The properties of Al-doped ZnO (AZO) films were investigated as a function of H2/(Ar + H2) gas ratio using an AZO (2 wt% Al2O3) ceramic target in a radio frequency (RF) magnetron sputtering system. The deposition process was done at 200 ℃ and in 2 × 10-2Torr working pressure and with various ratios of H2/(Ar + H2) gas. During the AZO film deposition process, partial H2 gas affected the AZO film characteristics. The electron resistivity (~ 9.21 × 10-4 Ωcm) was lowest and mobility (~17.8 ㎠/Vs) was highest in AZO films when the H2/(Ar + H2) gas ratio was 2.5%. When the H2/(Ar + H2) gas ratio was increased above 2.5%, the electron resistivity increased and mobility decreased with increasing H2/(Ar + H2) gas ratio in AZO films. The carrier concentration increased with increasing H2/(Ar + H2) gas ratio from 0% to 7.5%. This phenomenon was explained by reaction of hydrogen and oxygen and additional formation of oxygen vacancy. The average optical transmission in the visible light wavelength region over 90% and an orientation of the deposition was [002] orientation for AZO films grown with all H2/(Ar + H2) gas ratios.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.22
no.3
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pp.122-126
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2012
The properties of Al-doped ZnO (AZO) films were investigated as a function of $H_2/(Ar+H_2)$ gas ratio using an AZO (2 wt% $Al_2O_3$) ceramic target in a radio frequency (RF) magnetron sputtering system. The deposition process was done at $200^{\circ}C$ and in $2{\times}10^{-2}$ Torr working pressure and with various ratios of $H_2/(Ar+H_2)$ gas. During the AZO film deposition process, partial $H_2$ gas affected the AZO film characteristics. The electron resistivity (${\sim}9.21{\times}10^{-4}\;{\Omega}cm$) was lowest and mobility (${\sim}17.8\;cm^2/Vs$) was highest in AZO films when the $H_2/(Ar+H_2)$ gas ratio was 2.5 %. When the $H_2/(Ar+H_2)$ gas ratio was increased above 2.5 %, the electron resistivity increased and mobility decreased with increasing $H_2/(Ar+H_2)$ gas ratio in AZO films. The carrier concentration increased with increasing $H_2/(Ar+H_2)$ gas ratio from 0 % to 7.5 %. This phenomenon was explained by reaction of hydrogen and oxygen and additional formation of oxygen vacancy. The average optical transmission in the visible light wavelength region over 90 % and an orientation of the deposition was [002] orientation for AZO films grown with all $H_2/(Ar+H_2)$ gas ratios.
Park, Young Cheol;Jo, Sung-Ho;Son, Jae-Ek;Yi, Chang-Keun
Korean Chemical Engineering Research
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v.47
no.6
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pp.710-714
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2009
In this study, we analyzed the desulfurization performance of Zn-based dry sorbents according to the reducing power, water vapor content and $H_2S$ inlet concentration of coal gas in a batch-type fluidized-bed reactor. We used three different coal gas composition with different reducing power such as KRW air-blown coal gas, Shell oxygenblown coal gas and IAE coal gas. The experiments were performed by changing the inlet concentration of water vapor and $H_2S$ in a coal gas. Water vapor content was varied from 5% to 30% and $H_2S$ inlet concentration from 0.5% to 2.0%. As both the water vapor content and $H_2S$ inlet concentration increased, desulfurization performance of Zn-based sorbents decreased regardless of the reducing power of the coal gas. The minimum desuflurization performance was, however, above 99.5% for all experimental conditions, which implied that Zn-based dry sorbents could be used to remove $H_2S$ up to 99%.
A sour natural gas feed containing 1.37 and 1.70 mole percent $CO_2$ and $H_2S$ respectively is to be sweetened. Our research is to design an amine treating facility to bring the concentration of the acid gases in 100 MMSCFD of natural gas down to less than 5 ppm. The K-values for $CO_2,\;H_2S,\;H_2O$ and amine components contained in natural gas is obtained by using Kent-Eisenberg model. The new gas sweetening process designed by Ball and Veldman is modeled and optimized with the commercial simulator. Results of simulations led to further economic improvements over the present operating process.
Jung, Dong Geon;Lee, Junyeop;Kwon, Jinbeom;Maeng, Bohee;Kim, Young Sam;Yang, Yi Jun;Jung, Daewoong
Journal of Sensor Science and Technology
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v.31
no.5
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pp.348-352
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2022
Hydrogen gas (H2) which is odorless, colorless is attracting attention as a renewable energy source in varions applications but its leakage can lead to disastrous disasters, such as inflammable, explosive, and narcotic disasters at high concentrations. Therefore, it is necessary to develop H2 gas sensor with high performance. In this paper, we confirmed that H2 gas detection ability of SnO2 based H2 gas sensor along with thermal treatment effect of SnO2. Proposed SnO2 based H2 gas sensor is fabricated by MEMS technologies such as photolithgraphy, sputtering and lift-off process, etc. Deposited SnO2 thin films are thermally treated in various thermal treatement temperature in range of 500-900 ℃ and their H2 gas detection ability is estimatied by measuring output current of H2 gas sensor. Based on experimental results, fabricated H2 gas sensor with SnO2 thin film which is thermally treated at 700 ℃ has a superior H2 gas detection ability, and it can be expected to utilize at the practical applications.
Ag- and Pd-loaded $SnO_2$ nanowire network sensors were prepared by the growth of $SnO_2$ nanowires via thermal evaporation, the coating of slurry containing $SnO_2$ nanowires, and dropping of a droplet containing Ag or Pd nanoparticles, and subsequent heat treatment. All the pristine, Pd-loaded and Ag-loaded $SnO_2$ nanowire networks showed the selective detection of $C_2H_5OH$ with low cross-responses to CO, $H_2$, $C_3H_8$, and $NH_3$. However, the relative gas responses and gas selectivity depended closely on the catalyst loading. The loading of Pd enhanced the responses($R_a/R_g$: $R_a$: resistance in air, $R_g$: resistance in gas) to CO and $H_2$ significantly, while it slightly deteriorated the response to $C_2H_5OH$. In contrast, a 3.1-fold enhancement was observed in the response to 100 ppm $C_2H_5OH$ by loading of Ag onto $SnO_2$ nanowire networks. The role of Ag catalysts in the highly sensitive and selective detection of $C_2H_5OH$ is discussed.
Characteristics of reduction and carbidization for hematite ore with a wide size range have been investigated at high temperature(590∼64$0^{\circ}C$) under $H_2$ and $H_2$-CO gas mixtures. The apparent activation energy for reduction of hematite ore with H2 gas was found to be 20 kJ/mol. The weight loss by reduction was about 28% md the weight gain by carbidization was about 5%. The measured values of weight change were compared with those calculated from equation (3) & (5) and fairly good agreement was obtained. The rate of carbidization was increased with an decrease in temperature, particle diameter and gas ratio($H_2$/ CO). The free carbon was increased with decrease in gas ratio($H_2$/ CO). The rate of carbidization was increased with mixing of $H_2$ gas but this effect was not proportional to fraction of $H_2$ gas. It was also found that the rate of carbidization was the maximum in the $H_2$ gas fraction of 0.5. It is considered that $H_2$ plays a part as a catalyst for formation of iron carbide($Fe_3$C).
CuO nanotubes are synthesized using $TeO_2$ nanorod templates for application to $H_2S$ gas sensors. $TeO_2$ nanorod templates were synthesized by using the VS method through thermal evaporation. Scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and X-ray diffraction showed that the synthesized nanotubes were monoclinic-structured polycrystalline CuO with diameter and wall thickness of approximately 100~300 nm and 5~10 nm, respectively. The CuO nanotube sensor showed responses of 136~325% for the $H_2S$ concentration of 0.1~5 ppm at room temperature. These response values are approximately twice as high as that of the CuO nanowire sensor for the same concentrations of $H_2S$ gas. Along with the investigation of the performance of the sensors, the mechanisms of $H_2S$ gas sensing of the CuO nanotubes are also discussed in this study.
ZnO nanopowders were synthesized by the sol-gel method using hydrazine reduction, and their gas responses to 6 gases (200 ppm of $C_2H_5OH$, $CH_3COCH_3$, $H_2$, $C_3H_8$, 100 ppm of CO, and 5 ppm of $NO_2$) were measured at $300\;{\sim}\;400^{\circ}C$. The prepared ZnO nanopowders showed high gas responses to $C_2H_5OH$ and $CH_3COCH_3$ at $400^{\circ}C$. The sensing materials prepared at the compositions of [$ZnCl_2$]:[$N_2H_4$]:[NaOH] = 1:1:1 and 1:2:2 showed particularly high gas responses ($S\;=\;R_a/R_g,\;R_a$ : resistance in air, $R_g$ : resistance in gas) to 200 ppm of $C_2H_5OH$($S\;=\;102.8{\sim}160.7$) and 200 ppm of $CH_3COCH_3$($S\;= 72.6{\sim}166.2$), while they showed low gas responses to $H_2$, $C_3H_8$, CO, and $NO_2$. The reason for high sensitivity to these 2 gases was discussed in relation to the reaction mechanism, oxidation state, surface area, and particle morphology of the sensing materials.
Cathodoluminescence(CL) properties of ZnO:Zn green phosphor were investigated. ZnO:Zn phosphor was synthesized by varying reducing agents and firing temperatures. ZnS, charcoal and 5% H2 gas mixed with 95% N2 gas(5H2-95N2) were used as the reducing agent and atmosphere. The highest CL intensity of ZnO:Zn phosphor was observed under the condition of 5H2-95N2 atmosphere and firing temperature of 90$0^{\circ}C$ for 1h. Charocal and ZnO as reducing agents in the syntehsis of ZnO:Zn phosphor exhibited about 60% and 40%, respectively, of the CL intensity obtained with 5H2-95N2 atmosphere.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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