Fabrication and Characterization of 32x32 Silicon Cantilever Array using MEMS Process (MEMS 공정을 이용한 32x32 실리콘 캔틸레버 어레이 제작 및 특성 평가)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.19 no.10
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- pp.894-900
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- 2006