성장 시뮬레이션을 사용하여 Cz-공정의 Pulling rate, Rotation speed 및 Melt charge level의 최적화된 설계로 인한 결정성장시 단결정 실리콘으로 유입되는 산소 농도 최소화를 설계하였다.
Hologen lamp를 열원으로 한 적외선 집중가열 방식의 Floating zone법을 이용하여 조화융해조성(48.6 mol% $Li_2O : 51.4 mol% LiNbO_3$)의 $LiNbO_3$ 단결정과 여기에 5 mol%의 MgO를 첨가한 $LiNbO_3$:5mod%MgO 단결정을 c-축으로 성장시켰다. 고품질의 광학용 $LiNbO_3$ 결정을 성장시키기 위해 원료봉의 최적 소결조건 및 성장 분위이게 따른 원료봉/융액 계면에 대한 고찰을 하였고, 이를 바탕으로 하여 ga s flow rate, pulling rate, 원료봉과 종자정의 회전속도 등에 대한 최적의 결정성장 조건을 확립하였다. 성장된 결정에 대해서 chemical etching을 통한 etch pattern과 ICP(Inductively Coupled Plasma) 분석을 통한 조성 변동 및 불순물 Fe 함량을 조사하였고, 5 mol% MgO의 첨가에 따른 투과율과 굴절율의 변화를 관찰하였다. 또한 $LiNbO_3$의 비선형 광학특성에 대해서는 측정한 굴절율 값을 data로 하여 비선형 광학 굴절율 $n_2$를 계산하여 다른 광학물질과 비교하였고, 이와 관련하여 비선형 광학특성에 대한 전반적인 고찰을 하였다.
The stoichiometric mixture of evaporating materials for the $CuInSe_2$ single crystal thin film was prepared from horizontal furnace. Using extrapolation method of X-ray diffraction patterns for the polycrystal $CuInSe_2$, it was found tetragonal structure whose lattice constant $a_0$ and $c_0$ were $5.783\;{\AA}$ and $11.621\;{\AA}$, respectively. To obtain the $CuInSe_2$ single crystal thin film, $CuInSe_2$ mixed crystal was deposited on throughly etched GaAs(100) by the HWE(Hot Wall Epitaxy) system. The source and substrate temperature were $620^{\circ}C$ and $410^{\circ}C$ respectively. The crystalline structure of $CuInSe_2$ single crystal thin film was investigated by the double crystal X-ray diffraction(DCXD). Hall effect on this sample was measured by the method of Van der Pauw and studied on carrier density and mobility depending on temperature. From Hall data, the mobility was likely to be decreased by impurity scattering in the temperature range 30 K to 100 K and by lattice scattering in the temperature range 100 K to 293 K. The temperature dependence of the energy band gap of the $CuInSe_2$ obtained from the absorption spectra was well described by the Varshni's relation, $E_g(T)=1.1851\;eV-(8.99{\times}10^{-4}\;eV/K)T^2/(T+153\;K)$. The open-circuit voltage, short current density, fill factor, and conversion efficiency of $n-CdS/p-CuGaSe_2$ heterojunction solar cells under $80\;mW/cm^2$ illumination were found to be 0.51V, $29.3\;mA/cm^2$, 0.76 and 14.3 %, respectively.
The stoichiometric mixture of evaporating materials for the $CaAl_2Se_4$: Co single crystal thin film was prepared from horizontal furnace. Using extrapolation method of X-ray diffraction patterns for the polycrystal $CaAl_2Se_4$, it was found orthorhomic structure whose lattice constant $a_0$, $b_0$ and $c_0$ were 6.4818, $11.1310{\AA}$ and $11.2443{\AA}$, respectively. To obtain the $CaAl_2Se_4$: Co single crystal thin film, $CaAl_2Se_4$: Co mixed crystal was deposited on throughly etched Si (100) by the HWE (Hot Wall Epitaxy) system. The source and substrate temperature were $600^{\circ}C$ and $440^{\circ}C$ respectively. The crystalline structure of $CaAl_2Se_4$: Co single crystal thin film was investigated by the double crystal X-ray diffraction (DCXD). Hall effect on this sample was measured by the method of Van der Pauw and studied on carrier density and mobility depending on temperature. From Hall data, the mobility was likely to be decreased by impurity scattering in the temperature range 30 K to 100 K and by lattice scattering in the temperature range 100 K to 293 K. The temperature dependence of the energy band gap of the $CaAl_2Se_4$: Co obtained from the absorption spectra was well described by the Varshni's relation, $E_g(T)=3.8239eV-(4.9823{\times}10^{-3}eV/K)T_2/(T+559K)$. The open-circuit voltage, short current density, fill factor, and conversion efficiency of $p-Si/p-CaAl_2Se_4$: Co heterojunction solar cells under $80mW/cm^2$ illumination were found to be 0.42 V, $25.3mA/cm^2$, 0.75 and 9.96%, respectively.
Cds is possible to add excess donors and to compensate partially using other group metals as acceptors. The impurities can ble incorporated either during crysta growth or by diffusion into a bulkcrystal. The addition of rimpurities leads also to the production of vacancies in a manner depending on the atmosphere surrounding the crystal during growth, during the diffusion process or using bulk. Cds of the mentioned above affects spectral sensitivity, speed of response, the variation on photocurrent, electron life time, and decay of photoconductivity with temperature and with intensity of illumination. In the work to be deseribed, these properties have been studied between liquid nitrogen and room temperature. In addition, the electron trap distribution has been correlated with speed of response, variation of photocurrent with temperature in various atmosphere. Four major trapping levels have been observed, and their identification with impurity and vacancy levels is discussed. And also the effects of lattice imperfections on the photoconductive properties CdS were investigated in detail.
The effects of salts such as aluminum sulfate as inorganic salt(2-4%), and sodium salts of citrate, tartrate, succinate, potassium tartrate and gelatin as organic salts(0.1%) on the formation of ${\alpha}$-calcium sulfate hemihydrate from by-product gypsum of phosphoric acid process under hydrothermal condition at 123$^{\circ}C$ and 133$^{\circ}C$ were investigated. Aluminum sulfate solution exhibited the catalystic effected on the crystallization of ${\alpha}$-calcium sulfate hemihydrate of which was assumed in the prismatic form, and organic salts solution exhibited little effect on the catalystic action to the crystallization, than inorganic salts. In the acidic solution with sulfuric acid(pH=2), needle like crystal of calcium sulfate hemihydrate was obtained. Hydrothermal process with aluminum sulfate solution also showed certain amounts of impurity removal such as phosphorus penataoxide from calcium sulfate hemihydrate.
Oxygen behaviors in CZ-silicon wafer, grown by the Lucky Advanced Materials Inc. that is a pioneer of silicon material industries in Korea, were investigated to simulate effects on the device performance of oxygen, neglecting the effect of other impurity content, defects and thermal history. Silicon wafers were annealed through simulated 16K SRAM thermal cycle. As initial oxygen concentration increased up to 16.7ppma the amount of oxygen precipitation increased up to 10.6ppma and the bulk microdefect density increased up to $10.3{\times}10^3/mm^2$, but the depth of the denuded zone decreased to $5.0{\mu}m$
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[게시일 2004년 10월 1일]
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