원자층 증착법에 의한 Al2O3 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향 (Effect of Atomic Layer Deposited Al2O3 Thin Films on the Mechanical Properties of Anti-reflective Moth Eye Nanostructured Films)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.176-177
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- 2015