Burke-Schumann analysis of silica formation by hydrolysis in an external chemical vapor deposition process (외부 화학증착 공정에서의 가수분해반응으로 인한 실리카 생성에 대한 버크-슈만 해석)
-
- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
- /
- v.20 no.5
- /
- pp.1671-1678
- /
- 1996