• 제목/요약/키워드: 3D data model

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GPU Based Feature Profile Simulation for Deep Contact Hole Etching in Fluorocarbon Plasma

  • Im, Yeon-Ho;Chang, Won-Seok;Choi, Kwang-Sung;Yu, Dong-Hun;Cho, Deog-Gyun;Yook, Yeong-Geun;Chun, Poo-Reum;Lee, Se-A;Kim, Jin-Tae;Kwon, Deuk-Chul;Yoon, Jung-Sik;Kim3, Dae-Woong;You, Shin-Jae
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.80-81
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    • 2012
  • Recently, one of the critical issues in the etching processes of the nanoscale devices is to achieve ultra-high aspect ratio contact (UHARC) profile without anomalous behaviors such as sidewall bowing, and twisting profile. To achieve this goal, the fluorocarbon plasmas with major advantage of the sidewall passivation have been used commonly with numerous additives to obtain the ideal etch profiles. However, they still suffer from formidable challenges such as tight limits of sidewall bowing and controlling the randomly distorted features in nanoscale etching profile. Furthermore, the absence of the available plasma simulation tools has made it difficult to develop revolutionary technologies to overcome these process limitations, including novel plasma chemistries, and plasma sources. As an effort to address these issues, we performed a fluorocarbon surface kinetic modeling based on the experimental plasma diagnostic data for silicon dioxide etching process under inductively coupled C4F6/Ar/O2 plasmas. For this work, the SiO2 etch rates were investigated with bulk plasma diagnostics tools such as Langmuir probe, cutoff probe and Quadruple Mass Spectrometer (QMS). The surface chemistries of the etched samples were measured by X-ray Photoelectron Spectrometer. To measure plasma parameters, the self-cleaned RF Langmuir probe was used for polymer deposition environment on the probe tip and double-checked by the cutoff probe which was known to be a precise plasma diagnostic tool for the electron density measurement. In addition, neutral and ion fluxes from bulk plasma were monitored with appearance methods using QMS signal. Based on these experimental data, we proposed a phenomenological, and realistic two-layer surface reaction model of SiO2 etch process under the overlying polymer passivation layer, considering material balance of deposition and etching through steady-state fluorocarbon layer. The predicted surface reaction modeling results showed good agreement with the experimental data. With the above studies of plasma surface reaction, we have developed a 3D topography simulator using the multi-layer level set algorithm and new memory saving technique, which is suitable in 3D UHARC etch simulation. Ballistic transports of neutral and ion species inside feature profile was considered by deterministic and Monte Carlo methods, respectively. In case of ultra-high aspect ratio contact hole etching, it is already well-known that the huge computational burden is required for realistic consideration of these ballistic transports. To address this issue, the related computational codes were efficiently parallelized for GPU (Graphic Processing Unit) computing, so that the total computation time could be improved more than few hundred times compared to the serial version. Finally, the 3D topography simulator was integrated with ballistic transport module and etch reaction model. Realistic etch-profile simulations with consideration of the sidewall polymer passivation layer were demonstrated.

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휴대폰 기지국 정보를 이용한 O/D 추정기법 연구 (Origin-Destination Estimation Based on Cellular Phone's Base Station)

  • 김시곤;유병석;강승필
    • 대한교통학회지
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    • 제23권1호
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    • pp.93-102
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    • 2005
  • 통행기종점(Origin-Destination)은 경로 선택 및 통행 배정 등 교통계획 측면에서 중요한 정보 중 하나이다. O/D 예측은 대부분 현장 조사나 가구 면접조사를 통하여 표본 O/D를 산출하고 이를 전수화하는 것이 전통적인 방법이고, 가로 교통량과 통행배정모형과의 상호관계 속에서 동적 O/D를 추정하고자 하는 연구도 있다. 그러나, 최근에는 휴대폰 보급의 괄목할만한 증대에 따라 휴대폰 정보를 이용하여 O/D를 추정하는 연구에 관심이 기울어지고 있다. 본 연구에서는 휴대폰 기지국 정보를 이용한 O/D 추정 방법론을 제시하고, 휴대폰 기지국 기반 O/D를 행정동 기반 O/D로 변환하는 방법론을 제시한다. 연구를 위해 청주시에서 운행중인 택시에 GPS 장비 및 휴대폰 거치대를 설치하여 GPS 위치 좌표, 휴대폰 기지국 좌표를 수집하였고, 이중 3주간의 자료를 디지털 맵에 맵매칭시켜 기지국 위치 기반 O/D와 GPS 위치 기반 O/D를 산출하였다. GPS 위치 기반 O/D를 이용하여 주간 O/D 통행패턴, 주중 O/D와 주말 O/D 통행패턴, 일평균 O/D와 오전${\cdot}$오후 첨두시 O/D 통행패턴 사이의 관계를 산점도 및 상관계수로부터 유추한 견과, 주중 O/D와 주말 O/D간에는 통행패턴의 차이가 있으며, 오전 첨두시와 오후 첨두시의 통행패턴 역시 차이가 아는 것을 확인할 수 있었다. 휴대폰 기지국 기반 O/D를 행정동 기반 O/D화하는 방법으로 GPS 분포비를 이용한 방법과 기지국 커버리지 면적비를 이용한 방법을 제시하였으며, 두 방법 모두 참 O/D라 생각할 수 있는 GPS 위치 기반 O/D와 크게 다르지 않은 것을 상관계수, 평균절대오차율(MAE), 제곱근 평균제곱오차(RMSE)를 통하여 확인하였다. 향후 휴대폰 정보만을 이용하는 경우에는 휴대폰 기지국 커버리지 면적비를 이용하는 방법을 이용하면 O/D를 추정할 수 있을 것으로 판단된다. 또한 현재의 표본 택시 O/D를 전수화하는 방법도 제시하였다.

중국 상하이·허쩌 중·고등학생의 식습관과 비만도 및 영양지식과의 관련성 연구 (Associations of Eating Habits with Obesity and Nutrition Knowledge for Middle and High School Adolescents in Shanghai and Heze China)

  • 송양;안효진;최지혜;오세영
    • 한국식생활문화학회지
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    • 제29권6호
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    • pp.648-658
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    • 2014
  • The aim of this study was to investigate the relationships between eating habits and health among adolescents in Shanghai and Heze, China. A cross-sectional study was conducted in 2013 on 2,089 adolescents; 1,089 students were from Shanghai and 999 students from Heze region. Eating habits, weight, height, and nutritional knowledge were assessed using a self-administered questionnaire. Eating habits score was classified into two categories: healthy eating habits and unhealthy eating habits, based on "Korean Youth Risk Behavior Web-based Survey", for statistical data analysis. Associations between eating habits, BMI, and nutritional knowledge were examined using a general linear model with adjustment of potential confounding factors such as region, gender, age, parents' education level, and pocket money. Statistical analyses were performed using the SAS (version 9.3) program. Proportions of healthy eating habits group were 90.0% for breakfast (3-7 times/wk), 29.1% for fruit (${\geq}once/d$), 12.5% for vegetable (${\geq}3times/d$), 7.3% for milk (${\geq}2times/d$), 90.0% for fast food (<3 times/wk) consumption, respectively. The average BMI score was 20.1 (Shanghai 20.5 Heze 19.6), which is in the range of normal weight. Rates of obesity and overweight were 16.5% and 8.3% in Shanghai and Heze, respectively. There were significant negative correlations between intake frequencies of breakfast, fast food, biscuits, sugar, chocolate, and BMI score. Eating habits and nutritional knowledge score showed a significant positive correlation. These results showed better eating habits regarding eating regularity and consumption of fruits and soft drinks in Chinese adolescents compared with Korean adolescents, although cultural differences were not fully considered. This study demonstrated significant associations of BMI and nutritional knowledge with dietary behavior in Chinese adolescents in two regions of China. Further studies on Chinese adolescents from other regions in China should be considered.

KOMPSAT-2 입체영상의 자동 기하 보정 (Automatic Geometric Calibration of KOMPSAT-2 Stereo Pair Data)

  • 오관영;정형섭
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제28권2호
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    • pp.191-202
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    • 2012
  • KOMPSAT-2와 같은 고해상 위성영상은 대상영역의 3차원 위치결정을 위하여 RPC(Rational Polynomial Coefficient)가 포함된 자료를 제공한다. 그러나 RPC로 계산된 영상기하는 일정량의 편이(systematic errors)를 지니고 있는 상태이며, 이를 보정하기 위해서는 수 개 이상의 지상기준점(ground control point)이 필요하다. 이에 본 논문에서는 지상기준점 없이 입체영상(stereo pair)과 SRTM(Shuttle Radar Topography Mission) DEM(Digital Elevation Model) 사이의 대응점(tie point)만을 이용하여 자동으로 영상 기하를 보정하는 효과적인 방법을 제안하였다. 이러한 방법은 4가지 단계를 포함 한다: 1) 대응점 추출, 2) 대응점에 대한 지상좌표 결정, 3) SRTM DEM을 이용한 지상좌표의 보정, 4) RPC 보정 모델의 파라미터 결정. 우리는 KOMPSAT-2 입체영상을 이용하여 제안된 방법의 성과를 입증하였다. 검사점(check point)을 통해 계산된 RMSE(Root Mean Square Error)는 X와 Y, Z방향으로 각각 약 3.55 m, 9.70 m, 3.58 m를 나타냈다. 이는 SRTM DEM을 이용하여 RPC가 지닌 편이를 X, Y 및 Z 모든방향에 대하여 10 m이내의 정확도로 자동보정할 수 있다는 것을 의미한다.

XPD Lys751Gln and Asp312Asn Polymorphisms and Gastric Cancer Susceptibility: A Meta-analysis of Case-control Studies

  • Yin, Qing-Hua;Liu, Chuan;Hu, Jian-Bing;Meng, Rong-Rong;Li, Lian;Wang, Ya-Jie
    • Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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    • 제14권1호
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    • pp.231-236
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    • 2013
  • Background: Published data regarding the association between xeroderma pigmentosum group D (XPD) Lys751Gln and Asp312Asn polymorphisms and gastric cancer susceptibility havew been inconclusive. This meta-analysis was therefore performed toobtain a more precise estimation of any relationship. Materials and Methods: A comprehensive literature search was conducted to identify all case-control studies of Lys751Gln and Asp312Asn polymorphisms and susceptibility to gastric cancer. Summary odds ratios (ORs) and its 95% confidence intervals (95% CIs) were calculated using a random-effects model with the software STATA (version10.0). Results: A total of 12 case-control studies including 3,147 cases and 4,736 controls were included. Overall, no significant associations were found in some models (for Lys751Gln: Lys/Gln vs Lys/Lys: OR=1.144, 95% CI=0.851-1.541, Gln/Gln vs Lys/Lys: OR=1.215, 95% CI = 0.740-1.955, dominant model: OR=1.137, 95% CI=0.818-1.582; recessive model: OR=1.123, 95% CI=0.765-1.650; for Asp312Asn: Asp/Asn vs Asp/Asp: OR=1.180, 95% CI=0.646-2.154, dominant model: OR=1.380, 95% CI = 0.812-2.346), but significantly elevated susceptibility was found for Asp312Asn polymorphism in some models (Asn/Asn vs Asp/Asp: OR=2.045, 95% CI=1.254-3.335, recessive model: OR=1.805, 95% CI =1.219-2.672), for the additive model, the XPD Lys751Gln and Asp312Asn polymorphisms were not significantly associated with gastric cancer susceptibility. In stratified analyses, significantly elevated susceptibility was found for some models in the Chinese population. Conclusion: This meta-analysis suggested the XPD Asp312Asn polymorphism might be a potential biomarker of gastric cancer susceptibility in overall population, while both XPD Lys751Gln and Asp312Asn polymorphisms might be risk factors of gastric cancer susceptibility in Chinese.

CT 영상 기반 근감소증 진단을 위한 AI 영상분할 모델 개발 및 검증 (Development and Validation of AI Image Segmentation Model for CT Image-Based Sarcopenia Diagnosis)

  • 이충섭;임동욱;노시형;김태훈;고유선;김경원;정창원
    • 정보처리학회논문지:컴퓨터 및 통신 시스템
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    • 제12권3호
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    • pp.119-126
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    • 2023
  • 근감소증은 국내는 2021년 질병으로 분류되었을 만큼 잘 알려져 있지 않지만 고령화사회에 진입한 선진국에서는 사회적 문제로 인식하고 있다. 근감소증 진단은 유럽노인근감소증 진단그룹(EWGSOP)과 아시아근감소증진단그룹(AWGS)에서 제시하는 국제표준지침을 따른다. 최근 진단방법으로 절대적 근육량 이외에 신체수행평가로 보행속도 측정과 일어서기 검사 등을 통하여 근육 기능을 함께 측정할 것을 권고하고 있다. 근육량을 측정하기 위한 대표적인 방법으로 DEXA를 이용한 체성분 분석 방법이 임상에서 정식으로 실시하고 있다. 또한 MRI 또는 CT의 복부 영상을 이용하여 근육량을 측정하는 다양한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 따라서 본 논문에서는 근감소증 진단을 위해서 비교적 짧은 촬영시간을 갖는 CT의 복부영상기반으로 AI 영상 분할 모델을 개발하고 다기관 검증한 내용을 기술한다. 우리는 CT 영상 중에 요추의 L3 영역을 분류하여 피하지방, 내장지방, 근육을 자동으로 분할할 수 있는 인공지능 모델을 U-Net 모델을 사용하여 개발하였다. 또한 모델의 성능평가를 위해서 분할영역의 IOU(Intersection over Union)를 계산하여 내부검증을 진행했으며, 타 병원의 데이터를 활용하여 동일한 IOU 방법으로 외부검증을 진행한 결과를 보인다. 검증 결과를 토대로 문제점과 해결방안에 대해서 검증하고 보완하고자 했다.

Short-range magnetic order in La1-xBaxCoO3 cobaltites

  • Long, Phan The;Petrov, Dimitar N.;Cwik, J.;Dang, N.T.;Dongquoc, Viet
    • Current Applied Physics
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    • 제18권11호
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    • pp.1248-1254
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    • 2018
  • Magnetization versus temperature and magnetic-field measurements, M(T, $H_a$), have been carried out to study the magnetic and critical properties of polycrystalline $La_{1-x}Ba_xCoO_3$ (x = 0.3 and 0.5) cobaltites. These compounds with the density of ${\sim}6.2g/cm^3$ crystallized in the $R{\bar{3}}c$ rhombohedral and $Pm{\bar{3}}m$ cubic structures, respectively. With an applied field $H_a=200Oe$, M(T) data have revealed that the samples with x = 0.3 and 0.5 exhibit the ferromagnetic-paramagnetic (FM-PM) phase transition at the Curie temperature points $T_C=202$ and 157 K, respectively. At 4.2 K, the saturation magnetization ($M_{sat}$) decreases from 35.9 emu/g for x = 0.3-26.1 emu/g for x = 0.5. Particularly, the critical-behavior analyses in the vicinity of $T_C$ reveal all samples undergoing a second-order phase transition, with critical exponent values (${\beta}=0.328$ and ${\gamma}=1.251$ for x = 0.3, and ${\beta}=0.331$ and ${\gamma}=1.246$ for x = 0.5) close to those expected for the 3D Ising model. This proves short-range magnetic order existing in $La_{1-x}Ba_xCoO_3$. We believe that magnetic inhomogeneities due to the mixture of hole-rich FM regions (confined in the trivalent-cobalt hole-poor anti-FM matrix) and uniaxial anisotropy prevent long-range order in $La_{1-x}Ba_xCoO_3$.

팔당호의 수치 순환모형 (Numerical Modeling of Circulation in Lake Paldang)

  • 윤태훈;김민규
    • 대한토목학회논문집
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    • 제14권2호
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    • pp.317-324
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    • 1994
  • 팔당호의 순환이 수치적으로 해석되었으며 이는 팔당호에 유입되는 오염물과 토사의 확산과 농도의 예측도구의 개발을 위한 단계이다. 2차원 수심적분 지배방정식의 차분화에는 Abbott의 3-단계시간 수치기법과 비선형항에는 시간, 공간적으로 중앙처리한 반복기법을 사용하였다. 모형의 매개변수인 전단응력과 와확산계수는 관측자료를 이용 결정하였다. 평상시 정상류의 유속 계산결과는 바람의 영향을 고려했을 때 실측치에 보다 근접하는 것으로 나타나 이는 정확한 순환해석을 위해서는 바람의 영향을 포함시킴이 필요함을 시사한다. 홍수파의 유입과 팔당댐 방류로 인한 부정류에 대한 모의는 물리적으로 타당한 결과를 제공하여 본 연구의 모형은 바람의 영향을 포함한 부정류 순환현상의 예측도구로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.

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The Mineralogy and Geochemistry of the Uppermost Sediments of the Lake Hovsgol, North Mongolia : It's Implication to the Paleoenvironmental Changes

  • Tumurhuu, D.;Narantsetseg, Ts.;Ouynchimeg, Ts.
    • 한국제4기학회지
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    • 제18권2호통권23호
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    • pp.3-3
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    • 2004
  • One short core with length of 146cm(HB-107, at coordinates of $N51^{\circ}$11'37.5";$E100^{\circ}$24'45.6", from 229m water depth was subject of the present study. The sub-samples of the core were analyzed for the water contents (WC%), biogenic silica, identification of the main phases, grain size distribution, geochemistry and some physical properties of sediment(Wet density and Magnetic susceptibility) with aims of recording palaeo-environmental changes in Northem Mongolia. The evaluation of the geochemical and mineralogical proxies on palaeo-climated and palaeo-environmental changes are based on comparison to the behvior of biogenic silica through core, as later one had been showed itself, as good indicator of the climate and environmental fluctuation. Age model of the investigating core based on previously C 14 dated core HB105 taken from the central part of the Hobsgol Lake and the result had been published elsewhere. The core consists of two litological varieties : upper diatomaceous silt, lower clay. According to the age model the upper diatomaceous silt formed during the Holocene, lower caly-during the late Pleistocene glacial period. The geochemistry and phase identification analysis on the core samples are resulted in determining main minerals that form the bottom sediments and their geochemistry. The main include quartz, felspar, muscovite, clinochlore, amphibole and carbonate phase(dolomite and calcite). Through the core not only occur the relative quantitative changes of the main phases, but also happen that the carbonate phase completely disappear in diatomaceous silt. This is believed to be related to the lake water salinity changes, which occurred during the trassition period from Pleistocene glacial-to the Holocene interglacial. These abrupt changes of the mineralogy have been clearly traced in geochemistry of sediments, specially in calcium concentration, which is high in lower clay and low in upper diatomaceous silt. That means, geochemistry and mineralogy of the bottom sediments can be used as proxy data on palaeo-climate and palaeo-environmental changes.

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중첩격자를 이용한 제자리비행 로터 해석 코드의 수치특성 (Verification of Hovering Rotor Analysis Code Using Overlapped Grid)

  • 김지웅;박수형;유영훈;김유진;권장혁
    • 한국항공우주학회지
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    • 제36권8호
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    • pp.719-727
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    • 2008
  • 중첩격자를 이용한 3차원 압축성 Navier-Stokes 코드를 사용하여 정지비행 로터 주위의 유동장을 해석하였다. 후류격자의 간격, 수치기법의 정확도, 난류 모델 등에 따른 유동코드의 수치특성을 확인하였다. 두 가지 형태의 중첩격자 시스템을 사용하여 계산을 수행하였다. 공력 및 끝단 와류의 거동을 Caradonna 등의 실험과 비교하였다. 표면 압력분포 및 끝단 와류의 거동은 실험값과 잘 일치하였다. 적용한 수치해석 기법에 따라 압력분포는 거의 변화가 없는 반면, 후류의 거동은 상당히 큰 편차를 보였다. 자동화된 Cut-paste 알고리즘을 사용한 Chimera 기법을 사용했을 때의 결과는 예상과 달리 기존의 Chimera 기법을 사용하였을 때보다 더 약한 와류 강도를 보였다.