Efficient Shadow-Test Algorithm for the Simulation of Dry Etching and Topographical Evolution (건식 식각 공정 시뮬레이션을 위한 효율적인 그림자 테스트 알고리즘과 토포그래피 진화에 대한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- v.36D no.2
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- pp.41-47
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- 1999