Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.200-200
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- 2008
진공공정 챔버의 내부압력 분포측정
- Hong, Gi-Seong ;
- Hong, Seung-Su ;
- Maqsood, M. ;
- Kim, Jin-Tae ;
- Im, In-Tae ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Kim, Seong-Su ;
- Lee, Gyu-Chan
- 홍기성 (한국표준과학연구원) ;
- 홍승수 (한국표준과학연구원) ;
- 김진태 (한국표준과학연구원) ;
- 임인태 (한국표준과학연구원) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원) ;
- 김성수 (한국표준과학연구원) ;
- 이규찬 (목원대학교 물리학과) ;
- 김미정 (한국표준과학연구원)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords