강유전체 $YMno_{3}$ 박막의 건식식각 특성연구
(Study of dry etching chrateristics of freeoelectric $YMnO_{3}$ thin films)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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- pp.159-162
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- 2002