An adaptor is designed for chamber impedance measurement of plasma process. Copper rod, fixed board and compensation circuit are the major components of the adaptor. An adaptor can be to measure chamber impedance on time unless stopping a process and Data to measure can do the database. We can use it to a criteria data for a failure diagnosis. So developed adaptor could be used for diagnosis the plasma process chamber in semiconductor industry.
Park, Tae-Soon;Woo, Dong-Ho;Oh, Pil-Jae;Hwang, Sun-Tae
Journal of Radiation Protection and Research
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v.9
no.1
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pp.11-18
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1984
A Standard gamma-ray ionization chamber system was developed with a well type ionization chamber and micro current measuring circuit. Micro current was measured by the automatic Townsend balance with stepwise compensation method. For gamma emitting nuclides such as $^{241}Am,\;^{133}Ba,\;^{60}Co,\;^{134}Cs,\;^{137}Cs,\;and\;^{22}Na$ relative calibration factors to $^{226}Ra$ reference source were calculated and detection .efficiency curve was determined as a fudnction of gamma energy.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics B
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v.31B
no.1
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pp.34-40
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1994
The design and implementation of a fuzzy self-organizing controller for an environmental temperature chamber is discussed. The chamber is a non-linear, time-variant system with delay-time and dead-time. And the parameter tuning is required in PI control when the performance degraded. However the proposed fuzzy-SOC monitors the performance of the process. modifies the data base, and performs the delay-time compensation based on the idealized process model. A series of experiments was performed for the conventional PI and the fuzzy-SOC. These experimental results show the usefulness of the fuzzy-SOC.
Park, I.Y.;Lee, J.H.;Jang, S.W.;Lee, J.W.;Kang, S.W.;Cho, J.H.
Proceedings of the IEEK Conference
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2002.07a
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pp.497-499
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2002
This paper proposes the effective compensation method fur the IR lamp deterioration in NDIR capnograph system. The newly designed optical chamber with two IR lamps and an electronic hardware for controlling lamp intensity have been implemented. After applying the proposed optical chamber and reference lamp control circuit to the NDIR type capnograph system, it is identified that the proposed method can compensate the lamp deterioration effectively.
Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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v.20
no.3
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pp.87-95
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2016
A study on the effect of altitude-compensation and the possibility of throttling is performed by designing an E-D nozzle that is a type of altitude-compensation nozzles. In order to examine the effect of the altitude-compensation, a CFD analysis is conducted by using three kinds (sea level, altitude at 10 km and 16 km) of the atmosphere condition while maintaining the chamber pressure. Results show that the effective nozzle exit area is also gradually increased when the altitude get increased. Understanding the possibility of throttling, a CFD analysis is conducted by moving the location of the pintle. Just as same as a general pintle thruster, the chamber pressure and thrust are increased when the nozzle throat area get decreased.
Many studies for improving the railway vehicle's performance and comfort such as speed, weight and noise are currently in progress. Improving the structural characteristics of the vehicle for greater noise insulation is considered important for reducing disturbance due to noise, but measuring transmission loss entails large costs. This study explores an alternative method for estimating and measuring the railway vehicle's transmission loss that involves on applying the numerical analysis coupled with scaled reverberation chamber measurement. The transmission loss measurement using scaled reverberation chamber was performed after the compensation value was found through 1mm thickness(1t) specimen. For numerical analysis, a commercially available acoustics solver VA ONE was used. The proposed method is found to lead to transmission loss measurement comparable to the measurements based on large-scale reverberation chamber. Thus, it can be argued that a reliable method has been developed for measuring railway vehicle's transmission loss.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.18
no.11
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pp.138-147
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2001
Alignment systems are frequently used under various semiconductor manufacturing environment. Particularly in PDP(Plasma Display Panel) manufacturing process, the alignment system is applied to the combining and sealing processes of the upper and lower glass panels of PDP, where these processes are performed in the vacuum chamber of high vacuum and high temperature. In this paper, the XYΘ-alignment stage is developed to align PDP panels. Because of high vacuum and high temperature environment, the alignment chamber has been designed to isolate the inner part of the alignment chamber from the outer environment of high vacuum and high temperature, in which every part of the alignment stage is inserted. As it is difficult to attach feedback sensors to the alignment stage in the alignment chamber, the alignment stage is implemented with the open loop algorithm, where the parallel link structure has been designed using step-motors and ball-screws for structural simplicity. The kinematic analysis is performed to drive the parallel link structure, based on the experiments of actuation-compensation of the alignment stage. For the error compensation, the hyperpatch model has been used to model the errors. From the experiments, the positional accuracy of the alignment stage can be improved significantly.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.21
no.1
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pp.155-162
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2020
In this paper, we present a radiation compensation method and experiment method for two-dimensional direction finding by elevation and azimuth angles of broadband GPS signal, and then produce experimental results. Previous studies have performed direction finding by only using the azimuth angle of the detected signal. So, the compensation table utilizes compensation data by azimuth angles only. However, the presented method in this study has compensation data by azimuth and elevation angles for two-dimensional direction finding. Because of direction finding systems and applications are diversified, recently. So, we present a two-dimensional radiation compensation method. For evaluation of the presented compensation method, we calculate the ideal phase differences on the antenna for two-dimensional direction finding and simulate phase differences using a FEKO EM simulator. Subsequently, we analyze experimental data by radiation compensation experiments using the presented compensation method in an anechoic chamber.
Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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v.46
no.8
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pp.662-670
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2018
The altitude compensation nozzle is a nozzle designed for optimum performance at all altitudes. A method of improving the specific impulse of the space launch vehicle is a method of improving the characteristic exhaust velocity which is a characteristic of the combustion chamber and a method of improving the thrust coefficient which is a characteristic of the nozzle. The altitude compensation nozzle enables improvement of the performance of the space launch vehicle by improving the nozzle performance for the same combustor. Research on altitude compensation nozzles has been actively carried out in the DLR in Germany and is being carried out in advanced countries such as the US, Russia, UK, Australia and Japan. In this paper, the technology trends and patent trends of altitude compensation nozzles are investigated and summarized. Based on this, the technical trends of altitude compensation nozzles is grasped and utilized as basic data for the study on the performance improvement of a launch vehicle.
The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.25
no.2
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pp.217-222
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2014
This paper discusses about the beam pattern distortion caused by the failures of some antenna modules in the active array antenna and analyses the possibility of improvement through applying the beam pattern compensation method previously studied. The beam pattern distortion which is mostly represented as an increase of the sidelobe level, can be suppressed through re-synthesizing each module's magnitude and phase. This method was applied to the prototype of active array antenna system, and the results of antenna pattern distortion and compensation were analyzed and measured in the Near Field Chamber. Array failures are generally divided into random TR module failures and TRU(TR Unit: combination of TR modules, Beam Computation module, Power supply module) failures. The results of beam pattern compensation were analyzed in each failure and compared to the results of the simulation. The beam pattern compensation results applied to the real active antenna array system showed the similar to the simulation results. Consequently, it was verified the beam pattern could be compensated with the magnitude and phase adjustment of other normal antenna modules.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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