The Simulation of Copper Diffusion in $SiO_2$ during BTS Test
(Simulation을 통한 Bias Temperature Stress Test (BTS) test 시 Cu의 $SiO_2$ 로의 확산에 대한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2001.11a
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- pp.81-81
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- 2001