• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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• pp.162-166
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• 2014

정밀 장비의 진동 허용치는 장비의 성능을 저하시키지 않는 외부 진동의 허용 범위를 의미하는 것으로 BBN 기준, NIST 기준 등이 있다. 반도체 및 디스플레이 산업 현장에서 주로 적용되는 BBN 기준을 평가하기 위해 측정시 측정자에 따라 상이한 결과가 발생하기도 한다. 이는 계측기의 설정 및 분석 방법 등 측정 방법의 차이에서 기인하는 것으로 관련된 측정 방법에 대한 가이드가 없기 때문인 것으로 보인다. 본 논문에서는 BBN 기준 평가를 위해 정밀 장비의 진동 허용치를 측정시 분석 방법, 평균화 방법 및 등급 판정 방법에 대한 가이드를 제안한다.

• 정보처리학회논문지B
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• 제15B권2호
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• pp.147-158
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• 2008

본 논문에서는 인과관계 지식의 표현과 추론에 가장 대표적으로 사용되는 퍼지인식도(FCM, Fuzzy Cognitive Map)와 베이지안 신뢰 네트워크(BBN, Bayesian Belief Network)를 구조적으로 분석한다. 퍼지인식도와 베이지안 신뢰 네트워크는 의사 결정을 지원하는데 중요한 인과관계 지식을 표현하고 추론하는데 사용되는 가장 대표적인 프레임워크이지만 인과관계 지식응용 영역에서 두 프레임워크의 역할에 대한 구조적 비교 연구는 이루어지지 않고 있다. 본 논문에서는 두 프레임워크의 구조적 비교를 통해 퍼지인식도와 베이지안 신뢰 네트워크의 중요한 특징들을 추출하고, 이를 통해 인과 지식 공학에서 어떻게 퍼지 인식도와 베이지안 신뢰 네트워크가 이용되어야 하는지를 보인다. 인과관계 지식의 표현과 추론의 과정을 평가하는데 비교 평가를 위한 항목으로서 본 논문에서는 사용성, 표현력, 추론능력, 정형화와 완결성이 사용되었다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2006년도 추계학술대회논문집
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• pp.352-355
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• 2006

본 연구에서는 건축 구조물 용도에 따라 구조물의 직접적인 손상을 방지하기 위하여 규제하는 기준치, 인간의 감각 통하여 느껴지는 진동으로 안락한 주거 환경 또는 작업 환경을 유지하기 위한 규제치, 구조조물에 설치된 장비, 특히 반도체, 통신장비등과 같이 정밀장비의 경우 구조물에서 발생되는 진동으로부터 장비의 성능을 유지시켜주기 위한 기준 등을 확인하여 건물 용도에 최적의 진동 허용 규제치를 제안하며 기준에 따른 초기설계단계에서 최적저감대책을 수립하고자 함이다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2007년도 추계학술대회논문집
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• pp.1346-1349
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• 2007

신축 구조물의 설계 단계에서 동적 강도 기준 및 진동 설계 기준을 설정하고 사람의 거동에 따른 기준층 구조의 동적 사용성 및 건물의 용도별 진동 영향성 평가를 동적 시뮬레이션 기법을 토대로 정량적인 방법을 통하여 수행하고 그 결과를 바탕으로 건물 사용성 및 용도에 따른 구조물의 안정성, 근무 요원들의 근무 환경 및 건물 운용의 관점에서 진동 영향성 평가를 수행함과 동시에 필요한 경우 최적의 동적 대책을 수립한다. 또한 건물 내부의 운용설비가 구조물에 미치는 영향을 평가하여 최적의 방진 대책을 제시하여 건물 완료 후 발생할 수 있는 진동 문제를 최소화 하고자 한다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제20권1호
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• pp.25-31
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• 2021

The semiconductor and display equipment demands an ultra-fine precision of several nm to several ㎛, and the scale is getting smaller due to the explosive development. The manufacturing process equipment for such products with ultra-fine precision is very sensitive to ultra-small vibrations flowing from the floor, resulting in problems of production defects and yield degradation. The vibration criteria are a standard that regulates the vibration environment of the floor where such precision process equipment will be installed. The BBN vibration criteria defined the allowable vibration velocity level in the frequency domain with a flat and inclined line and presented a rating according to it. However, the actual vibration criteria have appeared with various magnitudes in the frequency domain according to the dynamic characteristics of individual equipment. In this study, the relationship between the relative motion of two major points in the equipment and the vibration magnitude of the floor is presented using the frequency response function of a simple 3-DOF model. It is describing the magnitudes according to the frequency of the floor vibration that guarantees the allowable relative motion and this can be used as the vibration criteria. In order to obtain the vibration criteria experimentally a method of extracting through a modal test was introduced and verified analytically. It provides vulnerable frequency and magnitude to floor vibration in consideration of the dynamic characteristics of individual equipment. And it is possible to know necessary to improve the dynamic characteristics of the equipment, and it can be used to check the vibration compatibility of the place where the equipment will be installed.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.423-423
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• 2009

미진동 제어라는 분야에 대한 연구는 반도체 산업이 초고도화 및 초정밀화가 진전되고 있는 최근에 들어와 학계보다는 전문 반도체와 TFT-LCD의 미진동제어 관련 엔지니어 그룹과 정밀 장비 제작사를 중심으로 이루어져왔다. 고집적 생산 제품을 가공 및 검사하기 위해서는 가공 선폭 이상의 분해 성능을 가진 고정밀도의 생산 및 검사 장비가 필요하다. 이런 고정밀도 생산 및 검사장비는 내외부로부터 입력되는 진동에 민감한 영향을 받는다. 초기 반도체 산업을 주도한 미국을 중심으로 일부 학자와 반도체 진동 제어를 수행하는 전문연구소에서 작성한 BBN-Criteria는 정밀장비의 용도나 분해능 별로 정리된 진동허용규제치를 지침서로 사용하여 왔다. 그러나 장비의 엄밀한 주파수 특성 및 정밀도 측면에서 불확실한 영역부분을 가지고 있기 때문에 미소한 진동을 제어하는 구조 설계자 관점에서는 불충분한 자료이다. 그리고 주파수 분해능을 가진 진동허용규제치를 제시하는 것이 바람직하지만 대부분의 제작사에서는 그렇지 못하고 있다. 그런 이유에는 장비 개개의 진동허용규제치가 다른 고가의 장비 전량에 대하여 시험을 수행해야 하는 점, 가진(加振)특성, 중량, 크기 등의 진동실험 자체에 어려움 때문이다. 또한 진동실험시 가진주파수의 분해능의 결려에 따른 장비의 동적 특성이 고려되지 않은 불확실한 영역 부분을 포함한 진동허용규제치를 제시함으로서 불확실한 영역부분의 진동 하한치를 진동허용규제치의 상한치로 결정하는 문제로 인하여 진동허용규제치가 더욱 가혹하게 제시되어 건물 구조 설계와 방진의 어려움을 가중시킬 여지가 있다. 본 논문에서는 이런 어려움 등을 회피하는 방법으로 주파수응답함수(Frequency Response Function, FRF)를 이용하여 정밀장비의 진동허용규제치를 결정하는 간편하면서도 더욱 정밀한 새로운 방법을 모색하였다.