• 제목/요약/키워드: Alumina composition

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금속 CMP 공정에서 연마제와 슬러리 케미컬에 의한 passivation layer의 연마특성 (Polishing Characteristics of passivation layer by abrasive particles and slurry chemical in the Metal CMP process)

  • 박창준;서용진;이경진;정소영;김상용;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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    • pp.45-48
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    • 2003
  • The polishing mechanism of W-CMP process has been reported as the repeated process of passive layer formation by oxidizer and abrasion action by slurry abrasives. Thus, it is important to understand the effect of oxidizer on tungsten passivation layer in order to obtain higher removal rate (RR) and very low non-uniformity (NU%) during W-CMP process. In this paper, we investigated the effects of oxidizer on W-CMP process with three different kinds of oxidizers, such as $H_2O_2$, $Fe(NO_3)_3$, and $KIO_3$. In order to compare the removal rate and non-uniformity of three oxidizers, we used alumina-based slurry of pH 4. According to the CMP tests, three oxidizers showed different removal mechanism on tungsten surface. Also, the microstructures of surface layer by AFM image were greatly influenced by the slurry chemical, composition of oxidizers. The difference in removal rate and roughness of tungsten surface are believed to caused by modification in the mechanical behavior of $Al_2O_3$ abrasive particles in CMP slurry. Our stabilized slurries can be used a guideline and promising method for improved W-CMP process.

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슬래그 원료를 사용해서 제조된 유리섬유의 점탄성 특성 (Visco-Elastic Properties of Glass Fiber Manufactured by Slag Material)

  • 이지선;김선욱;라용호;이영진;임태영;황종희;전대우;김진호
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제32권6호
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    • pp.477-482
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    • 2019
  • This study investigated the influence of the viscoelastic property of slag when producing glass fiber, MFS631 with 60% of manganese slag, 30% of steel slag, and 10% of silica stone. To fabricate the MFS631 glass bulk, slag materials were placed in an alumina crucible, melted at $1,550^{\circ}C$ for 2 h, and then annealed at $600^{\circ}C$ for 2 h. It was found that glass is non-crystalline through X-ray diffraction analysis. MFS631 fiber was produced at speed in the range of 100~300 rpm at $1,150^{\circ}C$. The loss modulus (G") and storage modulus (G') of the produced glass fiber were evaluated at high temperatures. G' and G" of MFS631 were greater than $893^{\circ}C$, and the modulus value was 136,860 pa. This is similar to the results of a general E-glass fiber graph. Therefore, it was concluded that its spinnability is similar to that of E-glass fiber; therefore, it can be commercialized.

Ca(OH)2와 전구체의 화학 조성이 고속경화 지오폴리머의 물성에 미치는 영향 (Effects of Chemical Composition of Ca(OH)2 and Precursors on the Properties of Fast-Curing Geopolymers)

  • 고현석;노정영;임형미
    • 한국재료학회지
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    • 제29권11호
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    • pp.690-696
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    • 2019
  • Geopolymer is an alumina silicate-based ceramic material that has good heat-resistance and fire-resistance; it can be cured at room temperature, and thus its manufacturing process is simple. Geopolymer can be used as a reinforcement or floor finish for high-speed curing applications. In this manuscript, we investigate a high-speed curing geopolymer achieved by adding calcium to augment the curing rate. Metakaolin is used as the main raw material, and aqueous solutions of KOH and $K_2SiO_3$ are used as the activators. As a result of optimizing the high bending strength as a target factor for geopolymers with $SiO_2/Al_2O_3$ ratio of 4.1 ~ 4.8, the optimum ranges of the active agent are found to be $0.1{\leq}K_2O/SiO_2{\leq}0.4$ and $10{\leq}H_2O/K_2O{\leq}32.5$, and the optimum range of the curing accelerator is found to be $$0.82{\leq_-}Ca(OH)_2/Al_2O_3{\leq_-}2.87$$. The maximum flexural strength is found to be 1.35 MPa at $Ca(OH)_2/Al_2O_3=2.82$, $K_2O/SiO_2=0.3$, and $H_2O/K_2O=11.3$. The physical and thermal properties are analyzed to validate the applicability of these materials as industrial insulating parts or repairing finishing materials in construction.

고갈 가스전에서 CO2 주입성 및 저장성 향상을 위한 알루미나 나노입자의 분산 특성 연구 (A Study on Alumina Nanoparticle Dispersion for Improving Injectivity and Storativity of CO2 in Depleted Gas Reservoirs)

  • 조성학;송차영;이정환
    • 한국가스학회지
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    • 제27권1호
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    • pp.23-32
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    • 2023
  • 본 연구에서는 고갈된 가스전의 사암 저류층 또는 심부 대염수층 내 이산화탄소(CO2) 주입효율 및 저장용량 증진을 위한 주입 첨가제로써 Al2O3 나노유체를 합성하였다. 기반 유체로 탈이온수(deionized water, DIW)와 API Brine의 조성을 참고하여 제조한 염수를 사용하였으며, 양이온성 계면활성제인 CTAB (cetyltrimethyl-ammonium bromide)을 첨가한 Al2O3 나노유체를 이용하여 유체를 합성하였다. 육안관찰, 동적광산란광도계(dynamic light scattering, DLS), 전자투과현미경(transmission electron microscope, TEM), 혼화성 시험(miscibility test)의 방법을 활용한 유체의 분산 안정성 평가 결과, 나노입자 농도가 0.05 wt% 이하 조건에서 70,000 ppm의 염수와 반응 후에도 응집 및 침전되지 않는 안정한 유체를 합성할 수 있음을 확인하였다.

전남(全南)과 하동지역(河東地域)에서 산출(産出)하는 요업(窯業) 및 점토(粘土) 광물자원(鑛物資源)과 성인(成因)에 관(關)한 연구(硏究) (A Study on the Ceramic and Clay Mineral Resources and its Genesis in Cheonnam Province and Hadong Area)

  • 박홍봉;박배영;신상은;허민
    • 자원환경지질
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    • 제21권1호
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    • pp.1-15
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    • 1988
  • This is a study on the mineral compositions, SK numbers of refractoriness and the genesis of the clay mineral deposits in Cheonnam Province and Handong area. 1. Jindo kaolin deposits: Chief clay minerals of the deposits are kaolinite, quartz and alunite. The SK number of the ore is from $34^+$(the highest) to 27(the lowest). On the genesis of the deposits some geologists believe that the deposits were formed by the alteration of the siliceous tuff. But the deposits seems to be formed by the hydrothermal alteration of the rhyolite lava beds. This area is formed by alternative beds of tuff; and kaoline deposits. 2. Hadong area: Chief mineralogy of Hadong kaolin area is $10{\AA}$ halloysite and kaolinite. The SK number of some of the ore is up to $36^+$. The theoretic SK number of kaolinitic composition is 35. So one of the highest alumina minerals of gibbsite is formed in the ores of $36^+$ SK numbers. 3. Hampyong kaolin deposits: Most of kaolin has black color. The chief minerals are kaolinite, quartz and muscovite. Some of the kaoline contains rutile crystals. SK number ranges from 30 to 17. The kaolin deposit is formed by the transported sedimentation in lower part of the seashore. 4. Jangsan kaoline deposits: Chief minerals of the kaolin is kaolinite, quartz and muscovite. Some kaoline contains small crystals of pyrite. This area consists almost of the tuffs. Kaolin deposits also would be formed by the alteration of the tuffs. 5. Nohwado pyrophyllite deposits: Quartz and pyrophyllite are chief minerals. SK number of the ore ranges from 32 to 30. The pyrophyllite deposits would be formed by the hydrothermal alteration of the rhyolitic lava beds. This area consists of alterative beds of tuffs and rhyolitic lavas. 6. Songsuk pyrophyllite deposits: Chief minerals are quartz, kaolinite, pyrophyllite and iron oxides. In the pyrophyllite deposits egg-like inclusions of diaspore and kaolinite in composition. This area almost consists of tuffs. Several faults are developed and along the fault the tuff would begin to alter to pyrophyllite and some parts to diaspore and kaolinite nodules by the acts of hydrothermal solution.

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법랑질 표면의 탈회 및 재광화 후 EPMA (electron probe micro-analysis)를 이용한 칼슘, 인, 불소 변화의 정량적 분석 (A QUANTITATIVE STUDY OF THE CHANCE OF CALCIUM, PHOSPHATE, FLUORIDE USING EPMA AFTER IN VITRO DEMINERALIZATION AND REMINERALIZATION OF HUMAN TOOTH ENAMEL)

  • 홍경식;허복;이찬영;금기연
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제26권5호
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    • pp.372-378
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    • 2001
  • The aim of this in vitro study was to analyze the composition of human tooth enamel in terms of three components, Ca, P, and F after demineralization and remineralization in acid buffer solution. A total of 8 human premolars without any defects and cracks were selected and buccal and lingual sides of the teeth were cleaned with an ultrasonic device and pumice without fluoride 5$\times$5mm windows were opened, and other areas were completely covered with 3-coats of nail varnish to prevent from being in contact with demineralized and remineralized solutions. After demineralization process, each tooth was sectioned into two slices, highly polished one of them with$\gamma$-alumina, and then analyzed the composition of the demineralized tooth with EPMA(electron probe micro-analyzer). The other slices were put into the remineralized solution for 10 days, polished, and analyzed in the same manner. These data were statistically analyzed with one sample t-test(p<0.05). The results were as follows. 1. Normal tooth enamel consists of 49.76% Ca, 39.80% P, and 0.28% F. 2. After demineralization, percentage of Ca and P ratio were decreased by about 5.57 and 5.07% respectively. Percentage of F ratio was also decreased by about 0.01%, which was not statistically significant. 3. After remineralization, percentage of Ca, P increased about by 4.47 and 4.35% respectively Percentage of F decreased by about 0.01%, which was not statistically significant. In conclusion, remineralized solution used in our study has the potential to induce the uptake the Ca and P into the pore sites of the demineralized enamel. But, in the oral cavity. there were rapid temperature change, organic matrix that inhibits the movement of the ions, and limitation of continuous contact with this remineralized solution. Therefore, further in vivo study is necessary.

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대용량 에너지 저장시스템을 위한 나트륨 유황전지 (Sodium Sulfur Battery for Energy Storage System)

  • 김둘선;강성환;김준영;안주현;이창희;정기영;박윤철;김고운;조남웅
    • 전기화학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.111-122
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    • 2013
  • 나트륨 유황전지(NAS)는 대용량 에너지 저장시스템(energy storage system, ESS) 중 하나로서, 최근 풍력에너지, 태양에너지, 해양에너지 등 그린재생에너지의 사용증가로 ESS에 대한 수요가 급증함에 따라 NAS 전지에 대한 관심이 고조되고 있다. NAS 전지는 에너지 밀도가 높고(납 축전지밀도의 3배), 사이클 수명이 길고, 자가방전이 없어 대용량 전력저장 시스템에 적합하다. NAS 전지는 양극으로 황(Sulfur), 음극으로 나트륨(Na), 고체전해질 및 분리막으로 ${\beta}$"-알루미나($Al_2O_3$)로 구성되어 있고, 양극 활물질인 황은 부도체이기 때문에 도전재인 탄소섬유(carbon felt)에 함침시켜 양극으로 사용해야 함으로, 양극재 구성 및 특성은 전지성능에 상당한 영향을 미치게 된다. 따라서 본 논문에서는 NAS 전지의 구성, 다황화나트륨($Na_2S_x$, 방전생성물) 및 양극재의 특성, 전지 성능에 미치는 영향인자들에 대해서 알아보고자 한다.

잔적 및 붕적모재 토양의 점토광물 특성구명 (Clay Mineral Composition of the Soils Derived from Residuum and Colluvium)

  • 장용선;손연규;정석재;이계준;김명숙;김선관;이주영;편인환
    • 한국토양비료학회지
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    • 제39권5호
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    • pp.245-252
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    • 2006
  • 우리나라 토양의 분류체계를 보완하고 점토광물 조성과 분포를 파악하기 위하여 우리나라 390개 토양통 중 잔적 및 붕적토에서 유래된 26개 토양통을 대상으로 토양 층위별료 시료를 채취하여 집적층을(B층) 토양의 이화학적 특성, 토양 중 점토의 광물조성과 화학성분을 분석하였다. 잔적 및 붕적모재별로는 화강암과 화강편마암, 회장암에서 유래된 토양에서 kaolin과 quartz, 유문암, 3기층, 석영반암, 응회암에서 유래된 토양에서 quartz과 kaolin, 석회암, 혈암, 사암, 역암 등 퇴적암에서 유래된 토양에서 illite와 chlorite가 주요한 점토광물이었다. 토양통별 점토광물조성을 군집분석 (CA, cluster analysis)을 통하여 (1) illite, kaolin, vemiculite를 주광물로 하는 혼합점토광물군 (MIX), (2) kaolin을 주광물로 illite가 많은 kaolin군 (KA), (3) chlorite와 illite가 주광물인 chlorite군 (CH), (4) kaolin과 illite를 주광물로 smectite가 함유된 smectite군 (SM) 등 4개의 점토광물 조성군으로 구분하였다. 우리나라 토양의 대부분은 kaolin을 주광물로 하는 토양과 illite, kaolin, vemiculite가 함유된 토양이었으며, illite와 kaolin을 주광물로 하는 토양에서 CEC가 낮았고 vemiculite와 smectite가 함유된 점토에서 규반비가 높았다.

정수슬러지를 이용한 제올라이트의 합성 및 특성연구 (Synthesis and Characterization of Zeolite Using Water Treatment Sludge)

  • 고현진;고용식
    • 청정기술
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    • 제26권4호
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    • pp.263-269
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    • 2020
  • 정수슬러지를 이용하여 제올라이트(zeolite)를 수열합성하고, 제올라이트의 결정화에 대한 반응온도, 반응시간, Na2O/SiO2 몰비의 영향을 살펴보았다. 제조한 제올라이트의 결정구조, 물성 및 열적 특성은 각각 X-선 회절분석, FTIR, BET 질소흡착 및 TGA로 분석하였다. 제올라이트의 흡착성능을 조사하기 위해 암모니아성 질소, 중금속이온 및 TOC 제거효율을 측정하였다. 정수슬러지의 주성분은 Al2O3와 SiO2로서 각각 28.79%와 27.06%을 나타내었으며, 제올라이트 합성을 위한 실리카 및 알루미나 원료는 정수슬러지 이외에 어떠한 화학원료도 추가로 첨가하지 않고 합성을 진행하였다. 정수슬러지를 이용하여 제조한 제올라이트는 A형 제올라이트의 구조를 나타내었으며, 반응기질의 조성을 2.1Na2O-Al2O3-1.6SiO2-65H2O으로 하고, 반응온도 90 ℃, 반응시간 5시간, Na2O/SiO2 몰비가 1.3인 경우에 가장 높은 결정성을 나타내었다. 합성 제올라이트의 비표면적은 55 ㎡ g-1로서 상업용 제올라이트 A 보다 높게 나타났다. 합성 제올라이트의 암모니아성 질소(NH4+) 제거율은 3시간 반응한 경우 68%를 나타내었으며, 제올라이트의 Pb2+ 및 Cd2+ 이온에 대한 흡착실험 결과 제거율은 각각 99.1% 및 99.3%를 나타내었다. 이는 제올라이트의 격자 내에 존재하는 Na+ 이온과 Pb2+ 및 Cd2+ 이온 간의 원활한 이온교환이 이루어졌음을 나타낸다. 300 ppm 부식산 용액에 제올라이트의 첨가량을 변화시켜 3시간 동안 흡착실험을 수행한 결과 제올라이트 5 g을 첨가한 경우 TOC 제거율이 83%로서 가장 높게 나타났다.

K2O-MgO-Al2O3 3성분계에서 K+-β/β"-Al2O3의 합성 및 상관계 (Synthesis and Phase Relations of Potassium-Beta-Aluminas in the Ternary System K2O-MgO-Al2O3)

  • 함철환;임성기;이충기;유승을
    • 공업화학
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    • 제10권7호
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    • pp.1086-1091
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    • 1999
  • $K_2O-MgO-Al_2O_3$의 3성분계로부터 $K^+-{\beta}/{\beta}"-Al_2O_3$를 직접 고상반응법에 의하여 합성하였다. 합성시 초기조성, 합성온도, 합성시간 및 분쇄매체가 ${\beta}/{\beta}"-Al_2O_3$ 상형성 및 상관계에 미치는 영향에 대하여 분석하였으며 최대 분율의 ${\beta}"-Al_2O_3$ 상형성을 위한 최적 합성조건을 연구하였다. 조성범위로서 $K_2O$$Al_2O_3$상형성의 몰비를 1:5에서 1:6.2로, 안정화제로 사용된 MgO는 4.2 wt % 에서 6.3 wt % 사이에서 변화시켰으며 합성온도는 $1000^{\circ}C$에서 $1500^{\circ}C$까지 취하였다. ${\beta}/{\beta}"-Al_2O_3$상은 ${\alpha}-Al_2O_3$$KAlO_2$가 결합하는 $1000^{\circ}C$ 부근에서 형성되기 시작하여 점차 증가하다가 $1200^{\circ}C$ 부근에서 ${\alpha}-Al_2O_3$가 모두 사라지면서 균일화되었다. ${\beta}"-Al_2O_3$ 상분율은 $K_{1.67}Mg_{0.67}Al_{10.33}O_{17}$의 조성과 함께 $1300^{\circ}C$ 부근에서 최대값을 보였다. $1300^{\circ}C$ 이상의 합성 온도에서는 높은 potassium의 증기압에 따른 $K_2O$의 손실에 의하여 ${\beta}"-Al_2O_3$ 상분율이 감소하였으며 합성시간은 5시간 정도가 적당하였다. 분쇄 및 혼합을 위한 분산매체로는 증류수보다는 아세톤의 효과가 뛰어났다.

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