• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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• pp.335-338
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• 1997

Platinum-Cobalt alloy thin films were deposited on A1$_2$O$_3$substrate by magnetron cosputtering for RTD temperature sensors with wide temperature ranges. We made Pt-Co alloy resistance patterns on the A1$_2$O$_3$substrate by lift-off method and fabricated Pt-Co alley RTD temperature sensors by using Pt-wire, Pt-paste. We investigated the physical and electrical characteristics of theme films under various conditions, input power, working vacuum, annealing temperature and time, and also after annealing these films. The resistivity and sheet resistivity of these films were decreased with increasing the annealing temperature. At input power of Pt : 4.4 W/cm$^2$, Co : 6.91 W/cm$^2$, working vacuum of 10 mTorr and annealing conditions of 800$^{\circ}C$ and 60 min, the resistivity and sheet resistivity of Pt-Co thin films was 15${\mu}$$\Omega$$.$cm and 0.5$\Omega$/ , respectively, and the TCR value of Pt-Co alloy thin films with thickness of 3000${\AA}$ was 3740ppm/$^{\circ}C$ in the temperature range of 25∼600$^{\circ}C$. These results indicate that Pt-Co alloy thin films hove potentiality for the RTD with wide temperature ranges.

• 한국진공학회지
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• 제7권3호
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• pp.176-186
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• 1998

Si 기판 위에 3종의 Pt-Co 합금박막 (Pt66-Co34, Pt40-Co60, Pt18-Co82)과 순수한 Pt, Co 박막 시료를 제작하여 표면 조성분석의 정량화 및 표준화를 위한 표준시료로 제안하 였다. in-istu X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)분석에 의해 증착된 이원 합금박막의 조성이 정확히 조절되었으며, 합금박막의 실제 조성은 유도결합플라즈마-원자방출분광법 (inductively coupled plasma-atomic emission spectroscopy: ICP-AES)과 러더퍼드 후방산 란분광법(Ruthford back-scattering spectrometry: RBS)에 의해 결정되었다. in-situ XPS 결과와 ICP에 의한 조성을 비교한 결과 매질 효과를 고려하면 비교적 정확한 조성을 구할 수 있음이 확인되었다. 이 시료를 이용한 XPS와 Auger electron spectroscopy(AES)에 의한 국내 공동분석 결과는 약4%내외의 큰 편차를 보이고 있지만, 평균 조성 값은 약1%의 오차 범위 내에서 두 방법에 의한 결과가 서로 잘 일치하였다. 이온빔 스퍼터링에 의해 Pt조성이 증가된 표면층이 형성되어 정확한 조성분석을 위해서는 선택스퍼터링에 의한 표면 변형을 정량적으로 함을 알았다.

• 한국결정성장학회지
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• 제18권2호
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• pp.87-90
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• 2008

Co-Pt 합금 박막은 amino-citrate 기반의 전해액에서 Ru(30 nm)/Ta(5 nm)/Si(100)구조의 작업 전극을 사용하여 정전류 전해도금 방법으로 증착 하였다. (0002) 우선 성장된 Ru의 buffer layers를 사용하여 Co-Pt 합금 박막의 결정구조와 우선 성장을 조절하였다. 본 실험에서는 도금액 온도를 변화시킴에 따른 Co-Pt 합금 박막의 자기적 성질과 미세구조에 미치는 영향을 고찰하였다. Co-Pt 합금 박막의 형상과 조성은 FESEM 과 EDS로 확인하였고, XRD로 결정구조를 분석하였다. 자기적 성질은 진동 시료 자력계와 토오크 자력계로 분석하였다. Co-Pt 합금 박막은 박막표면과 수직한 방향에서 열처리 없이 각각 6527 Oe의 높은 보자력과 0.93의 높은 각형비를 나타내었다.

• 한국자기학회지
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• 제12권1호
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• pp.20-23
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• 2002

CoCrPt 합금박막의 국소보자력 분포를 400nm공간분해능으로 8000개의 국소영역을 동시에 측정할 수 있는 광자기 현미경 자력계로 관찰하였다. 시료들은 dc 마그네트론 스퍼터링 방식으로 Pt 함량을 6 at.%에서 28 at.%로 변화시키며 제작되었다. Pt 함량이 증가함에 따라 ,국소보자력 분포가 정규분포에서 비정규분포로 변화하며 국소보자력 분포폭이 증가함을 발견하였다. 투과전자현미경으로 관찰한 미세구조를 분석한 결과는 국소보자력 분포 변화가 결정립의 크기 분포 및 평균크기 변화와 깊이 연관되어 있음을 나타내었다.

• 한국자기학회지
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• 제4권3호
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• pp.263-271
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• 1994

$Co_{1-x}Pt_{x}(X\;=\;0.53,\;0.75)$ 합금박막을 직류 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착하여 Ar 압력 및 증착온도 등의 증착조건에 따른 자기적 성질과 미세구조를 관찰하였다. 스퍼터링법으로 증착한 Co-Pt 합금박막은 모두 강한(111) 우선방위를 나타내었으며, 증착온도가 증가하거나 Ar 압력이 감소할수록 (111) 우선 방위는 커지는 것으로 나타났다. As-deposited 시편의 경우 수평자화를 나타내었고 (111) 우선방위와의 연관성은 나타나지 않았다. 증착한 합금박막을 열처리하여 미세구조 및 자기적 성질을 관찰한 결과 X = 0.53 조성의 시편은 열처리온도가 증가함에 따라 보자력과 각형비가 크게 증가함을 관찰하였고 X = 0.75 조성의 시편에서는 별다른 변화를 관찰하 지 못하였다. 미세구조를 XRD와 TEM을 이용하여 관찰한 결과 X = 0.53 조성의 시편에서는 CoPt 규칙상, X = 0.75 조성의 시편은 $CoPt_{3}$ 규칙상이 형성됨을 알 수 있었고 <001> 방향으로 Co 원자층과 Pt 원자층이 교대적층 되어 있는 CoPt 규칙상이 형성되었을 때 자기적 성질이 크게 변화하였다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제31권7호
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• pp.1968-1972
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• 2010

Pt-Co alloy nanowire array was directly synthesized by electrochemical deposition with polycarbonate template at -1.0V and subsequent chemical etching of the template. The use of Pt-Co alloy nanowire array-modified electrode (Pt-Co NAE) for the determination of morphine (MO) is described. The morphology of the Pt-Co alloy nanowire array has been investigated by scanning electron microscopy (SEM) and energy disperse X-ray spectroscopy (EDS) analysis), respectively. The resulting Pt-Co NAE offered a linear amperometric response for morphine ranging from $2.35\times10^{-5}$ to $2.39\times10^{-3}$ M with a detection limit of $7.83\times10^{-6}$ M at optimum conditions. This sensor displayed high sensitivity and long-term stability.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.1349-1351
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• 1998

Platinum-Cobalt alloy thin films were deposited on $Al_2O_3$ substrates by r.f. cosputtering for RTD temperature sensors. We made Pt-Co alloy resistance patterns on the $Al_2O_3$ substrates by lift-off method and investigated the physical and electrical characteristics of these films under various conditions (the input power, working vacuum, annealing temperature, thickness of thin films) and also after annealing these films. At input power of Pt : $4.4 W/cm^2$. Co:6.91W/$cm^2$. working vacuum of 10 mTorr and annealing conditions of $1000^{\circ}C$ and 60 min, the resistivity and sheet resistivity of Pt-Co thin films was $15{\mu}{\Omega}{\cdot}cm$ and $0.5{\Omega}/{\square}$, respectively. The TCR value of Pt-Co alloy thin films was measured with various thickness of thin films and annealing conditions. The optimum TCR value is gained under conditions $3000{\AA}$ of thin films thickness and $1000^{\circ}C$ of annealing temperature. These results indicate that Pt-Co alloy thin films have potentiality for the high resolution RTD temperature sensors.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제32권10호
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• pp.3660-3665
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• 2011

CO-tolerant PtMo/C alloy electrocatalyst was prepared by a colloidal method, and its electrocatalytic activity toward CO oxidation was investigated. Electrochemical study revealed that the alloy catalyst significantly enhanced catalytic activity toward the electro-oxidation of CO compared to Pt/C counterpart. Cyclic voltammetry suggested that Mo plays an important role in promoting CO electro-oxidation by facilitating the formation of active oxygen species. The effect of Mo on the electronic structure of Pt was investigated using X-ray absorption spectroscopy to elucidate the synergetic effect of alloying. Our in-depth spectroscopic analysis revealed that CO is less strongly adsorbed on PtMo/C catalyst than on Pt/C catalyst due to the modulation of the electronic structure of Pt d-band. Our investigation shows that the enhanced CO electrooxidation in PtMo alloy electrocatalyst is originated from two factors; one comes from the facile formation of active oxygen species, and the other from the weak interaction between Pt and CO.

• 공업화학
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• 제4권4호
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• pp.692-700
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• 1993

카본 담체에 백금과 전이금속과의 합금 촉매를 제조하여 촉매의 부식성, 촉매능 및 단전지에서의 전극성능을 전기화학적으로 비교 검토하였다. 그리고 합금촉매의 분석은 XRD로 확인하였다. 본 연구에서 제조된 여러 가지 백금 합금 촉매 중 Pt-Mo/carbon, Pt-Fe-Co/carbon 및 Pt-Fe/carbon 촉매가 보다 우수한 산소 환원 전류밀도를 나타내었으나 Pt-Mo/carbon 촉매의 경우 초기 전극전류의 대부분이 촉매의 부식에 의한 전류임을 확인할 수 있었다. Pt/carbon촉매를 사용하였을 경우 나타난 전극의 전류밀도는 $120mA/cm^2$이었으나 Pt-Fe-Co/carbon 의 경우는 $200mA/cm^2$으로 순수 백금촉매보다 우수한 전극성능을 나타내었다.

• 한국결정성장학회지
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• 제10권1호
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• pp.17-22
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• 2000

수직보자력이 크고 CoCrPt에 비하여 noise 저감 효과가 큰 것으로 알려진 CoCrPtTa계 합금박막의 수직이방성을 더욱 개선하기 위해 Ti를 우선 증착하였다. 본 연구에서는 Ti 두께 변화에 따른 비교적 높은 수직보자력치를 보였던 $CoCr_{16.2}Pt_{10.8}Ta_4$Ti/glass 시편에서 자기적 특성과 자구형상의 변화를 살펴보았다. 또한 VSM(Vibrating Sample Magnetometer)을 이용하여 M-H loop를 측정하였으며 자구형상은 MFM(Magnetic Force Microscopy)로 관찰하였다. 육방정 Ti가 하지층으로서 우선증착되면 bare glass 직접 증착되는 경우보다 CoCrPtTa 자성층의 수직이방성에 현저한 향상을 가져왔으며 Ti의 두께가 두꺼울수록 c-축 배향성도 개선되었다. MFM 결과에 의하면 Ti두레가 20 nm에서 90 nm로 증가함에 따라 자구형상이 연속적인 stripe type에서 mass type으로 분절된 형태로 변하였다. 이는 Ti의 증착이 비자성 Cr 편석 거동에 영향을 미쳐 자화반전시 인접 columnar grain의 자화벡터들간의 상호교환작용을 억제하는 자기적 분리 효과에 기여했음을 의미한다. 아울러 이와 같은 거동은 Ti가 CoCr계 자성층의 수직이방성을 개선하는데 있어서 형상자기이방성적인 측면에서의 기여가 현저함을 의미하기도 한다.