$O_2$ plasma 표면 처리 공정에 의한 SOI nano-wire Bio-FET 소자의 전기적 특성 열화
(Degradation of electrical characteristics in SOI nano-wire Bio-FET devices)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- pp.356-357
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- 2008