• Title/Summary/Keyword: 50nm

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Hexagonal Boron Nitride Monolayer Growth without Aminoborane Nanoparticles by Chemical Vapor Deposition

  • Han, Jaehyu;Yeo, Jong-Souk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.409-409
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    • 2014
  • Recently hexagonal boron nitride (h-BN), III-V compound of boron and nitrogen with strong covalent $sp^2$ bond, is a 2 dimensional insulating material with a large direct band gap up to 6 eV. Its outstanding properties such as strong mechanical strength, high thermal conductivity, and chemical stability have been reported to be similar or superior to graphene. Because of these excellent properties, h-BN can potentially be used for variety of applications such as dielectric layer, deep UV optoelectronic device, and protective transparent substrate. Ultra flat and charge impurity-free surface of h-BN is also an ideal substrate to maintain electrical properties of 2 dimensional materials such as graphene. To synthesize a single or a few layered h-BN, chemical vapor deposition method (CVD) has been widely used by using an ammonia borane as a precursor. Ammonia borane decomposes into hydrogen (gas), monomeric aminoborane (solid), and borazine (gas) that is used for growing h-BN layer. However, very active monomeric aminoborane forms polymeric aminoborane nanoparticles that are white non-crystalline BN nanoparticles of 50~100 nm in diameter. The presence of these BN nanoparticles following the synthesis has been hampering the implementation of h-BN to various applications. Therefore, it is quite important to grow a clean and high quality h-BN layer free of BN particles without having to introduce complicated process steps. We have demonstrated a synthesis of a high quality h-BN monolayer free of BN nanoparticles in wafer-scale size of $7{\times}7cm^2$ by using CVD method incorporating a simple filter system. The measured results have shown that the filter can effectively remove BN nanoparticles by restricting them from reaching to Cu substrate. Layer thickness of about 0.48 nm measured by AFM, a Raman shift of $1,371{\sim}1,372cm^{-1}$ measured by micro Raman spectroscopy along with optical band gap of 6.06 eV estimated from UV-Vis Spectrophotometer confirm the formation of monolayer h-BN. Quantitative XPS analysis for the ratio of boron and nitrogen and CS-corrected HRTEM image of atomic resolution hexagonal lattices indicate a high quality stoichiometric h-BN. The method presented here provides a promising technique for the synthesis of high quality monolayer h-BN free of BN nanoparticles.

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커패시터에의 적용을 위해 PET 필름에 스퍼터 증착한 ZrO2 박막의 특성

  • Gwon, Neung;Fei, Chen;Ryu, Han;Park, Sang-Sik
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.389.1-389.1
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    • 2014
  • 최근의 환경 및 에너지에 대한 관심으로 수요가 증가하고 있는 하이브리드 및 전기 자동차나 태양광발전, 풍력발전용의 인버터기기에는 고에너지밀도 커패시터가 필수적이 되었다. 높은 에너지 밀도를 요구하는 전력전자, 펄스파워 등의 응용분야에 사용되는 고에너지밀도 커패시터는 PET (Polyethylene terephtalate)와 PP (Polypropylene)와 같은 폴리머 유전체를 사용하는 범용 필름 커패시터가 사용되었으나 사용 요구 조건의 한계에 도달하여, 새로운 유전체를 적용하는 커패시터가 절실히 필요한 상황이다. PET와 PP와 같은 유전체는 유전상수가 2~3의 낮은 값을 가지고 있어 고에너지밀도를 구현하기가 어렵다. 본 연구에서는 새롭게 요구되고 있는 고에너지 밀도 커패시터의의 성능을 만족시키기 위하여 $20{\sim}50{\mu}m$ 두께의 PET 필름상에 세라믹 유전체인 $ZrO_2$ 박막을 스퍼터(Sputter) 증착법에 의해 코팅하여 종래의 필름 커패시터와 세라믹 커패시터의 장점을 갖는 커패시터를 제조하기 위한 박막 유전재료의 개발을 목표로 하였다. 수백 nm~수 ${\mu}m$ 두께의 $ZrO_2$ 박막을 스퍼터링 공정조건에 따라 증착한 후 박막의 결정성, 기판과의 부착성, 증착속도, 유전상수, 절연파괴강도, 온도안정성 등을 XRD, SEM, AFM, EDS, XPS, Impedance analyzer 등에 의해 평가하였다. $ZrO_2$ 유전체막은 상온에서 증착하였음에도 정방정(tetragonal)구조의 결정질로 성장하였고 증착압력이 증가함에 따라 주피크의 세기가 감소하였다. 증착 중 산소가스를 주입하였을 경우에도 결정질막으로 성장하였다. 증착막들은 산소가스의 양이 증가함에 따라 짙은 흰색으로 변하였으며 PET 기판과의 접착력도 약해졌다. 또한 거칠기는 Ar가스만으로 증착한 경우보다 증가하였으며 24~66 nm의 평균 거칠기값을 보였다. PET위에 Ar가스만으로 증착한 $ZrO_2$의 비유전율은 1kHz에서 116~87의 비유전율을 보여 PET에 비해 매우 우수한 특성을 보였다. $ZrO_2$ 막들은 300kV/cm의 전계에서 대략 10-8A 이하의 누설전류를 보였다. 증착가스비를 달리하여 제조된 시편에서도 유사한 누설전류값을 나타내었다. 300 kV/cm 전후의 전계까지 측정한 $ZrO_2$ 막의 P-E (polarization-electric field) 특성을 확인하였는데, 5 mTorr의 압력에서 증착한 막은 253 kV/cm에서 $5.5{\mu}C/cm^2$의 분극값을 보였다. P-E커브의 기울기와 분극량에 따라 에너지밀도가 달라지므로 공정조건에 따라 에너지밀도가 변화됨을 예측할 수 있었다. PET위에 스퍼터 증착한 $ZrO_2$ 유전체막은 5mTorr의 Ar가스분위기에서 제조할 때 가장 안정적인 구조를 보였으며, 고에너지밀도 커패시터에의 적용가능성을 보였다.

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Phosphate Adsorption of Kaolinite KGa-1b (Source Clay) (카올리나이트 KGa-1b(표준 점토)의 인산염 흡착 특성)

  • Cho, Hyen-Goo;Johnston Cliff T.;Gnanasiri S. Premachandra G.S.
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.19 no.4 s.50
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    • pp.247-258
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    • 2006
  • The characteristics of phosphate adsorption on kaolinite was studied by batch adsorption experiments. The phosphorous contents was measured using UV spectrometer with 820 nm wavelength. The experiment with changing reaction time revealed that fast P adsorption occurred within $0{\sim}12$ hour, whereas slow adsorption reaction began after 12 hour. The adsorption percentage depended on kaolinite amount in phosphate solution. Rotary-shaker enhanced the adsorption percentage up to $11{\sim}15%$. The phosphorous adsorption appears to be insensitive to change in the ionic strength of KCl between 0.01 M and 0.1 M. From this result, we can conclude that phosphate was adsorbed on kaolinite as inner-sphere complexes. However, the ionic strength increased to 1.0 M, adsorption decreased. It suggests that phosphate may be adsorbed as outer-sphere complexes. Phosphate adsorption decreased with increasing pH value, but it is not distinct. The adsorption isotherms were well fitted with the Langmuir equation.

Antioxidant Activities and Monacolin K Production on Solid-State Fermentation of Diverse Yam by Aspergillus Species Strain (Aspergillus 속 균주를 이용한 마 품종별 고체발효시 Monacolin K 생산과 항산화 활성)

  • Lee, Joon-Geol
    • Korean Journal of Microbiology
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    • v.50 no.1
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    • pp.53-59
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    • 2014
  • This study was conducted to investigate the characteristics between non-fermented chinese yam and rice (non-FCYR) and fermented chinese yam and rice (FCYR). 1.1-diphenyl-2-picrylhydrazyl (DPPH) radical scavenging activity, total polyphenol, flavonoid contents and reducing power were investigated to evaluate the anti-oxidation activities of FCYR. Also, productivity of monacolin K, major medicinal ingredient of FCYR, was investigated, using Aspergillus terreus KCCM 12225. In case of non-FCYR, DPPH radical scavenging activities for three kinds of yam (Dioscorea japonica, Dioscorea batatas, Dioscorea opposita) and rice were estimated about 51.8, 66.4, 42.2 and 7.5%, while in case of FCYR, those for three kinds of yam and rice were estimated to increased about 64.7, 74.7, 52.8, and 32.3%, respectively. Total polyphenol contents of non-FCYR were estimated to 196.9, 265.7, 160.1, and 91.6 mg/kg, while total polyphenol contents of FCYR were estimated to increase about 530.7, 708.3, 427.2, and 265.9 mg/kg, respectively. Total flavonoid contents of FCYR increased to 2.8-3.3 times higher than those of non-FCYR. Reducing power of non-FCYR was about 0.97, 1.28, 0.64, and 0.17 (OD at 700 nm), while, that of FCYR increased about 1.75, 2.38, 1.24, and 0.46. Remakable increase in monacolin K productivity of FCYR was observed. Monacolin K productivity of FCYR was estimated to 467.1, 514.8, 339.2, and 272.5 mg/kg, respectively. In this study, fermented chinese yam (Dioscorea batatas) was estimated to be effective biological activity material.

아크 이온플레이팅법으로 증착된 CrN계 박막의 특성 및 내마모성에 대한 연구

  • 백운승;여현동;박신민;채병규;김규호;권식철
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.37-37
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    • 1999
  • Cr-N 계 박막은 경도가 높고 치밀한 층을 형성할 수 있으므로 현재 금형과 기계류 핵심부품의 내마모 및 내식성 향상을 위한 대표적인 물질로 많은 주목을 받고 있다. 본 연구에서는 아크 이온플레이팅 장비를 이용하여 질소분압, 바이어스 전원 등의 변화에 따른 Cr-N계 박막의 결정성 및 표면상태, 증착율, 그리고 내마모성을 조사하였다. Cr-N 계 박막을 증착하기 위해서 사용한 시편은 $20MM{\phi}{\times}4mmt$ 크기의 고속도 공구강 디스크이었으며, Trichloroethylene에서 5분간 초음파 세척을 한 후 건조하여 진공용기 내에 장착하였다. 박막을 증착하기전 시편의 표면을 깨끗하게 하기 위해서 Ar 이온 충격으로 플라즈마 전처리를 하였다. 증착된 Cr-N 계 박막의 두께는 CALOTEST와 XRF 두께 측정기를 이용하여 측정하였으며, 박막의 결정성과 내마모성은 X-선 회절분석기와 tribometer로 관찰하였다. 아크 전류를 변화시키면서 증착한 Cr-N 박막의 경우 층작율은 아크 전류가 50A에서 80A로 증가함에 따라 45nm/min에서 87nm/min으로 증가하였다. 그리고 바이어스 펄스의 duty-on 시간과 주파수가 증가할수도록 박막의 증착율은 감소함을 알 수 있었다. Duty-on 시간과 주파수의 증가는 기판에 오랫동안 이온의 충격을 가하므로서 상대적으로 가벼운 질소이온이 크롬과 결합하는 것을 방해하여 박막의 증착율이 감소할 것이다. 기판에 인가하는 바이어스 펄스의 duty-on 시간을 변화시키면서 증착한 Cr-N 박막에 대한 X-선 회절상을 조사한 결과 duty-on 시간이 20%인 경우에는 Crn(111), CrN(200)와 Crn(220) 피크 들만 나타나 입방정의 CrN 박막이 형성되었으며, duty-on 시간의 증가에 따라 $Cr_2N$ 상의 형성이 점점 많아져 80% duty-on 시간 경우에는 거의 CrN과 $Cr_2N$ 상이 공존하는 것으로 나타났다. 또한 duty-on 시간이 증가할수록 회절피크의 세기가 증가하여 결정화가 더 많이 진행되어짐을 알 수 있었다. 마찬가지로 바이어스 펄스이 주파수에 다른 결정성의 변화도 펄스의 주파수가 증가할수록 박막이 결정성이 좋아지고 $Cr_2N$ 상이 쉽게 형성되었다. 증착 진공도에 따른 결정성은 상대적으로 질소의 농도가 높은 낮은 진공도에서는 CrN 상이 주로 형성되었으며, 반대로 높은 진공도에서는 $Cr_2N$ 상이 많이 만들어졌다. 즉 $1.3{\times}10^{-2}Torr$의 증착 진공도에서는 CrN 상만이 보이는 반면 $9.0{\tiems}1-^{-2}Torr$ 진공도에서부터 $Cr_2N$ 상이 형성되기 시작하여 $5.0{\tiems}10^{-2}Torr$ 진공도에서는 두개의 상이 혼재되어 있음을 알 수 있었다. 박막의 내마모성을 조사한 결과 CrN 박막의 마찰 계수는 초기에 급격하게 증가한 후 0.5에서 0.6 사이의 값으로 큰 변화를 보이지 않았으며, $Cr_2N$ 박막도 비슷한 거동을 보였다.

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Studies on antimicrobial agent produced by lactobacillus acidophilus (Lactobacillus acidophilus가 생산한 항균물질(抗菌物質)에 관한 연구(硏究))

  • Kim, Dong-shin
    • Korean Journal of Veterinary Research
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    • v.24 no.2
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    • pp.149-162
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    • 1984
  • The research was conducted(1) to confirm the agent(s) responsible for the antimicrobial activity contained in the fermented tomato juice with L. acidophilus(2) to extract and purify the antimicrobial agent(s)(3) to find the biological, physical and chemical properties of the agent(s). The following results were obtained and summarized as followings; 1. The agent responsible for the inhibitory activity was confirmed by both well assay method using fermented tomato juice with L. acidophilus and turbidimetric technique using the cell-free filtrate or neutralized filtrate of tomato acidohilus culture and found exerted antimicrobial agent other than lactic acid. 2. The procedures of purification : The isolation and purification of antimicrobial agent from the lyophilized acidophilus tomato culture were carried out by (1) methanol extraction (2) acetone extraction, (3) Sephadex G-50 gel filtration (4) paper chromatography and (5) thin layer chromatography. 3. The biological, physical and chemical properties of antimicrobial agent: The biological, physical, chemical properties of the purified antimicrobial agent were: (1) The antimicrobial activity was strong against test organisms; Bacillus subtilis(ATCC 6633), Escheichia coli(ATCC 25922), Staphylococcus aureus(ATCC 167), Pseudomonas fluorescens(KFCC 32394), Proteus vulgaris and Shigella dysenteriae. (2) The pH value of the agent was 2.0 and the inhibitory activity was lost when it was neutralized at 7.0 of pH and the agent was heat stable at $121^{\circ}C$ for 60 minutes. (3) The ultraviolet light absorption spectra of methanol-acetone extract and TLC fraction exhibited a maximum absorption at 260nm and 224nm respectively. (4) The most purified agent from TLC plate increased about 130-fold in activity. (5) The agent isolated from TLC plate was free from $H_2O_2$ or lactic acid. 4. Bioautographic assy: By means of bioautography of the agent on silica gel of TLC plate a strong inhibitory activity against B. subtilis was demonstrated. 5. Mass spectrometry: The agent obtained from TLC plate was analyzed by mass spectrometry which show the parent peak at m/e 264 suggesting the molecular weight of the compound and molecular group such as [$C_2H{^+}_4$], [CO], [CH=NH], [$C_3{H^}4_7$], [$\begin{array}{rcl}O\\{\parallel}\\CH_3-C\\\end{array}$], [$C_6-H{^+}_{11}$], [$C_5H{^+}_{11}$], [$\begin{array}{rcl}O\\{\parallel}\\C_5H_7-C^+\\\end{array}$] were suggested.

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SF6/O2 가스를 이용한 다결정 실리콘 웨이퍼 RIE Texturing이 제작된 태양전지 동작특성에 미치는 영향

  • Park, Gwang-Muk;Lee, Myeong-Bok;Jeong, Ji-Hui;Bae, So-Ik;Choe, Si-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.395-396
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    • 2011
  • 본 논문에서는 30% 내외의 평균반사율을 가지는 다결정 실리콘 태양전지의 입사광 손실을 최소화하여 광전변환효율 극대화를 구현하기 위해서 SF6/O2 혼합가스를 이용한 RIE 표면 texturing 공정을 수행하였다. 현재 다결정 실리콘 태양전지는 다양한 방향의 grain을 가지기 때문에 단결정 실리콘에 적용되는 습식 식각 방식이 다결정 실리콘 표면 texturing에 적절하지 않은 것으로 알려져 있다. 이를 개선하기 위해서 이방성 식각 특성을 가지는 다양한 texturing 방법이 시도되고 있다. 대표적으로 기계적인 방식의 V-grooving, 레이저 grooving, 플라즈마 건식식각을 이용한 texturing 및 산 용액을 이용한 texturing 등의 연구가 보고되고 있다. 그 중에서 플라즈마 건식식각 방식의 하나인 RIE를 이용한 표면 texturing 공정이 간단한 공정과 산업계 응용의 용이성 때문에 활발히 연구되어 왔다. 특히 Sandia group과 일본 Kyocera사의 연구 결과에서는 그 가능성을 입증하고 있다. 본 연구에서는 공정의 단순화와 안전한 공정을 위해서 SF6/O2 혼합 가스를 이용하여 마스크 패턴 공정없이 RIE texturing 공정을 수행하였으며, RIE-textured 다결정 실리콘에 대해서 태양전지를 제작하여 표면 texturing이 광전변환효율에 미치는 영향에 대해서 분석하였다. 그 결과 SF6/O2 혼합 가스를 이용한 RIE texturing은 다결정 실리콘 표면에 주로 needle 구조를 형성하는 것을 확인하였다. 각 texturing 조건별 반사율의 차이는 needle 구조의 조밀도와 관련되는 것을 알 수 있었으며, 동일 공정 parameter 상에서 식각 시간 1, 2, 3, 4, 5분 기준 시간에 따른 표면 구조 분석 결과 seed 가 형성되고 그에 따라서 needle 형태로 식각되는 과정을 관찰하였다. 반사율은 분당 약 4%씩 낮아져 5분 식각 후 14.45% 까지 낮아졌으며, 표면 구조에서 폭은 약 30 nm로 모두 일정하며, 길이가 약 20, 30, 50, 80, 100 nm으로 증가되었다. 이 결과로 보아 seed로부터 needle 구조가 심화되어가는 것을 알 수 있었다. 시간에 따른 RIE texturing 후 제작된 태양전지는 효율이 1분 식각 기준 15.92%에서 약 0.35% 씩 낮아져 5분 식각 후 14.4%로 낮아졌다. Voc 는 texturing 시간에 관계없이 일정하며 Isc가 점점 감소되는 것으로 확인되었다. EQE 결과도 이와 동일하게 RIE texturing 시간이 길어질수록 전체 파장 범위에서 일정하게 낮아지는 것이 관찰되었다. Electroluminescence(EL) 이미지 결과 texturing 시간이 길어진 태양전지일수록 점점 어두운 이미지가 나타나 5분 식각의 경우 가장 어두운 결과를 나타내었다. 이런 결과는 한 가지 이유보다는 복합적인 문제로 예상되는데 궁극적으로는 RIE 공정 후 표면에 쌓인 charged particle들이 trap 준위를 형성하여 효율 및 공정상에 영향을 미친 것으로 보이며, 특히 잔류 O기가 불균일한 산화막을 형성하는 것으로 예상된다. 또한 EL 분석 결과를 볼 때 RIE texturing 공정이 길어질수록 불안정한 pn-junction을 형성하는 것을 확인하였으며, emitter 층 형성 후 PSG (phosphorous silica glass) 공정에서 needle의 상부 구조가 무너지면서 면저항이 증가된 결과로 분석된다. PSG 제거 후 측정된 면저항의 경우 3분 texturing 샘플부터 면저항이 약 4${\Omega}/sq$ 정도 증가됨을 확인하였다.

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Silver nanowires and nanodendrites synthesized by plasma discharge in solution for the catalytic oxygen reduction in alkaline media

  • Kim, Hoe-Geun;Song, Myeon-Gyu;Kim, Dong-U;Lee, Sang-Yul
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.62-62
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    • 2018
  • Pt is still considered as one of the most active electrocatalysts for ORR in alkaline fuel cells. However, the high cost and scarcity of Pt hamper the widespread commercialization of fuel cells. As a strong candidate for the replacement of Pt catalyst, silver (Ag) has been extensively studied due to its high activity, abundance, and low cost. Ag is more stable than Pt in the pH range of 8~14 as the equilibrium potential of Ag/Ag+ being ${\approx}200mV$ higher than that of Pt/PtO. However, Ag is the overall catalytic activity of Ag for oxygen reduction reaction(ORR) is still not comparable to Pt catalyst since the surface Ag atoms are approximately 10 times less active than Pt atoms. Therefore, further enhancement in the ORR activity of Ag catalysts is necessary to be competitive with current cutting-edge Pt-based catalysts. We demonstrate the architectural design of Ag catalysts, synthesized using plasma discharge in liquid phase, for enhanced ORR kinetics in alkaline media. An attractive feature of this work is that the plasma status controlled via electric-field could form the Ag nanowires or dendrites without any chemical agents. The plasma reactor was made of a Teflon vessel with an inner diameter of 80 mm and a height of 80 mm, where a pair of tungsten(W) electrodes with a diameter of 2 mm was placed horizontally. The stock solutions were made by dissolving the 5-mM AgNO3 in DI water. For the synthesis of Agnanowires, the electricfield of 3.6kVcm-1 in a 200-ml AgNO3 aqueous solution was applied across the electrodes using a bipolar pulsed power supply(Kurita, Seisakusyo Co. Ltd). The repetition rate and pulse width were fixed at 30kHz and 2.0 us, respectively. The plasma discharge was carried out for a fixed reaction time of 60 min. In case of Ag nanodendrites, the electric field of 32kVcm-1 in a 200-ml AgNO3 aqueous solution was applied and other conditions were identical to the plasma discharge in water in terms of electrode configuration, repetition rate and discharge time. Using SEM and STEM, morphology of Ag nanowires and dendrites were investigated. With 3.6 kV/cm, Ag nanowire was obtained, while Ag dendrite was constructed with 32 kV/cm. The average diameter and legth of Ag nanowireses were 50 nm and 3.5 um, and thoes values of Ag dendrites were 40 nm and 3.0 um. As a results of XPS analysis, the surface defects in the Ag nanowires facilitated O2 incorporation into the surface region via the interaction between the oxygen and the electron cloud of the adjacent Ag atoms. The catalytic activity of Ag for oxygen reduction reaction(ORR) showed that the catalytic ORR activity of Ag nanowires are much better than Ag nanodendrites, and electron transfer number of Ag nanowires is similar to that of Pt (${\approx}4$).

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Structural Properties of Cold Water Extractable ${\alpha}-D-glucan$ in Rice Flours (쌀가루 냉수추출 ${\alpha}-D-glucan$의 분자구조적 특성)

  • Park, Yong-Kon;Seog, Ho-Moon;Nam, Young-Jung;Choi, Kwang-Soo
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.22 no.6
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    • pp.603-610
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    • 1990
  • The structural properties of cold water extractable ${\alpha}-D-glucan$ in rice flours obtained by various milling methods were investigated. The blue value, ${\lambda}_{max}$ values of the iodine complex and ${\beta}-amylolysis$ limit of the cold water extractable ${\alpha}-D-glucan$ were in the range of $0.026{\sim}0.030,\;518{\sim}522\;nm$ and $52.7{\sim}59.6%$, respectively, indicating these materials were composed mainly of amylopectin-like polymer. The gel chromatography on Sepharose CL-2B indicated that the cold water extractable ${\alpha}-D-glucan$ had lower molecular weight but wider molecular weight distribution than that of the original rice amylopectin. The Sephadex G-50 gel chromatography showed that the unit chain distribution of cold water extratable ${\alpha}-D-glucan$ after debranching with pullulanase was similar to that of rice amylopectin. And the ion chromatography of the distribution pattern of the chain length below D.P.30 in the debranched ${\alpha}-D-glucan$ indicated only blade-milled flour was similar to the amylopectin, but in the amount of unit chain below D.P.10, all the ${\alpha}-D-glucan$ in rice flours was higher than that of amylopectin.

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Effect of Ti-Doped Al2O3 Coating Thickness and Annealed Condition on Microstructure and Electrochemical Properties of LiCoO2 Thin-Film Cathode (Ti 첨가 Al2O3 코팅층의 두께와 열처리 조건이 LiCoO2 양극 박막의 미세구조와 전기화학적 특성에 미치는 영향)

  • Choi, Ji-Ae;Lee, Seong-Rae;Cho, Won-Il;Cho, Byung-Won
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.17 no.8
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    • pp.447-451
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    • 2007
  • We investigated the dependence of the various annealing conditions and thickness ($6\sim45nm$) of the Ti-doped $Al_2O_3$ coating on the electrochemical properties and the capacity fading of Ti-doped $Al_2O_3$ coated $LiCoO_2$ films. The Ti-doped-$Al_2O_3$-coating layer and the cathode films were deposited on $Al_2O_3$ plate substrates by RF-magnetron sputter. Microstructural and electrochemical properties of Ti-doped-$Al_2O_3$-coated $LiCoO_2$ films were investigated by transmission electron microscopy (TEM) and a dc four-point probe method, respectively. The cycling performance of Ti-doped $Al_2O_3$ coated $LiCoO_2$ film was improved at higher cut-off voltage. But it has different electrochemical properties with various annealing conditions. They were related on the microstructure, surface morphology and the interface condition. Suppression of Li-ion migration is dominant at the coating thickness >24.nm during charge/discharge processes. It is due to the electrochemically passive nature of the Ti-doped $Al_2O_3$ films. The sample be made up of Ti-doped $Al_2O_3$ coated on annealed $LiCoO_2$ film with additional annealing at $400^{\circ}C$ had good adhesion between coating layer and cathode films. This sample showed the best capacity retention of $\sim92%$ with a charge cut off of 4.5 V after 50 cycles. The Ti-doped $Al_2O_3$ film was an amorphous phase and it has a higher electrical conductivity than that of the $Al_2O_3$ film. Therefore, the Ti-doped $Al_2O_3$ coated improved the cycle performance and the capacity retention at high voltage (4.5 V) of $LiCoO_2$ films.