Joh, Cheol-Ho;Kim, Young-Ho;Oh, Tae-Sung;Park, Ik-Sung;Yu, Jin
한국표면공학회지
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제29권5호
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pp.379-385
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1996
Adhesion of Cu/Cr and Cu/$Cu_xCr_{1-x}$ thin films onto polyimide substrates has been studied. For an adhesion layer, Cr or Cu-Cr alloy films were deposited onto polyimide using DC magnetron sputtering machine. Then Cu was sputter-deposited and finally, Cu was electroplated. Adhesion was evaluated using $90^{\circ}C$ peel test or T-peel test. Plastic deformation of the peeled metal layer was qualitatively measured using XRD technique. It is confirmed that high interfacial fracture energy and large plastic deformation are important to enhance the peel adhesion strength. High peel strength is obtained when the interface is strongly bonded. More ductile film has higher peel strength. In Cu-Cr alloy films, opposite effects of the Cr addition in the alloy film on the peel strength are operative: a beneficial effect of strong interfacial bonding and a negative effect of smaller plastic deformation.
Plasma-sprayed coatings were obtained by spray-dried $Cr_2O_3$ powder with and without Mo addition. A reciprocal type tribo-tester was employed to examine friction and wear behavior of the specimens at room temperature. The composition and the worn surface of coated specimens were observed by XRD and SEM. The results showed that friction Coefficient of the Mo added specimens were lower than one of $Cr_2O_3$ specimen. But $Cr_2O_3$ specimen had a lower wear loss. Protecting layer were observed at the worn surface of coated specimens with Mo addition.
Ti-Al-Cr-N thin layer was prepared on Fe-Si thin sheet by arc ion plating to improve corrosion and mechanical properties. The compositions ratios of Fe : Cr : Al : Ti : Si : N of the thin layers at $500^{\circ}C$ was 1.24 : 0.56 : 36.82 : 32.72 : 0.59 : 28.07 [wt.%], respectively. The higher arc ion plating temperature was, the higher corrosion resistance and nano-hardness were observed due to chromium content. Corrosion potential and corrosion rate in artificial sea water of the coating layer were in the range of $-39mV_{SHE}$ and $2mA/cm^2$, respectively. Passivity was not observed in the artificial sea water. Nano-hardnesses of the thin layers was increased by adding Cr from 23.6 to 25.8 [GPa]. The friction coefficients and fatigue limits of the layers were 0.388, 0.031, respectively.
A thin metal layer of molybdenum is placed between the conventional barrier layer and the stainless steel substrate for investigating the diffusion property of iron (Fe) atoms. In this study, the protection probability was confirmed by measuring the concentration of out-diffused Fe using a SIMS depth profile. The Fe concentration of chromium (Cr) barrier layer with 10 nm molybdenum (Mo) layer is 5 times lower than that of Cr barrier without the thin Mo layer. The insertion of a thin Mo metal layer between the barrier layer and the stainless steel substrate effectively protects the out-diffusion of Fe atoms.
CoNiCr/Cr and CoCrTa/Cr for longitudinal magnetic recording media were. prepared on Coming 7059 glass by RF magnetron sputtering. The thickness of Cr underlayer was varied from 500 to $3000{\AA}$ and. that of magnetic layer was $700{\AA}$. Coercivity and squareness were measured using V.S.M.(vibrating sample magnetometer). The coercivity of films increased with increasing Cr thickness when the films were unannealed. The coercivity of the films annealed in a 10 mtorr vacuum increased initially with annealing time and then saturated with further increase in annealing time. The coercivity value difference between the unannealed and annealed films increased with increasing the thickness of Cr underlayer No significant change was found in squareness after anneal, regardless of Cr underlayer thickness.
By using Ni-Cr and Co-Cr alloys, porcelain fused to metal (PFM) samples were prepared to examine the interface and the surface corrosion behavior. The potentiodynamic polarization analysis showed that the corrosion current density of Co-Cr alloy ($1.61{\times}10^{-6}A/cm^2$) was three times lower than that of Ni-Cr alloy ($4.83{\times}10^{-6}A/cm^2$) at room temperature. A dental prosthesis consisting of the porcelain fused to Ni-Cr alloy extracted from a patient after approximately four years of usage was examined to assess its resistance to corrosion. OM and SEM images of the metal part revealed a typical pitting corrosion. As compared to porcelain fused to Ni-Cr alloy having a thick layer (${\sim}10{\mu}m$) of oxide at the interface, a relatively thin oxide layer (less than $5{\mu}m$) was formed on Co-Cr alloy, indicating that the interface between Co-Cr alloy and porcelain may have a better adhesion strength than the interface between Ni-Cr alloy and porcelain.
We have investigated the electronic structures and magnetism of a full Heusler alloy $Co_2CrGa(001)$ surface by using the all-electron full-potential linearized augmented plane wave (FLAPW) method within the generalized gradient approximation (GGA). We considered two types of different terminations: the Co-terminated (Co-Term) and the CrGa-terminated (CrGa-Term) surfaces. From the calculated layer-projected density of states (LDOS), we found that the surface of the CrGa-Term shows nearly half-metallic character while that of the Co-Term is far from the half-metallic. For the Co-Term, the surface Co atom moves down to the bulk region by $0.05{\AA}A$, while the subsurface Cr and Ga atoms move up to the surface layer by 0.05 and $0.01{\AA}$, respectively. For the CrGa-Term, there is a large inward relaxation of the surface Ga atom $(0.07{\AA})$, but the relaxation of the surface Cr atom is very small $(0.01{\AA})$. The relaxations affect not much to the overall shapes of DOS for both terminations, but make the surface states of the surface Cr and Ga atoms for the CrGa-Term shift to higher energy that enhances the nearly half-metallic character of the CrGa-Term. The magnetic moments of the surface $Cr(2.98{\mu}_B)$ in the CrGa-Term and the surface $Co(1.17{\mu}_B)$ in the Co-Term were much increased compared to those of the inner-layers $(1.79\;and\;0.77{\mu}_B)$, respectively, while that of the subsurface Cr atom in the Co-Term was decreased to $1.19{\mu}_B$.
본 연구는 에치스토퍼를 기존의 방식과 다르게 적용하여 수소화 된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제조공정을 단순화하고, 박막 트랜지스터의 게이트와 소오스-드레인간의 기생용량을 줄인다. 본 연구의 수소화 된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터는 Inverted Staggered 형태로 게이트 전극이 하부에 있다. 실험 방법은 게이트전극, 절연층 , 전도층, 에치스토퍼 및 포토레지스터층을 연속 증착한다. 스토퍼층을 게이트 전극의 패턴으로 남기고, 그 위에 n+a-Si:H 층 및 NPR(Negative Photo Resister)을 형성시킨다. 상부 게이트 전극과 반대의 패턴으로 NPR층을 패터닝하여 그것을 마스크로 상부 n+a-Si:H 층을 식각하고, 남아있는 NPR층을 제거한다. 그 위에 Cr층을 증착한 후 패터닝하여 소오스-드레인 전극을 위한 Cr층을 형성시켜 박막 트랜지스터를 제조한다. 이렇게 제조하면 기존의 박막 트랜지스터에 비하여 특성은 같고, 제조공정은 줄어들며, 또한 게이트와 소오스-드레인간의 기생용량이 줄어들어 동작속도를 개선시킬 수 있다.
The heating unit of direct heating method manufactured as the plasma spray coating of $TiO_2/NiCr$ conductive heating material on the surface of heating unit in order to improve the disadvantages of indirect heating method. $TiO_2$ and NiCr (80wt.%Ni-20wt.%Cr) that had the properties of conduction and heating was chosen for the conductive heating material. The compositions of the composite powders were studied $TiO_2-30wt.%NiCr\;and\;TiO_2-10wt.%NiCr$. As the heating temperature was increased, the hardness of heating layer was increased because of the fine microstructure and the decrease of porosity. The adhesion strength was decreased for coarsening and connection of voids in the insulation layer, and the electrical resistivity of heating layer was increased for fine crack formation and growth. In this study, the best efficient sprayed coatings with heating unit was concluded as the plasma sprayed $TiO_2-10wt.%NiCr$ coatings that was heat treated at $300^{\circ}C$.
High-entropy TiAlCrSiN nano-composite coating was designed to improve mold life for high temperature liquid molding. Alloy design, powder fabrication and single alloying target fabrication for the high-entropy nano-composite coating were carried out. Using the single alloying target, an arc ion plating method was applied to prepare a TiAlCrSiN nano-composite coating had a 30 nm TiAlCrSiN layers are deposited layer by layer, and form about 4 ㎛-thickness of multi-layered coating. TiAlCrSiN nano-composite coating had a high hardness of about 39.9 GPa and a low coefficient of friction of less than about 0.47 in a dry environment. In addition, there was no change in the structure of the coating after the dissolution loss test in the molten metal at a temperature of about 1100 degrees.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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