Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1997.11a
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pp.136-139
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1997
In this paper, we inveatigate frequency dependance of inductance effects of FeCoB amorphous magnetic films. First, amorphous magnetic film having near zero magnetostriction is the basic composition of (Fe$_{1-x}$ / $Co_{x}$)$_{79}$Si$_2$B$_{19}$ with x=0.94, 0.95 and in order to decrease magnetio . anisotropy, the film was annealed in 28$0^{\circ}C$/30min, 40$0^{\circ}C$/30min, 40$0^{\circ}C$/1hr with near crystallization temperature under non-magnetic field. As result of investigation, in case of x=7.95 than x=0.94, we could have obtained high values, which inductance ratios in the low frequency was 488%. And Quality factor Q was under 0.7 in all sample, in case of annealed in 28$0^{\circ}C$/30min, we could have obtained highest value, which x=0.9fl is about 0.62 in 400[kHz], and in case of x=0.95 was about 0.35 in 1[MHz].z].].
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2007.11a
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pp.364-364
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2007
This paper presents characteristics of surface acoustic wave (SAW) gas sensor for detecting volatile gases such as ethanol gas by measuring phase shift of output signal. A delay-line with a center frequency of 400MHz was fabricated on 128o Y-Z $LiNbO_3$ substrates. Experimental results, which show the phase change of output signal under the absorption of volatile gas on sensor surface, were presented. The sensitivities of SAW delay lines coated with polyurethane films are greatly increased compared to those for uncoated devices. This SAW gas sensor system may be well suited for a high sensitivity electronic nose system.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.152-152
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2010
이종접합 태양전지에서 Intrinsic a-Si:H의 역할은 상당히 중요하다. Passivation 효과와 높은 Voc에 이르는 핵심적인 Layer이다. 본 연구는 Intrinsic a-Si:H Layer의 증착조건을 가변하여 최적의 Passivation 효과를 얻는데 목적이 있다. 웨이퍼는 n-Type $500\;{\mu}m$두께에를 사용하였다. Intrinsic a-Si:H Layer는 $SiH_4$ 가스와 $H_2$ 가스를 혼합하여 증착하게 되는데 혼합비는 1:5로 고정하였다. 증착두께는 이종접합 태양전지에서 필요한 5nm로 고정하였으며 증착장비는 PECVD를 이용하였다. PECVD는 VHF(60MHz)를 이용하였고 증착온도는 $200^{\circ}C$로 고정하여 진행하였다. 가변내용은 전극거리와 파워, 압력이다. 전극거리는 20mm에서 80mm까지 가변하였고 압력은 100mTorr에서 500mTorr까지 가변하였다. 파워는 플라즈마의 방정특성을 알아본 후 최소파워를 이용하여 증착하였다. 이는 증착 시 플라즈마에 의한 박막 손상을 최소화하기 위함이다. 측정은 QSSPC 방식으로 Carrier Lifetime과 Implied Voc를 측정하였으며 두께는 Ellipsometry를 이용하여 측정하였다. 전극거리 60mm에서 증착압력은 400mTorr이고 파워는 $14mW/cm^2$에서 가장 높은 Carrier Lifetime 과 Implied Voc를 나타내었다. Carrier Lifetime은 2.2ms이고 Implied Voc는 709mV를 달성 하였다. Carrier Lifetime이 높으면 Surface Recombination이 낮다는 의미이며 이는 고효율 이종접합 태양전지 제작에 있어서 직렬저항을 줄일 수 있는 필수적인 요소이다. Implied Voc는 이종접합 태양전지의 Voc에 직결된 인자로 이종접합 태양전지의 Voc를 예상할 수 있는 중요한 요소이다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.476-476
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2010
유도 결합 플라즈마 (ICP)는 축전 결합 플라즈마 (CCP) 보다 상대적으로 높은 밀도의 플라즈마를 발생시킬 수 있다. 또한 구조가 간단하고 기존 스퍼터링 장치의 내부에 추가 설치가 용이하며, 스퍼터된 입자의 이온화, 반응성 가스의 활성화를 위한 2차 플라즈마원으로 적용이 가능하다. 그러나 대면적의 고밀도 플라즈마의 균일도 측정은 고가의 2D probe array등을 사용하여야 한다. 본 연구에서는 간단한 CCD camera를 챔버 내부에 삽입하여 가시광 영역의 적분 강도를 이용해서 플라즈마의 2차원적 균일도를 정성적으로 비교 판단하고 시간에 따른 국부적인 이상 방전을 감시할 수 있도록 내장형 무선 카메라를 사용하였다. 직경 380 mm의 챔버 내에 2 turn ICP antenna를 이용하여 유도 결합 플라즈마를 발생시켰다(Ar 30 sccm, 35 mTorr, 2 MHz, 400 W). 내장형 무선 카메라를 챔버 내부 중앙의 ICP antenna에서 8 cm 아래에 위치시켜 플라즈마를 진공 중에서 촬영하였다. 내장형 무선 카메라를 챔버 내부에 위치하여 촬영한 결과 외부에서 view port로 쉽게 확인할 수 없는 ICP antenna 내부의 고밀도 플라즈마의 불균일도를 평가할 수 있었고, ICP antenna 가장자리에서 중심으로 이동할수록 밝아지는 것을 토대로 중심 영역의 plasma 밀도가 가장 높다는 것을 알 수 있었고, 채도와 명도의 차이를 이용하여 시각적인 플라즈마 균일도를 분석하였으며 이를 플라즈마 모델링 기능이 있는 전산 유체 역학 프로그램인 CFD ACE+를 이용하여 플라즈마 분포를 모델링 및 비교하였다. 또한 인라인 타입의 마그네트론 스퍼터링 시스템에서 기판 캐리어에 무선 카메라를 장착하여 이동하면서 캐리어와 마그네트론 방전 공간의 상대적인 위치에 따른 마그네트론 방전링의 형상 변화도 관찰하였다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.214.1-214.1
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2013
Tetra-ethoxysilane (TEOS)은 일반적으로 저온 게이트 산화막의 원료 널리 이용되고 있으나 as-deposited 상태에서는 필수적으로 생성된 높은 계면밀도와 고정전하를 제거하기 위하여 수소계면처리, forming gas annealing 등 후처리 공정을 필수적으로 거처야만 한다. 즉 후처리 공정 없이도 일정수준의 계면밀도와 고정전하를 갖을 수 있는 출발물질이 제안되면 산업적 의미를 갖을 것이다. 본 연구에서는 TEOS를 대체할 수 있는 후보재료로써 Tetra-iso-propoxysilane (T-iso-POS)을 제안하였다. T-iso-POS는 iso 구조의 3차원적 특수 구조를 가지므로 더 쉽게 분해 될 수 있어 탄소의 결합을 억제 할 수 있다고 사료된다. 용량 결합형 PECVD (13.56 MHz) 장비를 이용하여 RCA 세정을 실시 한 p-Si (100) 기판위에 TEOS 혹은 T-iso-POS (2 sccm)와 O2를 도입(50 sccm), 플라즈마 전원(20~100 W), 압력(0.1~0.5 torr), 온도 ($170{\sim}400^{\circ}C$), 전극 간 거리 (1~4.5cm)의 조건 하에서 증착하였다. 얻어진 각각의 SiO2 막에 대해, 성장 속도, 2% BHF 용액보다 에칭 속도, IV 특성과 C-V 특성, FT-IR에 의해 화학구조 평가를 실시했다. T-iso-POS원료로 사용하여 TEOS보다 낮은 약 $200^{\circ}C$에서 증착 된 산화막에서 후 처리 없이도 10 MV/cm 이상의 절연 파괴 특성을 나타내는 우수한 게이트 절연막 제작에 성공했다. 그 성장 속도도 약 20 nm/min로 높았다.
Nanoparticles $Ni_{0.7}Zn_{0.3}Fe_2O_4$ is fabricated by a sol-gel method. The magnetic and structural properties of powders were investigated with XRD, SEM, $M\ddot{o}ssbauer$ spectroscopy, and VSM. $Ni_{0.7}Zn_{0.3}Fe_2O_4$ powders annealed at $300^{\circ}C$ have a spinel structure and behaved superparamagnetically. The estimated size of $Ni_{0.7}Zn_{0.3}Fe_2O_4$ nanoparticle is about 11 nm. $Ni_{0.7}Zn_{0.3}Fe_2O_4$ annealed at 400 and $500^{\circ}C$ has a typical spinel structure and is ferrimagnetic in nature. The isomer shifts indicate that the iron ions were ferric at the tetrahedral (A) and the octahedral (B). Blocking temperature $(T_B)\;of\;Ni_{0.7}Zn_{0.3}Fe_2O_4$ nanoparticle is about 260 K. The magnetic anisotropy constant of $Ni_{0.7}Zn_{0.3}Fe_2O_4$ annealed $300^{\circ}C$ were calculated to be $1.7X10^6\;ergs/cm^3$. Also, temperature of the sample increased up to $43^{\circ}C$ within 7 minutes under AC magnetic field of 7 MHz.
변환 블록은 영상 압축에서 데이터를 공간적 영역에서 주파수 영역으로 변환해줌으로써 압축의 효율성을 높이는 역할을 수행한다. 본 논문에서는 고성능 HEVC를 위한 4개의 TU 모드($4{\times}4$, $8{\times}8$, $16{\times}16$, $32{\times}32$)를 지원하는 변환 블록 하드웨어 구조를 제안한다. 제안하는 변환 블록의 하드웨어 구조는 공통 연산기를 사용하여 각 TU 모드에 맞는 행렬 계수들 간의 연산을 수행한다. 또한 병렬적인 구조로 설계하여 $4{\times}4$, $8{\times}8$, $16{\times}16$, $32{\times}32$ 크기 TU 모드의 행렬 연산을 처리하는 사이클수가 35cycle로 동일하게 처리된다. TSMC 180nm CMOS 공정 라이브러리를 통해 합성한 결과 $4k(3840{\times}2160)@30Hz$의 영상을 기준으로 최대 동작주파수는 400MHz이고 총 게이트 수는 159k이며, 10-Gpels/cycle의 처리량을 갖는다.
Park Mi-Kyung;Yoo Hee-Soo;Kang Young Kee;Lee Nam-Soo;Ichiro Hanazaki
Bulletin of the Korean Chemical Society
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v.13
no.3
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pp.230-235
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1992
The conformational analysis has been done for catecholamines (dopamine, norepinephrine, and epinephrine) in the cationic and di-anionic states. The species responsible for adsorption on silver metal surface is anionic deprotonated at hydroxyl groups of catechol moiety, i.e., di-anionic states of catecholamines. This was deduced from Fourier-transform Raman spectra of sodium salts of catecholamines. High resolution proton NMR (400 MHz) spectra of catecholamines in basic and neutral $D_2O$ solution show that the conformations of norepinephrine and epinephrine in the di-anionic states are preferred in gauche, but not for dopamine in the di-anionic state. However the energy difference between trans and gauche of catecholamines in the protonated cationic states is small enough to rotate freely through C-C bond in ethylamine moiety. The conformational calculations using an empirical potential function and the hydration shell model (a program CONBIO) show consistent with above experimental results. The calculations suggest that the species of catecholamines adsorbed on silver metal surface would be in favor of the gauche conformations.
In this study, phase-pure titanium dioxide TiO2 ceramics are sintered using standard high-temperature solid-state reaction technique at different temperatures (1,000, 1,100, 1,200, 1,300, 1,400 ℃). The effect of sintering temperature on the densification and impedance properties of TiO2 ceramics is investigated. The bulk density and average grain size increase with the increase of sintering temperature. Impedance spectroscopy analysis (complex impedance Z* and complex modulus M*), performed in a broad frequency range from 100 Hz to 10 MHz, indicates that the TiO2 ceramics are dielectrically heterogeneous, consisting of grains and grain boundaries. The complex impedance Z* -plane indicates the resistance of grains of the TiO2 ceramics increases with increasing sintering temperature, while that of grain boundaries develops in the opposing direction. The complex modulus M*-plane shows a grain capacitance that seems to be independent of the sintering temperature, while that of the grain boundaries decreases with increasing sintering temperature. These results suggest that different sintering temperatures have effects on the microstructure, leading to changes in the impedance properties of TiO2 ceramics.
컴퓨터 디스플레이를 위한 한글 표현 방법에는 한글 음절의 초성, 중성, 종성 각각에 코드를 부여하고, 이를 조합하여 1 음절을 2 바이트로 처리하는 표준 조합형 코드와 각 음절마다 2 바이트 코드를 부여하는 표준 완성형 코드, 그리고 모든 국가의 언어를 표현하기 위한 만국 공통의 문자부호 체계인 유니코드 방식이 있다. 일반적으로 임베디드 시스템은 PC에 비해 상대적으로 속도가 느리고 저장공간 또한 제한되어 있으나 그 용도에 따라 PC에 필적하는 성능을 가지는 경우도 있다. 따라서 화면에 한글을 출력할 경우, 임베디드 시스템의 자원 환경에 맞는 적합한 방식을 채택해야 한다. 본 논문은 시랩시스(CLabSys)사의 3.5" TFT LCD 키트인 LP35가 부착된 LN2440SBC 임베디드 보드(S3C2440A CPU, 400MHz)의 TFT LCD 드라이버 제작을 위한 초기화 방법과 픽셀 디스플레이 함수를 소개한다. 또한 픽셀 디스플레이 함수와 비트맵 폰트를 사용하여 표준 조합형, 표준 완성형, 유니코드 방식의 3가지 방식에 대한 한글 출력 처리 속도와 필요 메모리 용량을 비교한다. 시험 결과에 따르면, 표준 조합형은 적은 메모리 공간을 차지하지만 초성, 중성, 종성을 조합하는데 시간이 소요되고, 완성형은 조합형에 비해 출력 처리 속도는 빠르나 모든 음절의 저장을 위해 비트맵 폰트의 용량이 크며, 유니코드는 비트맵 폰트의 용량은 가장 크지만, 국가 간 언어의 호환성을 보장하고 출력 속도 또한 세 가지 방식 중 가장 빠른 것으로 나타났다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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