• Title/Summary/Keyword: Chan-Su

검색결과 2,749건 처리시간 0.028초

진공공정 챔버의 내부압력 분포측정

  • 홍기성;홍승수;김진태;임인태;신용현;김성수;이규찬;김미정
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
    • /
    • pp.200-200
    • /
    • 2008
  • PDF

수광소자

  • 남은수;오광룡;박찬용;박경현
    • ETRI Journal
    • /
    • 제8권4호
    • /
    • pp.55-60
    • /
    • 1986
  • PDF