• 한국정밀공학회지
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• 제17권7호
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• pp.226-231
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• 2000

New types of the micro heat flux sensor are designed and fabricated using SU-8 and Cu electroplating. And then calibrated under convection environment. The thermal path was made by SU-8 structure and electroplated Cu layers. The bottom surface of the micro heat flux sensor receives the heat flux from the wall, Then the heat flows along the Cu layers and drains out to the environment with producing the temperature difference at the upper layer of Cu. By measuring this temperature difference, the heat flux from the wall can be obtained. The temperature difference is measured by thermopile which is composed of Ni-Cr pairs or Al-chromel pairs. The calibration is accomplished under convection environment because it is most frequent situation. The range of the sensitivity is 0.11~2.02$\mu$V/(㎽/$\textrm{cm}^2$) for the various heat flux and Reynolds numbers.

• 한국레이저가공학회지
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• 제2권2호
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• pp.8-17
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• 1999

This study includes a basic feature of laser surface alloying for enhancing the surface properties of materials. Effects of laser processing parameters such as beam power, beam size, scanning speed on the shape and composition of alloyed layer was simulated in case of moving beam conditions (2-dimensional numerical methods). Simulated results were compared with experiments, in which the plasma coating of 80% Ni ＋ 20% Cr deposited on the SS41 substrate was remelted with CO2 laser with Gaussian energy distribution. Simulation and experiments revealed that the shape (dimension)and composition of laser alloyed layer were strongly dependent upon the process parameters, especially interaction time (travel speed) as compared to beam diameter, beam power and absorptivity. The shape and composition of alloyed layervaried more or less exponentially with parameters.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.82-82
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• 2011

본 연구에서는 이온빔 스퍼터링 방법으로 증착한 Cr2O3, Ta2O5, HfO2 산화물박막의 구조적 특성변화를 관찰하였다. 금속박막에서 표면이 산화되는 문제를 해결하기위하여 산화물 박막을 증착시켰다. 이온빔 스퍼터링으로 박막 증착 시 산화물 타겟을 사용할 때 발생되는 전하의 영향을 상쇄하기 위하여 neutralizer를 사용하였다. 박막 증착 후 XRR (X-ray Reflectometer)을 이용하여 박막의 두께, 거칠기 및 밀도를 확인하였으며, AFM (Atomic Force MicroScope)을 통하여 증착한 박막표면 거칠기 측정을 하여 XRR로 얻은 데이터와 비교하여 살펴보았다. 또한 XPS (X-ray photoelectron spectroscopy)측정을 통해 제조된 박막의 화학적 결합상태를 확인하였다. 여러 가지 조건변화와 기판의 차이에 따라 제작된 산화물 박막 중 실리콘 기판을 사용하여 증착시킨 박막은 XRR측정시 반사율 곡선에서 자연 산화막에 의한 영향이 나타났다. 반면 glass나 sapphire에 증착시킨 산화물 박막은 실리콘기판에서 나타난 자연 산화막의 영향을 받지 않음을 확인하였다. 기판과 산화물 박막사이에 계면층에 나타나는 영향을 최소화시킴으로써 양질의 박막을 제작할 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
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• 한국소성가공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.294-297
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• 2009

The frictional behaviors of Cermets/Cr-Ceramics and Cu-Al coatings of piston ring were investigated. Friction tests were carried out by pin-on-disk test and materials properties of coating layer were analyzed by nano indentation tester. Higher friction coefficient was obtained at harder coating with rougher surface. In case of hard-coating, the scratch depth, width and pile-up height had close relationship with indentation hardness. So the scratch width, depth and pile-up height increases with decreasing friction coefficient. But in case of soft-coating, the friction coefficients are strongly dependent on the morphological characteristics after nano scratching more than indentation hardness.

• 한국기계가공학회지
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• 제10권2호
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• pp.117-123
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• 2011

The purpose of this study is to show the friction and wear characteristics on the vapor deposited coating layers on the SCM415 steel. In this research, frictional wear characteristic of coating materials such as Ti-series, Cr-series & WC/C and TiAlN+WC/C multilayer coating was investigated under room temperature, normal air pressure and no lubricating condition. Therefore, this study carried out research on the friction coefficient, micro hardness(Hv), surface roughness and wear quantity on the vapor deposited coating layers on the SCM415 steel. As the wear experimental result, the excellence of TiAlN+WC/C multilayer coating has been proven by high micro-hardness, low friction coefficient and wear quantity.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.76-76
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• 2015

PVD에 의한 증착 대상 물질인 Ti, AlSi, Cr 및 각각의 타겟 전류, 바이어스, 압력 조건 들을 설계하여 적용시켰으며 PECVD와 CBC 코팅을 조합하여 발생되는 새로운 나노 멀티박막의 특성을 본 연구에서는 시험분석 및 평가하였다. 코팅층 깊이에 따른 조성 변화는 XPS를 이용하였으며 미세조직 및 표면 상태는 FE-SEM을 이용한 정밀 분석을 실시하였다. 또한, 박막의 경도는 나노인덴터를 이용하여 박막 자체의 경도만을 분석하였다. 한편, Pin-on-disk 방식의 마모시험기를 이용하여 표면조도와 상대재의 처리 상태에 따른 마찰계수를 시험 평가하였다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.163-163
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• 2015

본 연구는 금속 캐리어 소재상에 화학 동도금(Chemical Copper)으로 형성된 극박 동박 표면 및 석출막의 특성을 평가하기 위하여 다양한 진공 분석장비들을 활용하여 평가한 결과이다. 연구에 사용된 극박 동박은 현재 캐리어박 선점률이 높은 M, J, Y사의 제품이다. 최상층 구리 표면에서 조직, 조성, 표면조도를 평가하였고, 계면 평가에서는 copper layer 및 nodule layer, adhesion layer, anti-corrosion layer, release layer, substrate에서의 물성 및 특성 정밀평가 결과 각 특성치 및 구조는 Cr, Zn, Ni, Co, Cr계 thermal anti layer임의 확인이 가능하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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• pp.53-53
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• 2000

반도체 산업에서 유기물질의 응용에 많은 관심을 나타내고있으며, 그 응용의 예로는 발광 다이오드(light emitting diode)와 박막트랜지스터(thinfilm transistor)가 주를 이루고 있다. 이러한 유기 물질을 이용하면 소자의 제작 공정의 단순화와 제작 가격을 낮출 수 있는 이점을 기대할 수 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 pentcence 다이오드를 제작하였다. 유리 기판 위에 silicon dioxide를 PECVD으로 성막하였다. 전극으로는 Ohmic contact를 이루기 위해 금(Au)을 사용하였으며 schottky contact을 이루기 위해서 알루미늄(Al), 인듐(In), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Au)을 각각 사용하였다. 소자의 활성 층으로는 pentcene을 가장 단순한 열 증착법으로 성막하였고, 진공도는 10-8Torr를 유지하였으며 성막 속도는 0.3 $\AA$/sec로 성막하였다. 제작된 소자들은 $\alpha$-step, I-V, C-V, AFM, IR등을 이용하여 측정, 분석하였다.

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 2001년도 제33회 춘계학술대회 개최
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• pp.42-48
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• 2001

Chromium carbides have the excellent wear properties as transition metal carbides. Their tribological applications were studied recently. The nano-sized ceramic could enhance the mechanical and electronical properties of materials. In this study, it was observed to test the wear of the coated surface of nano-sized chromium carbides. The nano-sized chromium carbides were produced by sol-gel processing. Coating surface of produced powders was obtained front plasma spraying. Wear test of coating surface was held increasing temperature. The friction coefficient and the wear loss were testified in dry environment. And the worn surfaces were analyzed by XRD and SEM.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
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• 한국소성가공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.411-414
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• 2008

In order to study the effect of lubrication during hot rolling, ferritic stainless steel (FSS) sheet were hot-rolled with and without application of lubrication. The effect of two hot rolling processes on the evolution of texture and microstructure after hot rolling, cold rolling and subsequent recrystallization annealing was studied by means of macro-texture analysis and microstructure observations. After hot rolling, the specimen rolled with lubrication showed rolling textures at the sheet surface, while the specimen rolled without lubrication displayed shear textures in the outer layers of the sheet. Hot rolling with lubrication was beneficial to the formation of strong recrystallization textures at sheet surface. However, hot rolling with lubrication led to the formation of orientation colonies in outer thickness layers of the recrystallized sheet.