Gas sensing properties of P-N contact ceramics, composed of ZnO and CuO pairs sintered at different temperatures, were studied for 1% CO gas. Between 10$0^{\circ}C$ and 32$0^{\circ}C$ temperature range, it was observed that 2-probe current-voltage (I-V) characteristics, temperature and voltage dependence of sensivities were dependant largely upon ZnO samples. Pairs including a ZnO sample sintered at 110$0^{\circ}C$ showed maximum senitivity of 9 and 13 depending upon counterpart CuO samples, at 260~29$0^{\circ}C$. On the other hand, pairs including a ZnO samples sintered at 90$0^{\circ}C$ showed increasing sensitivity within in the measured temperature range and maximum sensitivities were about 4.
고주파 스피터 방법으로 제조된 SnO$_2$감지막 위에 에어로졸 화염 증착법으로 알루미나 표면 보호층을 증착하여 SnO$_2$박막 가스 센서의 감지 특성에 미치는 영향에 대햐여 조사하였고, 표면 보호층에 귀금속 Pt를 도핑하여 Pt의 함량이 CO 및 CH(sub)4 가스들의 선택성에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. SnO$_2$박막은 R.F power 50 W, 공정 압력 4 mtorr, 기판온도 20$0^{\circ}C$에서 30분간 0.3$\mu\textrm{m}$ 두께로 Pt 전극 위에 제조하였고, 질산알루미늄(Al(NO$_3$).9$H_2O$) 용액을 희석하여 에어로졸 화염증착법으로 알루미나 표면 보호층을 만든후 $600^{\circ}C$에서 6시간동안 산소분위기에서 열처리하였다. 알루미나 표면 보호층이 증착된 SnO$_2$가스 센서소자의 경우 보호층이 없는 가스 센서와 비교하여 CO 가스에 대한 감도는 매우 감소하였으나 CH$_4$가스에 대한 감도 특성은 순수한 SnO$_2$센서 소자와 비슷하였다. 결과적으로 보호층을 이용하여 CH$_4$가스에 대한 상대적인 선택성 증가를 이룰 수 있었다. 특히 표면 보호층에 Pt가 첨가된 센서 소자의 경우 CO 가스에 대해서는 낮은 감도 특성을 나타내었으나 CH$_4$에 대한 감도는 매우 증가하여 CH$_4$가스의 선택성을 더욱 증대시킬 수 있었다. CH$_4$가스 선택성 향상에 미치는 알루미나 표면 보호층과 Pt의 역할에 대하여 고찰해 보았다.
A carbon monoxide gas sensor utilizing Pt-SiC, Pt-SnO2-SiC diode structure was fabricated. Since the operating temperature for silicon devices in limited to 200oC, sensor which employ the silicon substrate can not at high temperature. In this study, CO gas sensor operating at high temperature which utilize SiC semiconductor as a substrate was developed. Since the SiC is the semiconductor with wide band gap. the sensor at above $700^{\circ}C$. Carbon monoxide-sensing behavior of Pt-SiC, Pt-SnO2-SiC diode is systematically compared and analyzed as a function of carbon monoxide concentration and temperature by I-V and ${\Delta}$I-t method under steady-state and transient conditions.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제13권6호
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pp.305-309
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2012
In this study, ZnO nanorods and $SnO_2$-CuO heterogeneous oxide were grown on membrane-type gas sensor platforms and the sensing characteristics for carbon monoxide (CO) were studied. Diaphragm-type gas sensor platforms with built-in Pt micro-heaters were made using a conventional bulk micromachining method. ZnO nanorods were grown from ZnO seed layers using the hydrothermal method, and the average diameter and length of the nanorods were adjusted by changing the concentration of the precursor. Thereafter, $SnO_2$-CuO heterogeneous oxide thin films were grown from evaporated Sn and Cu thin films. The average diameters of the ZnO nanorods obtained by changing the concentration of the precursor were between 30 and 200 nm and the ZnO nanorods showed a sensitivity value of 21% at a working temperature of $350^{\circ}C$ and a carbon monoxide concentration of 100 ppm. The $SnO_2$-CuO heterogeneous oxide thin films showed a sensitivity value of 18% at a working temperature of $200^{\circ}C$ and a carbon monoxide concentration of 100 ppm.
$WO_3$-doped $SnO_2$ thin films were prepared in a solution-deposition method and their gas-sensing characteristics were investigated. The doping of $WO_3$ to $SnO_2$ increased the response ($R_a/R_g,\;R_a$: resistance in air, $R_g$: resistance in gas) to $H_2$ substantially. Moreover, the $R_a/R_g$ value of 10 ppm CO increased to 5.65, whereas that of $NO_2$ did not change by a significant amount. The enhanced response to $H_2$ and the selective detection of CO in the presence of $NO_2$ were explained in relation to the change in the surface reaction by the addition of $WO_3$. The $WO_3$-doped $SnO_2$ sensor can be used with the application of a $H_2$ sensor for vehicles that utilize fuel cells and as an air quality sensor to detect CO-containing exhaust gases emitted from gasoline engines.
ZnO nanofibers were electro-spun from a solution containing poly 4-vinyl phenol and Zn acetate dihydrate. The calcination process of the ZnO/PVP composite nanofibers brought forth a random network of polycrystalline wurtzite ZnO nanofibers of 30 nm to 70 nm in diameter. The electrical properties of the ZnO nanofibers were governed by the grain boundaries. To investigate possible applications of the ZnO nanofibers, their CO and $NO_2$ gas sensing responses are demonstrated. In particular, the $SnO_2$-deposited ZnO nanofibers exhibit a remarkable gas sensing response to $NO_2$ gas as low as 400 ppb. Oxide nanofibers emerge as a new proposition for oxide-based gas sensors.
Au@ZnO core-shell nanoparticles (NPs) were prepared by a simple method followed by heat-treatment for gas sensor applications. The advantage of the core-shell morphology was investigated by comparing the gas sensing performances of Au@ZnO core-shell NPs with pure ZnO NPs and different wt% of Au-loaded ZnO NPs. The crystal structures, shapes, sizes, and morphologies of all sensing materials were characterized by XRD, TEM, and HAADF-STEM. Au@ZnO core-shell NPs were nearly spherical in shape and Au NPs were encapsulated in the center with a 40-45 nm ZnO shell outside. The gas sensing operating temperature for Au@ZnO core-shell NPs was $300^{\circ}C$, whereas it was $350^{\circ}C$ for pure ZnO NPs and Au-loaded ZnO NPs. The maximum response of Au@ZnO core-shell NPs to 1000 ppm CO at $300^{\circ}C$ was 77.3, which was three-fold higher than that of 2 wt% Au-loaded ZnO NPs. Electronic and chemical effects were the primary reasons for the improved sensitivity of Au@ZnO core-shell NPs. It was confirmed that Au@ZnO core-shell NPs had better sensitivity and stability than Au-loaded ZnO NPs.
Recently, oxide semiconductor gas sensors consisted of n-type semiconductor materials such as $SnO_2$, ZnO and $Fe_2O_3$ have been widely used to detect reducing gases. The advantage of thick-film technology include the possibility of mass-production and automation, that of integrating the sensing element in a hybrid circuit and that of fuctional trimming of the sensor and/or the circuit. which would enable really interchangeable transducers to be prepared. In this paper, we made ZnO and $SnO_2$ gas sensors and investigated the sensitivity to CO gas. Therefore, we compared a ZnO gas sensor with a $SnO_2$ gas sensor.
As public interest in air quality and environment problem is increasing, many researches are being carried out the gas measurement system. Especially, Non-dispersive infrared (NDIR) measurements using Beer-Lambert gas sensing principle with very high selectivity and long life time are noted for reliable method. It is possible to detect various gases such as carbon dioxide (CO2), carbon monoxide (CO), and nitrogen dioxide (NO2), but many researches are mostly concentrated on CO2 sensor. The multi-gas measuring instrument is high price and unwieldy, therefore it is not suitable for wide area required numerous instrument. So we study the NDIR multi-gas measurement system for air quality based on wireless sensor network, and experiment the realized measurement system.
In order to improve CO gas sensitivity, $TiO_2$added $SnO_2$ composite ceramics were prepared. Using XRD and SEM, the phases and micro structures of these ceramics were investigated. The resistances as a function of gas atmosphere were measured by High Voltage Measure/Source Unit. The maximum 100 ppm CO gas sensitivities of $SnO_2-TiO_2$composites were 2.5 times larger than that of pure $SnO_2$ composite and showed the obvious temperature dependence of sensitivities in 500, 100 ppm CO gas atmospheres.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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