현재 일반적으로 사용되는 Time Domain Sampling(아래 TDS) 방식의 SAW Device는 빠른 Data 처리를 할 수 있지만 그만큼의 빠른 sampling 속도를 요구하기 때문에 고속의 AD 컨버터가 필요하다. 이 고속의 AD 컨버터는 고가의 장비로 Device 제작에 부담이 되는 실정이다. 반면에 Frequency Domain Sampling(아래 FDS) 방식으로 구현된 SAW Device는 고속의 sampling을 요구하지 않기 때문에 고가의 고속 AD 컨버터가 필요하지 않다. 이렇게 느린 sampling 속도는 상대적으로 고속의 processing을 요구하게 되는데 이는 저가의 Embedded System만으로도 구현이 가능하기 때문에 가격대비 성능에서 효율이 훨씬 높다고 할 수 있다. 그럼에도 FDS 방식의 SAW sensor를 제작하는 것이 까다롭기 때문에 현재 구현된 FDS 방식의 SAW Device는 매우 드문 실정이다. 본 연구에서는 이 문제를 해결하기 위해 기존의 TDS용 SAW sensor를 그대로 이용한 FDS 방식의 SAW Device에 대해 설계 및 구현한다.
현재 일반적으로 사용되는 Time Domain Sampling(아래 TDS) 방식의 SAW Device는 빠른 Data 처리를 할 수 있지만 그만큼의 빠른 sampling 속도를 요구하기 때문에 고속의 AD 컨버터가 필요하다. 이 고속의 AD 컨버터는 고가의 장비로 Device 제작에 부담이 되는 실정이다. 반면에 Frequency Domain Sampling(아래 FDS) 방식으로 구현된 SAW Device는 고속의 sampling을 요구하지 않기 때문에 고가의 고속 AD 컨버터가 필요하지 않다. 이렇게 느린 sampling 속도는 상대적으로 고속의 processing을 요구하게 되는데 이는 저가의 Embedded System만으로도 구현이 가능하기 때문에 가격대비 성능에서 효율이 훨씬 높다고 할 수 있다. 그럼에도 FDS 방식의 SAW sensor를 제작하는 것이 까다롭기 때문에 현재 구현된 FDS 방식의 SAW Device는 매우 드문 실정이다. 본 연구에서는 이 문제를 해결하기 위해 기존의 TDS용 SAW sensor를 그대로 이용한 FDS 방식의 SAW Device에 대해 설계 및 구현한다.
The background of this study lies in he investigation of the formation mechanism of ductile mode(nkanometer-size) chips of brittle materials such as fine ceramics glass and silicon. As the first step to achieve this purpose this paper intends to observe the micro-deformation behavior of these materials in sub${\mu}{\textrm}{m}$ depth indentation tests using a diamond indentor. In this study it was developed Ultra-Micro Indentation. Device using the PZT actuator. Experimentally by using the Ultra-Micro Indentation device the micro fracture behavior of the silicon wafer was investigated. It was possible that ductile-brittle transition point in ultimate surface of brittle material can be detected by adding an acoustic emission sensor system to the Ultra-Micro Indentation appartus.
In this paper, we studied a ZnO-based film bulk acoustic resonator (FBAR) device fabricated on a specially designed multi-layerd Bragg reflector part. Very thin chromium adhesion layers (0,03um thick) were additionally deposited to improve the quality of the Bragg reflector and some thermal treatments were performed to improve the resonant characteristics of the device. At the operating frequency of ${\sim}2.7GHz$, excellent resonant characteristics were observed in terms of return loss and quality factor, and effective electromechanical coupling coefficient. These findings are expected to be highly promising and effective for improving the performance of the FBAR devices at high frequency.
High precision sensing is very important in various technologies. Especially, it is more important when it were applied to nano/micro meter level's sensing like AFM, storage, etc. And capacitive sensing is widely used method. To improve the measurement efficiency, many signal conditioners were studied and one of them was surface acoustic wave (SAW) device. SAW device is very widely used as a high frequency bandwidth filter. Due to the reflective characteristic of high frequency, the response of SAW device contains both propagative and reflective signal at the external impedance. In this paper, we used SAW device as signal conditioner of capacitive sensor. And high precision gap measurement was executed using capacitive load. Reference signal was reflective SAW response and the magnitude at the center frequency of SAW device by the change of impedance was checked. Finally, the attainable gap resolution was determined.
In this work, we discuss simulation of surface acoustic wave device using Comsol Multiphysics. The structure SAW device based on piezoelectric thin film aluminum-nitride (AlN) on silicon was simulated. Some parameters of SAW device such as surface velocity, displacement of piezoelectric thin film were evaluated by software. Many modes and shapes of wave are also discussed in this paper. For evaluation physical parameters of AlN piezoelectric layer, the SAW resonator was modeled and simulation results were also compared with experiment results. we simulated arid evaluated the surface Rayleigh wave of AlN thin film on silicon substrate. Results simulation and experiment showed the surface velocity of AlN thin film was about 5200 m/s and shape of surface wave was also displayed. This paper has also proposed as method to study SAW characteristic of piezoelectric thin film and found out measurement values accurately of film such as stiffness matrix, piezoelectric matrix. These values are very important in calculation and design SAW device or MEMS device based on AlN piezoelectric layer.
액체로켓엔진에서 발생하는 고주파 연소 불안정 제어를 위한 수동 안정화 제어 기구로 음향공을 적용하여, 선형 음향 해석 및 상온 음향 실험을 통해 감쇠 효과의 적합성을 검증하였다. 단일 음향공의 기하학적 형상에 따른 음향 감쇠 효과를 비교하기 위하여 오리피스 직경, 길이를 변화시킨 몇 가지 음향공 모델에 대해 유해 공진주파수 감쇠 효과를 정량적으로 비교, 분석하였다. 다음으로 음향공의 개수에 따른 음향 감쇠 효과를 비교하였다. 주파수 응답함수를 통한 유해주파수 감쇠 성능은 개수 증가에 따라서 우수해졌지만 흡음계수를 통한 최적의 효율 관점에서 볼 때 오히려 과도한 댐핑으로 인한 해당 주파수의 감쇠 효율이 낮아지는 경향이 발생한다. 결론적으로 음향공을 이용한 제어를 위해서는 유해주파수를 감쇠시킬 수 있는 기하학적 형상을 통한 정확한 동조가 필요하다. 또한, 부피의 제약을 고려한 최적의 효율을 발휘할 수 있는 음향공의 형상 설계와 개수의 선택이 절대적으로 필요함을 입증한다.
Egg grading is determined by exterior and interior quality. Among the evaluation methods for the egg quality, a candling method is common to identify eggs with cracked shells and interior defects. But this method is time-consuming and laborious. In addition, practically, it is challenging to detect hairline and micro cracks. In this study, an on-line inspection system based on acoustic resonance frequency analysis was developed to detect hairline cracks on eggshells. A roller conveyor was used to transfer eggs along one lane to the impact position where each of eggs rotated by the roller was excited with an impact device at four different locations on the eggshell equator. The impact device was consisted of a plastic hammer and a rotary solenoid. The acoustic response of the egg to the impact was measured with a small condenser microphone at the same position as the impact device was installed. Two acoustic parameters, correlation coefficient for normalized power spectra and standard deviation of peak resonant frequencies, were used to detect cracked eggs. Intact eggs showed relatively high correlations among the four normalized power spectra and low standard deviations of the four peak resonant frequencies. On the other hand, cracked eggs showed low correlations and high standard deviations as compared to the intact. This method allowed a crack detection rate of 97.6%.
In this study, the acoustic transducer of a thin circular disc-type with PZT/Metal was manufactured. The piezoelectric transducer with 200kHz resonance frequency was designed by considering the sharp directivity and the sound pressure. The dielectric and piezoelectric properties of 0.5 weight percent $MnO_2$ and NiO doped $0.1Pb(Mg_{1/3}Nb_{2/3})O_3-0.45PbTiO_3-0.42PbZrO_3$ ceramics were investigated aiming at acoustic transducer applications. Also, the acoustic characteristics of a thin circular disc-type with metal-piezoceramics have been Investigated.
Surface acoustic wave(SAW) device is used for transporting and patterning micro-scale particles such as cells. In this research, velocity of particles was investigated moved by SAW device with two types of interdigital electrode transducers(IDTs) under various conditions. SAW devices which have single IDTs and double IDTs were designed and fabricated. On the previous studies, resultant velocities of particles were predicted considering output power and power ratio between IDTs-shape. For more accurate prediction, power loss in SAW device and a power difference between two types of IDTs-shape were considered. Maximum error between the test results and predicted values was 5 % so the power loss must be considered in the velocity prediction of the particles.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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