• 한국진공학회지
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• 제7권2호
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• pp.150-154
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• 1998

실리콘산화막에 실리콘이온주입을 $5\times1016/\textrm{cm}^2, 1\times10^{17}/\textrm{cm}^2, 3\times10^{17}/\textrm{cm}^2$으로 하여 열처리온도와 열처리시간을 변화시키면서 광루미니센스, XRD, TEM을 관찰하였다. 이온주 입량이 적고 열처리온도가 낮을경우에 가시광 광루미니센스를 관찰할 수 있었다. 광루미니 센스의 peak는 7420$\AA$과 8360$\AA$위치에 있었으며, 열처리시간이 길어짐에 따라 intensity는 각각 증가하였다. 이온주입량이 많고 열처리온도가 높을경우에는 광루미니센스가 관찰되지 않았다. 이온주입량이 적고 열처리 온도가 높을경우에는 열처리시간이 짧으면 가시광 광루 미니센스가 있으나 열처리시간이 1시간 이상으로 길어지면 광루미니센스가 사라졌다. XRD 와 TEM결과로부터 실리콘 cluster는 nonradiative defect와 관련있으며, 실리콘이온주입된 실리콘산화막에서 관찰되는 광루미니센스의 origin은 nanocrystal이 아니라 defect임을 알 수 있었다. 이온주입되는 실리콘이온의 량, 열처리온도와 시간의 변화는 광루미니센스를 변 화시키는데 이 현상들을 Si-O-O결합인 O위주의 결함과 Si-Si-O결합인 Si위주의 결함과 연 관지어 설명할 수 있었다.

• 한국자기학회지
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• 제25권2호
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• pp.47-51
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• 2015

이 연구에서는 DC스퍼터링(DC Magnetron Sputtering)방식으로 제작 된 MgO 터널 장벽층을 갖는 자기터널접합을 급속 열처리 방식(Rapid Thermal Annealing)을 이용하여 열처리 공정 중의 구조적, 조성적 변화 및 스핀 수송 특성의 변화를 연구하였다. 본 연구를 통하여 급속 열처리 방식이 기존 일반적인 열처리 방식에 비하여 높은 터널링자기저항비를 얻을 수 있다는 것을 발견하였다. 또한, 열처리 시간의 단축을 통하여 Mn, Ta, Ru 등의 내부물질의 인접한 층으로의 확산을 억제할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 유의미한 데이터를 수집하기 위하여 다양한 열처리 온도 조건과 시간조건에서 급속 열처리를 실시 한 후 자기 터널 접합의 전, 자기적 특성을 관찰하였다. 이러한 특성 변화는 향후 보다 우수하고 안정적인 자기적 특성과 열적 안정성을 갖는 자기터널접합 제작을 위해 다양하게 응용될 수 있다고 생각된다.

• 한국진공학회지
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• 제16권5호
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• pp.343-347
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• 2007

Glass disk상에 대향 타겟식 스퍼터링(Facing Target Sputtering) 방식을 이용하여 $0.1\;{\AA}/s$의 낮은 증착속도로 증착시킬 경우 b.c.c. (100)면 우선배향성을 확인하였으며, 그 위에 Pt박막을 증착시킨 경우 hetero-epitaxial 성장에 의해 Pt박막이(111)의 조밀면이 아닌 (100)면이 우선배향 되었다. 이렇게 형성된 Fe (100)/Pt (100) 이층막(두께 각 3 nm)을 $600\;^{\circ}C$ 수소분위기에서 열처리함에 의해 막전체에 걸쳐서 f.c.t. (00n)면을 형성시키는 데 성공하고, 또한 Fe (100)면 상에 Pt 박막을 증착시키는 동안 열처리를 하고 증착 이후 수소분위기에서 열처리함에 의해 열처리 시간 및 온도를 크게 낮출 수 있음을 확인하였다.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제4권4호
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• pp.322-326
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• 1972

상온에서 (NH$_4$)$_2$CrO$_4$를 원자로에 조사하고, 조사된 후 상온에서 보관된 시간과 $^{51}$ Cr의 잔류값을 반응속도론적으로 연구하였다. 또한 원자로 조사시간 변화에 따르는 $^{51}$ Cr의 잔류값을 반응속도론적으로 고찰하였으며 일차반응으로 표시 될 수 있었다.

• 동력기계공학회지
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• 제16권4호
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• pp.60-65
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• 2012

This study was carried out to investigate the effect of reverse transformation on the damping capacity in high manganese austenitic stainless steel. ${\alpha}^{\prime}$-martensite was formed with the specific direction and surface relief by deformation. Over 95% of the austenite phase was transformed to deformation-induced ${\alpha}^{\prime}$-martensite by 70% cold rolling. Reverse transformation became rapid above an annealing temperature of $550^{\circ}C$, but there was no significant transformation above $700^{\circ}C$. In addition, with increasing annealing time at $700^{\circ}C$, reverse transformation was induced rapidly, but the transformation was almost completed at 10 min. Damping capacity was increased up to $700^{\circ}C$, and than unchanged with the increasing annealing temperature. Damping capacity increased steeply with an increasing reverse treatment time up to 10min, whereas there were no significant change with a treatment time of more than 10 min. Damping capacity increased with an increasing the reversed austenite and was strongly affected by reversed austenite.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제29권2호
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• pp.95-100
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• 2016

We fabricated a tin sulfide (SnS) layer with Sn/Mo/glass layers followed by a RTP (rapid thermal processing), and studied the film growth and structural characteristics as a function of annealing temperature and time. The elemental sulfur (S) was cracked thermally and applied to form SnS polycrystalline film out of the Sn percursor at pre-determined pressures in the RTP tube. The sulfurization was done at the temperature from $200^{\circ}C$ to $500^{\circ}C$ for a time period of 10 to 40 min. At ${\leq}300^{\circ}C$, 20 min., p-type SnS thin films was grown and showed the best composition of at.% of [S]/[Sn] $${\sim_=}$$ 1 and [111] preferred orientation as investigated from using XRD (X-ray diffraction) analysis and EDS (energy dispersive spectroscopy) and SEM (scanning electron microscopy), and optical absorption by a UV-VIS spectrometer. In this paper, we report the details of growth characteristics of single phase SnS thin film as a function of annealing temperature and time associated with the pressure and ambient gas in the RTP tube.

• 대한금속재료학회지
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• 제50권6호
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• pp.413-418
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• 2012

This study was carried out to investigate the effect of reverse transformation on the mechanical properties in high manganese austenitic stainless steel. Over 95% of the austenite was transformed to deformation-induced martensite by 70% cold rolling. Reverse transformation became rapid above an annealing temperature of $550^{\circ}C$, but there was no significant transformation above $700^{\circ}C$. In addition, with an increasing annealing time at $700^{\circ}C$, reverse transformation was induced rapidly, but the transformation was almost completed at 10 min. There was a rapid decrese in strength and hardness with annealing at temperature above $550^{\circ}C$, while elongation increased rapidly above $600^{\circ}C$. At $700^{\circ}C$, hardness and strength decreased rapidly, and elongation increased steeply with an increasing reverse treatment time up to 10 min, whereas there were no significant change with a treatment time after 10 min. The reverse-transformed austenite showed an ultra-fine grain size less than $0.2{\mu}m$, which made it possible to strengthen the high manganese austenitic stainless steel.

• 융합정보논문지
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• 제11권8호
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• pp.207-211
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• 2021

이 논문은 단계 1에 기계 한 대, 단계 2에 2대의 병렬 기계가 있는 유연 흐름 생산 스케줄링 문제를 다룬다. 목적 함수는 평균 완료 시간을 최소화하는 것이다. 이 문제를 혼합 정수 2차 문제로 정식화하여 혼합 시뮬레이티드 어닐링을 이용하여 풀었다. 혼합 시뮬레이티드 어닐링은 유전자 알고리즘의 탐색 능력을 이용하고 시뮬레이티드 어닐링을 적용하여 너무 이른 수렴 현상을 줄이는 방법이다. 실험을 통하여 혼합 시뮬레이티드 어닐링의 성능을 평가하였다.

• Journal of Magnetics
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• 제11권1호
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• pp.36-42
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• 2006

In this report, we demonstrate a comprehensive analysis of the effects of Au addition on the microstructure and magnetic properties of $Fe_{73.5}Si_{13.5}B_{9}Nb_{3}Au_1$ Finemet-type alloy. It was found that the as-quenched alloys were the amorphous state and turned into nanocrystalline state under heat treatments. The DSC analysis indicates that the sharply exothermal peak corresponding to the crystallization of the $\alpha-Fe(Si)$ was observed at $547-579^{\circ}C$ depending on the heating rates, which is little higher than that of original Finemet (542-$570{^{\circ}C}$, respectively). Besides, the thermomagnetic result confirmed that the full substitution of Cu by Au with the single phase structure in the M(T) curve along cooling cycle. Ultrasoft magnetic properties of the nanocrystallized samples were significantly enhanced by the proper annealing such as the increase of permeability and the decrease of the coercivity. The optimum annealing condition was found at the annealing temperature of $540^{\circ}C$ and the increase of the annealing time up to 90 min.

• 한국재료학회지
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• 제13권3호
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• pp.174-179
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• 2003

Thin copper films were grown by electrodeposition on copper seed layers which were grown by sputtering of an ultra-pure copper target on tantalum nitride-coated silicon wafers and subsequently, cleaned in ECR plasma. The copper films were then subjected to ⅰ) vacuum annealing, ⅱ) rapid thermal annealing (RTA) and ⅲ) rapid thermal nitriding (RTN) at various temperatures over different periods of time. XRD, SEM, AFM and resistivity measurements were done to ascertain the optimum heat treatment condition for obtaining film with minimum resistivity, predominantly (111)-oriented and smoother surface morphology. The as-deposited film has a resistivity of ∼6.3 $\mu$$\Omega$-cm and a relatively small intensity ratio of (111) and (200) peaks. With heat treatment, the resistivity decreases and the (111) peak becomes dominant, along with improved smoothness of the copper film. The optimum condition (with a resistivity of 1.98 $\mu$$\Omega$-cm) is suggested as the rapid thermal nitriding at 400oC for 120 sec.