• Title/Summary/Keyword: Ar 유량

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Ar 유량 변화에 따라 RF Magnetron Sputterin 법으로 제조된 GZO 박막의 특성변화

  • Jeong, Seong-Jin;Kim, Deok-Gyu;Kim, Hong-Bae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.232-232
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    • 2011
  • 투명전도산화물에 대한 연구가 많이 이루어지고 있으며, 최근 Ga이 도핑된 ZnO의 연구가 많이 되고 있다. 투명전도산화물은 태양전지, 평면디스플레이와 같은 다양한 분야에 응용이 가능하다. 본 연구에서는 RF magnetron sputtering을 이용하여 Ar gas 유량 변화에 따른 GZO 박막을 연구하였다. 기판으로는 유리기판을 사용하였으며, 전기적, 광학적, 구조적인 특성을 조사하였다. 박막의 증착시 초기 압력은 $2.0{\times}10^{-6}$Torr 이하로 하였으며, 증착온도는 상온으로 고정하여 증착하였다. 기판은 Corning 1737 유리 기판을 사용하였고, GZO 타겟은 ZnO : Ga 분말이 각각 97 : 3 wt.%로 소결된 타겟을 사용하였다. Ar 유량변수는 20, 40, 60, 80 sccm으로 변화를 주었다. 유리기판에 증착된 모든 GZO박막은 약 200 nm의 두께로 증착되었으며 모든 GZO 박막에서 85%이상의 투과율을 나타내었다. Ar 유량이 적을수록 투과율을 증가하였으며, 광학적 밴드갭 또한 증가하였다. 공정별로 제작된 모든 GZO박막에서 (002)면의 배향성이 관찰되었고, Ar 유량이 적을수록 박막의 결정성은 향상되었다. Hall 측정 결과 Ar 유량이 20 sccm일 때 전기비저항 $3.46{\times}10^{-3}{\Omega}cm$, 전하의 농도 $3.832{\times}10^{-20}\;cm^{-3}$, 이동도 $4.7cm^2V^{-1}s^{-1}$로 전극으로서의 특성을 나타내었다. GZO 박막의 경우 Ar 유량이 적었을 때 결정성이 높아지고, 전극 특성이 더 우수한 것을 확인할 수 있었다.

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Ar 및 $O_2$ 유량에 따라 스퍼터된 GZO 박막의 특성변화

  • Kim, Jong-Uk;Kim, Deok-Gyu;Kim, Hong-Bae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.230-230
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    • 2011
  • RF magnetron sputtering을 이용하여 Ar 및 $O_2$유량에 따라 GZO 박막을 유리기판 위에 제작하고 구조적, 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. 박막 증착 조건의 초기 압력은 $1.0{\times}10^{-6}$ Torr, RF 파워는 25W, 증착온도는 상온으로 고정하였으며 기판은 Corning 1737 유리 기판을 사용하였다. 공정 변수로 Ar 유량을 40 sccm, 60 sccm, 80 sccm, 100 sccm으로 변화시켰으며, $O_2$ 가스비율을 5~20%으로 변화를 주어 실험을 진행하였다. GZO 타겟은 ZnO,Ga 분말을 각각 97:3 wt.%로 소결된 타겟을 사용하였다. 유리기판 위에 증착된 모든 GZO 박막에서 (002) 면의 우선 배향성이 관찰되었고 평균 85% 이상의 투과율을 나타내었다. 산소유량이 포함되지 않고 Ar 유량이 적은 GZO 박막의 결정성은 향상되었고, 광학적 밴드갭은 증가하였다. Hall 측정 결과 산소의 유량이 포함되어 있는 박막에서는 모두 완전한 산화물에 가까운 화학양론적 조성으로 면저항이 $10^6{\Omega}/{\Box}$ 이상인 부도체 특성을 보였으며, 산소가 포함되지 않은 샘플에서는 투명전도막 특성이 확인되었다. 산소가 포함되지 않은 Ar 유량이 60 sccm일 때 전기비저항 $3.25{\times}10^{-3}{\Omega}cm$, 전하의 농도 $9.41{\times}10^{20}\;cm^{-3}$, 이동도 2.04 $cm^2V^{-1}s^{-1}$로 투명전도막으로 적합한 전기적 특성을 얻었다. GZO 박막의 경우 산소가 포함될 경우 결정성이 저하되고, 절연특성을 갖는 것을 확인할 수 있었다.

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Properties of Al-doped ZnO Transparent Conducting Oxide Films Deposited with Ar Flow Rate by RF Magnetron Sputtering (RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Al 도핑된 ZnO 투명 전도 산화막의 Ar 유량에 따른 특성)

  • Yi, I.H.;Kim, D.K.;Kim, H.B.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.19 no.3
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    • pp.206-210
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    • 2010
  • Al-doped ZnO thin films were deposited with various Ar flow rate by RF magnetron sputtering, and theire properties were studied. A high-quality thin film was obtained by controlling the Ar flow rate, and the influence of the Ar flow rate on the Al-doped ZnO thin film was confirmed. In all Al-doped ZnO thin films, light transmittance had above 80%. Through Hall measurement and X-ray photoelectron spectrometer, the sample of 60 sccm, which had the lowest resistivity, showed the lower Al concentration. This result was attributed to oxygen vacancy rather than Al concentration.

A Comparison of Univariate and Multivariate AR Models for Monthly River Flow Series (월유량에 대한 일변량 및 다변량 AR모형의 비교)

  • 이원환;심재현
    • Water for future
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    • v.23 no.1
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    • pp.99-107
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    • 1990
  • The statistical analysis based on the past hydrologic data required to set up the water resources development plan and design the hydraulic structres rationally. Because hydrologic events have random factors implied, the sotchastic analysis is necessary. In this paper, same order of stochastic models of monthly runoff data(multivariate AR(1) and AR(2) models, univariate AR(1) and AR(2) models) are applied to compare the statistical characteristics. The other purpose of this paper is to compare the monthly series, which is generated by univariate and multivariate models. By comparing and estimating of each simulated series, it is known that the multivariate models, including the time and spatial colinearity, are better in prediction than univariate models in the analysis of monthly flow at south Han river basin.

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A Synthetic Generation of Streamflows by ARMA(1, 1) Multiseason Model (ARMA(1, 1) 다계절모형에 의한 하천유량의 모의발생)

  • 윤용남;전시영
    • Water for future
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    • v.18 no.1
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    • pp.75-83
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    • 1985
  • The applicability of ARMA(1, 1) multiseason model, which is in the beginning stage of active researches in the field of synthetic generation is evaluated with the streamflow data at the Nakdong stage gauging station on the main stem of the Nakdong River. The method of parameter estimation for the modelis reviewed and the statistical analysis of the generated seasonal streamflows such as corrlogram analysis and the computation of moments is made. The results obtained by ARMA(1, 1) multiseason model are compared with the historical streamflow data and also with those by two other multiseason models, namely, Thomas-Fiering model and Matalas AR(1) multiseason model. The seasonal streamflows grnerated by three multiseason models were annually summed up to form respective annual flow series whose statistics were compared with those of the annual flow series generated by three annual models, namely, AR(1), Matalas AR(1), and ARMA(1, 1) annual models. The possibility of ARMA(1, 1) multiseason model for the simultaneous generation of seasonal and annual streamflows is also evaluated.

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A Multivariate Model Development For Stream Flow Generation (다변량 모형에 의한 하천유량의 모의 발생)

  • 정상만
    • Water for future
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    • v.24 no.4
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    • pp.67-72
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    • 1991
  • Various modeling approaches to study along term behavior of streamflow or groundwater storagge have been conducted. In this study, a Multivariate AR (1) Model has been applied to generate monthly flows of the one key station which has historical flows using monthly flows of the three subordinate stations. The Model performance was examined using statistical comparisons between the historical and generated monthly series such as mean, various, skewness. Also, the correlation coefficients(lag-zero, and lag-one)between the two monthly flows were compared. The results showed that the modeled generated flows were statistically similar to the historical flows.

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Hydrological impact of Atmospheric River landfall on the Korean Peninsula (Atmospheric River의 한반도 수문학적 영향에 대한 연구)

  • Han, Heechan;Choi, Changhyun;Moon, Heyjin;Jung, Jaewon;Lee, Choongke;Kim, Hung Soo
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.53 no.11
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    • pp.1039-1047
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    • 2020
  • Atmospheric rivers, which transport large amount of water vapor from mid-latitude to the inland, are an important driving force of water cycle and extreme hydrologic phenomenas. The main objective of this study is to analyze the hydrological impact of the AR landfalls on the Korean Peninsula in 2000 - 2015. The result showed that the AR is closely related to the characteristics of precipitation, water level and runoff in the Korean Peninsula. The landfalls of the AR affected about 57% of annual precipitation on the Korean Peninsula, and had a greatest impact on the summer rainfall. It also affected the water level and runoff at the five major rivers of Korea, and water levels exceeding the thresholds of flood warning were observed when the AR landed. Moreover, it was found that the runoff above the third quartile with AR landfalls. These results suggest that the AR not only has a significant influence on the hydrological characteristics of the Korean Peninsula, but also have a close relationship with the extreme hydrological events like floods. The results of this study are expected to be used as the reference for the analysis of the impact of the AR on the various fields in the Korean Peninsula.

RF Magnetron Sputtering으로 형성된 Ar Gas유량 변화에 따른 IGZO박막의 광학적 전기적 특성 연구

  • Wang, Hong-Rae;Hwang, Chang-Su;Kim, Hong-Bae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.128-128
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    • 2011
  • TTFT-LCD에 투명전극으로 사용되고 있는 IGZO 박막의 특성을 조사하기 위하여 RF magnetron sputtering을 이용하여 Ar Gas 유량 변화에 따른 IGZO 박막을 유리 기판 위에 제작하고 투명전극의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. 소결된 타겟으로는 In:Ga:ZnO를 각각 1 : 1 : 2 mol%의 조성비로 혼합하여 이용하였으며, 30mm${\times}$30 mm의 Corning1737 유리기판에 Sputtering 방식으로 증착 하였다. 장비 조건으로는 Rf power를 25 W로 고정 시켰으며, 실험변수로는 초기합력은 $2.0{\times}10^{-6}$ Torr 이하로 하였으며, 증착압력은 $9.0{\times}10^{-3}$ Torr로 하였다. Ar Gas를 30, 50, 70, 90 sccm으로 변화를 주어 실험을 진행하였다. 증착온도는 실온으로 고정하였다. 분석 결과로는 Ar Gas가 30 sccm일 때 AFM분석결과 0.3 nm 이하의 Roughness를 가졌으며, XRD분석결과 34$^{\circ}$ 부근에서 (002) c-축 방향성 구조임을 확인할수 있었다. UV-Visible-NIR 측정결과 가시광선 영역에서 80% 이상의 투과도를 만족 시켰으며, Hall 측정결과 Carrier concentration $2.7{\times}10^{19}\;cm^{-3}$, Mobility 8.4 $cm^2/v_{-s}$이며, Resistivity $8.86{\times}10^{-3}$, 투명전극으로 사용 가능함을 확인할 수 있었다.

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Effect of Ar Flow Ratio on the Characteristics of Al-Doped ZnO Grown by RF Magnetron Sputtering (마그네트론 스퍼터를 이용한 Ar 가스 유량 조절에 따른 AZO의 특성 변화)

  • Lee, Seung-Jin;Jeong, Young-Jin;Son, Chang-Sik
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.11a
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    • pp.61.2-61.2
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    • 2011
  • 본 연구에서는 박막 태양전지용 투명전극으로 사용하기 위해서 Gun-type RF 마그네트론 스퍼트링을 이용하였다. 챔퍼안의 타겟은 AZO타겟(Zn: 98[wt.%], Al:2[wt.%]을 장착하였고 공정압력은 고진공을 유지하였다. 온도는 $300^{\circ}C$로 고정하였고 전력은 70W로 고정하였다. $Ar^+$ 가스유량비를 20sccm~100sccm으로 변화를 주어 기판 위에 AZO를 증착하여 AZO의 구조적 및 광학적 특성의 의존성을 알아보았다. 모든 가스변화에서 400에서 700 nm까지의 가시광 영역에서의 AZO 박막의 평균 투과도는 약 85% 이상의 우수한 투과율을 보인다. AZO 박막 내의 결정 구조는 (002)면으로 우선 배향을 하는 wurtzite 구조를 가지며, $Ar^+$변화에 의해 두께가 증가하면서 결정립의 주상 (columnar) 성장이 향상되고 결정립의 크기도 증가한다. 이러한 경향성은 $Ar^+$변화에 의해 결정성이 향상된다는 것을 의미한다. 이와 같은 구조 및 광학 특성을 가지는 유리 기판 위에 증착된 AZO는 박막 태양전지용 투명 전극으로 응용이 가능할 것이다.

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A Study on Runoff and Pollutant Loading Prediction Using AR5 RCP4.5 Scenario in Nakdong River Watershed (AR5 RCP4.5 시나리오를 이용한 낙동강 유역에서의 유출 및 오염부하 전망)

  • Kim, Jung Min;Kim, Young Do;Kang, Busik;Park, Jin Hyeog
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2016.05a
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    • pp.111-111
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    • 2016
  • 최근 전 세계적으로 이상기후로 인해 극한 사상의 기후현상이 잦아지고 있으며 그로인한 피해가 확산되면서 관심이 높아지고 있다. 특히, 국내하천의 경우 높은 하상계수를 가지고 있는 만큼 수자원보전에 취약하고 수질의 문제 또한 대두되고 있다. 4대강 중 하나인 낙동강에는 8개의 보가 설치되었고 유역에 안동, 임하, 합천, 남강, 밀양댐 등 다기능댐이 있어 댐의 방류량이 낙동강의 유량에 큰 영향을 미치고 있다. 낙동강의 유량 및 수질을 관리하기 위해서는 이러한 현황들을 반영하여 유역관리를 포함한 통합적인 유량 및 수질관리가 필요하다. 본 연구에서는 IPCC에서 제공하는 AR5 RCP4.5 시나리오를 분위사상법(Quantile mapping)과 CF 다운스케일링 기법을 사용하여 유역에 맞게 상세화를 수행하였으며, 검 보정을 거친 SWAT 모형의 입력자료로 사용하여 낙동강 유역의 본류 및 지류의 미래 유출량 및 오염부하량을 예측하였다. 낙동강 유역에서의 미래기후변화 시나리오를 분석한 결과, 비홍수기에 32.3%, 홍수기에 31.1% 증가하는 것으로 나타났고, 2041 ~ 2070년도에 6%까지 증가하였다가 2071 ~ 2100년에 0.4% 감소하였다. 미래기후변화 시나리오를 SWAT 모형에 적용한 결과로는 주요 8개 지류에서 비슷한 패턴을 보였으며, 위천과 남강에서 각각 최대 45.5%, 16.6% 유출량이 증가하는 것으로 나타났다.

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