• 제목/요약/키워드: CMPS

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Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 (Optimizations for oxide CMP processes)

  • 김동일;허종곤;윤각기;이종구
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 1998년도 하계종합학술대회논문집
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    • pp.481-484
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    • 1998
  • In this study, oxide(TEOS) CMPs were carried out for various head pressures. Table and head speeds are fixed at 25 RPM. Head pressures are 5, 7.5, 10, 12.5 PSI, and under these conditions, 1,587, 1,631, 2,556, 2,871.agns./min of oxide (TEOS) removal rates and 14.7, 18.5, 9.52, 7.9% of uniformities are obtained, respectively. Also, these experiments for local and global planarizations were done using the patterned 4" wafers. These conditions are applicable to STI(shallow trench isolation) structures and planarizations for sub-half micron lithography.aphy.

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긴급제언 - CM전문가와 CMP 협의회의 역할 (The Role of CMP And CMP Association)

  • 엄익준
    • 기술사
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    • 제42권3호
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    • pp.32-34
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    • 2009
  • The number of Construction Management Professional(CMP) is 2700 among 4600 of the total CMPs in Korea. Their characters and abilities are quite different from others. Because they must have 10 year field experiences, complete 180 hours CM oriented lectures and pass the certification test including written and interview in depth. And then, their level of standard is maintained by the Continuous Professional Development(CPD) program, periodic forum, case study seminar and CMP vision execution strategy sponsored by the CMP Association.

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개에서 난소자궁절제술과 난소절제술 후 나타나는 통증 행동과 스트레스 반응의 비교 (Comparison of Ovariectomy and Ovariohysterectomy in Terms of Postoperative Pain Behavior and Surgical Stress in Dogs)

  • 이스캇;이승용;박세진;김영기;석성훈;황재민;이희천;연성찬
    • 한국임상수의학회지
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    • 제30권3호
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    • pp.166-171
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    • 2013
  • 본 연구는 개에서 난소자궁절제술과 난소절제술의 실시가 동물의 통증행동과 스트레스에 미치는 영향을 비교하고, 임상적용 가능성을 평가하기 위하여 실시되었다. 13 마리의 건강한 암컷 중 (4.2-5.5 kg) 6 마리의 개에서 난소절제술이 행하여졌고, 7 마리에서 난소자궁절제술이 이루어졌다. 술 후 두 그룹 간에 수술 시간, 마취 시간, 복벽의 절개 길이를 비교하였다. 또한 술 전과 술 후 1, 2, 4, 6, 12, 24 시간째에 Short form of composite measure pain scale (CMPS-SF) 를 사용하여 통증 점수를 측정하였고 혈중 glucose 와 creatine kinase 그리고 cortisol 수치를 측정하였다. 난소자궁절제술을 시행한 그룹에서는 난소절제술을 시행한 그룹에 비해 유의적으로 (p < 0.05) 긴 수술 시간, 마취 시간, 복벽 절개 길이를 나타내었다. Two-way ANOVA test 결과 CMPS-SF에 의한 통증점수가 두 그룹 간에 유의적 (p < 0.05) 차이를 보였으며 술 후 1, 2, 4, 6 시간째 난소절제술을 행한 그룹에서 유의적으로 낮은 수치를 나타내었다. Glucose 의 경우 난소자궁절제술을 행한 그룹에서는 술 전과 비교해 유의적 (p < 0.05) 농도 증가가 술 후 1 시간째에 나타났으나 난소절제술을 행한 그룹에서는 술 후 전체 관찰기간 동안 유의적 농도 증가가 관찰 되지 않았다. Creatine Kinase 의 경우 난소자궁절제술을 행한 그룹에서는 술 전과 비교하여 술 후 1, 2, 4, 6, 12 시간째에 유의적 (p < 0.05) 농도 증가를 나타내었으나 난소절제술 그룹의 경우 술 후 4, 6, 12 시간째에만 술 전과 비교하여 유의적 (p < 0.05) 농도 증가를 나타내었다. Cortisol 의 경우 두 그룹 모두 술 후 1, 2 시간째에 유의적인 (p < 0.05) 농도 상승을 나타내었다. 본 연구 결과 난소절제술을 이용한 암캐의 중성화 수술 방법은 난소자궁절제술에 비해 짧은 복벽 절개, 수술 시간, 마취 시간을 요하며, 적은 술 후 통증과 스트레스를 유발하므로 난소절제술을 시행하는 것이 환자에게 바람직할 것으로 판단된다.

Enhancement of the Optical Performance by Optimization of Optical Sheets in Direct-illumination LCD Backlight

  • Park, Gyeung-Ju;Kim, Young-Gyu;Yi, Jong-Hoon;Kwon, Jin-Hyuk;Park, Jae-Hyun;Kim, Sung-Hoon;Kim, Byoung-Ku;Shin, Jong-Keun;Soh, Hoi-Sup
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제13권1호
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    • pp.152-157
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    • 2009
  • The structure of the prism sheet and the reflective polarizer sheet in the direct - illumination liquid crystal display (LCD) backlight is optimized and fabricated. The apex angle of the prism sheet was changed from 90 degree to 96.5 and 101.5 degree and the angular spread of the diffuser films attached on the reflective polarizer sheet was changed from 7 to 1.5 degrees. The measured view angle, the normal luminance, and the contrast ratio from the optimized backlight unit showed improved optical performances.

The Effect of Inhibitors on the Electrochemical Deposition of Copper Through-silicon Via and its CMP Process Optimization

  • Lin, Paul-Chang;Xu, Jin-Hai;Lu, Hong-Liang;Zhang, David Wei;Li, Pei
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제17권3호
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    • pp.319-325
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    • 2017
  • Through silicon via (TSV) technology is extensively used in 3D IC integrations. The special structure of the TSV is realized by CMP (Chemically Mechanical Polishing) process with a high Cu removal rate and, low dishing, yielding fine topography without defects. In this study, we investigated the electrochemical behavior of copper slurries with various inhibitors in the Cu CMP process for advanced TSV applications. One of the slurries was carried out for the most promising process with a high removal rate (${\sim}18000{\AA}/Min$ @ 3 psi) and low dishing (${\sim}800{\AA}$), providing good microstructure. The effects of pH value and $H_2O_2$ concentration on the slurry corrosion potential and Cu static etching rate (SER) were also examined. The slurry formula with a pH of 6 and 2% $H_2O_2$, hadthe lowest SER (${\sim}75{\AA}/Min$) and was the best for TSV CMP. A novel Cu TSV CMP process was developed with two CMPs and an additional annealing step after some of the bulk Cu had been removed, effectively improving the condition of the TSV Cu surface and preventing the formation of crack defects by variations in wafer stress during TSV process integration.

Effects of mushroom waster medium and stalk residues on the growth performance and oxidative status in broilers

  • Hsieh, Y.C.;Lin, W.C.;Chuang, W.Y.;Chen, M.H.;Chang, S.C.;Lee, T.T.
    • Animal Bioscience
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    • 제34권2호
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    • pp.265-275
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    • 2021
  • Objective: The study developed mushroom stalk residues as feed additives in the broiler diet for improving the growth performance and immunity of broilers as well as to increase the value of mushroom stalk residues. Methods: In total, 300 ROSS 308 broilers were randomly allocated into fifteen pens with five dietary treatments: i) control, basal diet; ii) CMWM, supplemented with 1% Cordyceps militaris waster medium (CM); iii) CMPE, supplemented with 0.5% CM+0.5% Pleurotus eryngii stalk residue (PE); iv) CMPS, supplemented with 0.5% CM+0.5% Pleurotus sajorcaju stalk residue (PS); v) CMFV, supplemented with 0.5% CM+0.5% Fammulina velutipes stalk residue (FV). Results: The chemical analysis results showed that CM extracts, PE extracts, PS extracts, and FV extracts contain functional components such as polysaccharides and phenols and have both 2, 2-diphenyl-1-picryl-hydrazyl-hydrate scavenging and Ferrous scavenging capacities. The group CMWM saw increased body weight gain and feed conversion rate and the promotion of jejunum villus growth, but there is no significant difference in the intestinal bacteria phase. Antioxidant genes in the nuclear factor (erythroid-derived 2)-like 2 (Nrf2)- antioxidant responsive element pathway among the groups are significantly higher than that of the control group, especially in group CMWM. Conclusion: The mushroom stalk residues have antioxidant functional components, can improve the intestinal health and body weight gain of chickens, and can activate the antioxidant pathway of Nrf2 to increase the heme oxygenase-1 expression. The treatment with 1% CM was the most promising as a feed additive.

거스름돈 만들기 문제의 정확한 나눗셈 알고리즘 (An Exact Division Algorithm for Change-Making Problem)

  • 이상운
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제22권3호
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    • pp.185-191
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    • 2022
  • 본 논문은 NP-난제로 다항시간 알고리즘이 알려져 있지 않은 거스름돈 만들기 문제(CMP)에 대해 $O{\frac{n(n+1)}{2}}$ 수행 복잡도의 나눗셈 알고리즘을 제안하였다. CMP는 주어진 돈 C를 cj,j=1,2,⋯,n의 동전으로 교환할 경우 교환되는 동전 개수 xj의 합을 최소화 시키는 문제이다. CMP에 대해 알려진 다항시간 알고리즘으로는 욕심쟁이 알고리즘(GA), 분할정복(DC)과 동적 계획법(DP)이 있으나 최적 해는 O(nC)의 DP로 구할 수 있으며, 일반적으로 C>2n으로 주어진 경우 수행 복잡도는 지수적으로 증가하는 경향이 있어 다항시간 알고리즘이라고 할 수 없다. 본 논문에서는 cj ≤ C에 한해, j 열에 n개의 cj 내림차순으로 배치하고, i행에는 cj의 약수를 모두 제외시킨 k개의 동전을 배치한 k×n 행렬에 대해 상삼각행렬과 주대각선 셀에 대해 나눗셈을 하여 몫(quotient)을 구하는 단순한 알고리즘을 제안한다. 제안된 알고리즘을 다양한 유형의 39개 벤치마킹 실험 데이터에 적용한 결과 최적 해를 단순히 계산기만을 사용하여도 빠르고 정확하게 구할 수 있음을 보였다.